نيلم SiC Si لاءِ آئن بيم پالش ڪرڻ واري مشين
تفصيلي ڊاگرام
آئن بيم پالش ڪرڻ واري مشين جو پراڊڪٽ جائزو
آئن بيم فگرنگ ۽ پالش ڪرڻ واري مشين آئن اسپٽرنگ جي اصول تي ٻڌل آهي. هڪ هاءِ ويڪيوم چيمبر جي اندر، هڪ آئن ذريعو پلازما پيدا ڪري ٿو، جيڪو تيز توانائي واري آئن بيم ۾ تيز ٿئي ٿو. هي بيم آپٽيڪل جزو جي مٿاڇري تي بمباري ڪري ٿو، ايٽمي پيماني تي مواد کي هٽائي ٿو ته جيئن الٽرا-پريڪٽس مٿاڇري جي اصلاح ۽ ختم ڪرڻ حاصل ڪري سگهجي.
هڪ غير رابطي واري عمل جي طور تي، آئن بيم پالش ڪرڻ ميڪيڪل دٻاءُ کي ختم ڪري ٿو ۽ زمين جي مٿاڇري کي نقصان کان بچائي ٿو، ان کي فلڪيات، ايرو اسپيس، سيمي ڪنڊڪٽرز، ۽ جديد تحقيقي ايپليڪيشنن ۾ استعمال ٿيندڙ اعليٰ درستگي واري آپٽڪس جي پيداوار لاءِ مثالي بڻائي ٿو.
آئن بيم پالش ڪرڻ واري مشين جو ڪم ڪندڙ اصول
آئن نسل
غير فعال گئس (مثال طور، آرگن) کي ويڪيوم چيمبر ۾ داخل ڪيو ويندو آهي ۽ برقي خارج ٿيڻ ذريعي آئنائيز ڪيو ويندو آهي پلازما ٺاهڻ لاءِ.
تيز رفتاري ۽ شعاع جي جوڙجڪ
آئنز کي ڪيترن ئي سئو يا هزار اليڪٽران وولٽس (eV) تائين تيز ڪيو ويندو آهي ۽ هڪ مستحڪم، مرڪوز بيم اسپاٽ ۾ شڪل ڏني ويندي آهي.
مواد هٽائڻ
آئن بيم جسماني طور تي ڪيميائي رد عمل شروع ڪرڻ کان سواءِ مٿاڇري تان ايٽم کي ڦاڙي ٿو.
غلطي جي ڳولا ۽ رستي جي منصوبه بندي
مٿاڇري جي شڪل جي انحراف کي انٽرفيروميٽري سان ماپيو ويندو آهي. هٽائڻ جا ڪم رهائش جي وقت کي طئي ڪرڻ ۽ بهتر اوزار جا رستا پيدا ڪرڻ لاءِ لاڳو ڪيا ويندا آهن.
بند لوپ اصلاح
پروسيسنگ ۽ ماپ جا بار بار چڪر جاري رهندا آهن جