سي آءِ سي سيڊ ڪوٽنگ-بانڊنگ-سينٽرنگ انٽيگريٽيڊ حل
تفصيلي ڊاگرام
پريسيشن اسپري ڪوٽنگ • سينٽر الائنمينٽ بانڊنگ • ويڪيوم ڊيببلنگ • ڪاربنائيزيشن/سينٽرنگ ڪنسوليڊيشن
آپريٽر تي منحصر ڪم کان SiC سيڊ بانڊنگ کي ورجائي سگهڻ واري، پيرا ميٽر تي هلندڙ عمل ۾ تبديل ڪريو: ڪنٽرول ٿيل چپڪندڙ پرت جي ٿولهه، ايئر بيگ پريسنگ سان سينٽر الائنمينٽ، ويڪيوم ڊيببلنگ، ۽ گرمي پد/دٻاءُ-ايڊجسٽبل ڪاربنائيزيشن ڪنسوليڊينشن. 6/8/12-انچ پيداوار جي منظرنامي لاءِ ٺهيل.
پيداوار جو جائزو
اهو ڇا آهي
هي مربوط حل SiC ڪرسٽل جي واڌ جي اپ اسٽريم مرحلي لاءِ ٺاهيو ويو آهي جتي ٻج/ويفر کي گريفائيٽ پيپر/گريفائيٽ پليٽ (۽ لاڳاپيل انٽرفيس) سان ڳنڍيو ويندو آهي. اهو عمل جي لوپ کي بند ڪري ٿو:
ڪوٽنگ (اسپري چپڪندڙ) → بانڊنگ (الائنمينٽ + پريسنگ + ويڪيوم ڊيببلنگ) → سينٽرنگ/ڪاربنائيزيشن (مضبوط ڪرڻ ۽ علاج)
چپڪندڙ ٺهڻ، بلبلن کي هٽائڻ، ۽ آخري ڪنسوليڊنشن کي هڪ زنجير جي طور تي ڪنٽرول ڪندي، حل مستقل مزاجي، پيداوار جي صلاحيت، ۽ اسڪيليبلٽي کي بهتر بڻائي ٿو.
ترتيب جا اختيار
الف. نيم خودڪار لائن
سي سي اسپري ڪوٽنگ مشين → سي سي بانڊنگ مشين → سي سي سينٽرنگ فرنس
ب. مڪمل طور تي خودڪار لائن
خودڪار اسپري ڪوٽنگ ۽ بانڊنگ مشين → سي آءِ سي سينٽرنگ فرنس
اختياري انضمام: روبوٽڪ هينڊلنگ، ڪيليبريشن/الائنمينٽ، آئي ڊي ريڊنگ، بلبل جي سڃاڻپ
اهم فائدا
• بهتر ورجائي قابليت لاءِ ڪنٽرول ٿيل چپڪندڙ پرت جي ٿولهه ۽ ڪوريج
• مسلسل رابطي ۽ دٻاءُ جي ورڇ لاءِ سينٽر الائنمينٽ ۽ ايئر بيگ پريسنگ
• چپڪندڙ پرت اندر بلبلن / خاليگي کي گهٽائڻ لاءِ ويڪيوم ڊيببلنگ
• آخري بانڊ کي مستحڪم ڪرڻ لاءِ ترتيب ڏيڻ وارو گرمي پد/دٻاءُ ڪاربنائيزيشن ڪنسوليڊنشن
• مستحڪم چڪر وقت، ٽريڪ ايبلٽي، ۽ ان لائن معيار ڪنٽرول لاءِ خودڪار آپشن
اصول
روايتي طريقا ڇو جدوجهد ڪن ٿا
ٻج جي بانڊنگ جي ڪارڪردگي عام طور تي ٽن ڳنڍيل متغيرن تائين محدود هوندي آهي:
-
چپڪندڙ پرت جي مستقل مزاجي (ٿلهائي ۽ هڪجهڙائي)
-
بلبلا/خالي ڪنٽرول (چپڪندڙ پرت ۾ ڦاٿل هوا)
-
علاج/ڪاربنائيزيشن کان پوءِ پوسٽ بانڊ استحڪام
دستي ڪوٽنگ عام طور تي ٿلهي جي عدم مطابقت، ڏکيائي ڊيببلنگ، اندروني خاليگي جو وڌيڪ خطرو، گريفائيٽ سطحن جي ممڪن ڇڪڻ، ۽ وڏي پيماني تي پيداوار لاءِ خراب اسڪيليبلٽي جو سبب بڻجي ٿي.
چپڪندڙ وهڪري جي رويي، مٿاڇري جي ڇڪتاڻ، ۽ سينٽرفيوگل قوت جي ڪري اسپن ڪوٽنگ غير مستحڪم ٿلهي پيدا ڪري سگهي ٿي. اهو گرافائٽ پيپر/پليٽن تي پاسي جي آلودگي ۽ فڪسچرنگ جي رڪاوٽن کي به منهن ڏئي سگهي ٿو، ۽ مضبوط مواد سان چپڪندڙن لاءِ هڪجهڙائي سان ڪوٽ ڪرڻ ڏکيو ٿي سگهي ٿو.
مربوط طريقو ڪيئن ڪم ڪندو آهي
ڪوٽنگ: اسپري ڪوٽنگ نشانو بڻايل مٿاڇري تي وڌيڪ ڪنٽرول ٿيندڙ چپڪندڙ پرت جي ٿولهه ۽ ڪوريج ٺاهيندي آهي (ٻج/ويفر، گريفائيٽ پيپر/پليٽ).
بانڊنگ: سينٽر الائنمينٽ + ايئر بيگ پريسنگ مسلسل رابطي جي حمايت ڪري ٿي؛ ويڪيوم ڊيببلنگ چپڪندڙ پرت ۾ ڦاٿل هوا، بلبلن ۽ خالي جڳهن کي گھٽائي ٿي.
سنٽرنگ/ڪاربنائيزيشن: ايڊجسٽبل درجه حرارت ۽ دٻاءُ سان اعليٰ درجه حرارت جي استحڪام آخري بانڊڊ انٽرفيس کي مستحڪم ڪري ٿو، بلبل کان پاڪ ۽ هڪجهڙائي واري پريسنگ نتيجن کي نشانو بڻائي ٿو.
حوالا ڪارڪردگي بيان
ڪاربنائيزيشن بانڊنگ جي پيداوار 90%+ تائين پهچي سگهي ٿي (عمل جو حوالو). عام بانڊنگ جي پيداوار جا حوالا ڪلاسڪ ڪيسز سيڪشن ۾ درج ٿيل آهن.
عمل
الف. نيم خودڪار ڪم جو وهڪرو
قدم 1 - اسپري ڪوٽنگ (ڪوٽنگ)
مستحڪم ٿولهه ۽ هڪجهڙائي ڪوريج حاصل ڪرڻ لاءِ نشانو بڻجندڙ سطحن تي اسپري ڪوٽنگ ذريعي چپڪندڙ لاڳو ڪريو.
قدم 2 — ترتيب ۽ بانڊنگ (بانڊنگ)
سينٽر الائنمينٽ ڪريو، ايئر بيگ پريسنگ لاڳو ڪريو، ۽ چپڪندڙ پرت ۾ ڦاٿل هوا کي ڪڍڻ لاءِ ويڪيوم ڊيببلنگ استعمال ڪريو.
قدم 3 — ڪاربنائيزيشن ڪنسوليڊيشن (سينٽرنگ/ڪاربنائيزيشن)
بانڊ ٿيل حصن کي سنٽرنگ فرنس ۾ منتقل ڪريو ۽ آخري بانڊ کي مستحڪم ڪرڻ لاءِ ترتيب ڏيڻ واري درجه حرارت ۽ دٻاءُ سان اعليٰ درجه حرارت ڪاربنائيزيشن ڪنسوليڊنشن کي هلايو.
ب. مڪمل طور تي خودڪار ورڪ فلو
خودڪار اسپري ڪوٽنگ ۽ بانڊنگ مشين ڪوٽنگ ۽ بانڊنگ جي عملن کي ضم ڪري ٿي ۽ ان ۾ روبوٽڪ هينڊلنگ ۽ ڪيليبريشن شامل ٿي سگھي ٿي. ان لائن آپشنز ۾ ID ريڊنگ ۽ بلبل ڊيٽيڪشن شامل ٿي سگھي ٿو ٽريسيبلٽي ۽ ڪوالٽي ڪنٽرول لاءِ. پوءِ پرزا ڪاربنائيزيشن ڪنسوليڊيٽيشن لاءِ سنٽرنگ فرنس ڏانهن ويندا آهن.
عمل جي رستي جي لچڪ
انٽرفيس مواد ۽ ترجيحي عمل تي منحصر ڪري، سسٽم مختلف ڪوٽنگ تسلسل ۽ سنگل سائڊ يا ڊبل سائڊ اسپري روٽس کي سپورٽ ڪري سگهي ٿو جڏهن ته ساڳئي مقصد کي برقرار رکندي: مستحڪم چپڪندڙ پرت → اثرائتي ڊيببلنگ → يونيفارم ڪنسوليڊنشن.
درخواستون
بنيادي درخواست
SiC ڪرسٽل واڌ اپ اسٽريم سيڊ بانڊنگ: سيڊ/ويفر کي گريفائيٽ پيپر/گريفائيٽ پليٽ ۽ لاڳاپيل انٽرفيس سان بانڊنگ، جنهن کان پوءِ ڪاربنائيزيشن ڪنسوليڊنشن.
سائيز جا منظرنامو
ترتيب جي چونڊ ۽ تصديق ٿيل عمل جي روٽنگ ذريعي 6/8/12 انچ بانڊنگ ايپليڪيشنن کي سپورٽ ڪري ٿو.
عام فٽ اشارا
• دستي ڪوٽنگ ٿلهي جي تبديلي، بلبلن/خالي پنن، خراشن، ۽ غير مطابقت واري پيداوار جو سبب بڻجندي آهي.
• گريفائيٽ پيپر/پليٽن تي اسپن ڪوٽنگ جي ٿلهي غير مستحڪم يا مشڪل آهي؛ پاسي جي آلودگي/فڪسچرنگ جون حدون موجود آهن.
• توهان کي سخت ورجائي قابليت ۽ گهٽ آپريٽر انحصار سان اسڪيلبل پيداوار جي ضرورت آهي.
• توهان کي خودڪار، ٽريڪ ايبلٽي، ۽ ان لائن QC آپشنز گهرجن (ID + بلبل جي سڃاڻپ)
ڪلاسيڪل ڪيس (عام نتيجا)
نوٽ: هيٺ ڏنل عام حوالا ڊيٽا / عمل جا حوالا آهن. اصل ڪارڪردگي چپڪندڙ نظام، ايندڙ مواد جي حالتن، تصديق ٿيل عمل ونڊو، ۽ معائني جي معيارن تي منحصر آهي.
ڪيس 1 - 6/8 انچ سيڊ بانڊنگ (ٿرو پُٽ ۽ پيداوار جو حوالو)
ڪابه گرافائيٽ پليٽ ناهي: 6 پي سيز / يونٽ / ڏينهن
گرافائيٽ پليٽ سان: 2.5 پي سيز / يونٽ / ڏينهن
بانڊنگ جي پيداوار: ≥95٪
ڪيس 2 - 12 انچ سيڊ بانڊنگ (ٿرو پُٽ ۽ پيداوار جو حوالو)
ڪابه گرافائيٽ پليٽ ناهي: 5 پي سيز / يونٽ / ڏينهن
گرافائيٽ پليٽ سان: 2 پي سيز / يونٽ / ڏينهن
بانڊنگ جي پيداوار: ≥95٪
ڪيس 3 — ڪاربنائيزيشن ڪنسوليڊيشن يئلڊ ريفرنس
ڪاربنائيزيشن بانڊنگ جي پيداوار: 90%+ (عمل جو حوالو)
ٽارگيٽ نتيجو: بلبل کان پاڪ ۽ هڪجهڙا دٻائڻ جا نتيجا (تصديق ۽ چڪاس جي معيار جي تابع)
سوال
سوال 1: هي حل ڪهڙو بنيادي مسئلو حل ڪري ٿو؟
الف: اهو چپڪندڙ ٿلهي/ڪوريج، ڊيببلنگ ڪارڪردگي، ۽ پوسٽ بانڊ ڪنسوليڊنشن کي ڪنٽرول ڪندي ٻج جي بانڊنگ کي مستحڪم ڪري ٿو - هڪ مهارت تي منحصر قدم کي ورجائي سگهڻ واري پيداوار جي عمل ۾ تبديل ڪري ٿو.
سوال 2: دستي ڪوٽنگ اڪثر ڪري بلبلن/خالي پنن جو سبب ڇو بڻجي ٿي؟
الف: دستي طريقا مسلسل ٿلهي کي برقرار رکڻ لاءِ جدوجهد ڪن ٿا، جنهن جي ڪري ڊيببلنگ وڌيڪ ڏکيو ٿي وڃي ٿو ۽ ڦاٿل هوا جو خطرو وڌي وڃي ٿو. اهي گريفائيٽ جي مٿاڇري کي به ڇڪي سگهن ٿا ۽ حجم ۾ معياري ڪرڻ ڏکيو آهي.
سوال 3: هن ايپليڪيشن لاءِ اسپن ڪوٽنگ غير مستحڪم ڇو ٿي سگهي ٿي؟
الف: ٿلهي چپڪندڙ وهڪري جي رويي، مٿاڇري جي ڇڪتاڻ، ۽ سينٽرفيوگل قوت لاءِ حساس آهي. گريفائيٽ پيپر/پليٽ ڪوٽنگ فڪسچرنگ ۽ پاسي جي آلودگي جي خطري جي ڪري محدود ٿي سگهي ٿي، ۽ مضبوط مواد سان چپڪندڙ کي هڪجهڙائي سان اسپن ڪوٽ ڪرڻ ڏکيو ٿي سگهي ٿو.
اسان جي باري ۾
XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوجي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز هجڻ جو مقصد.
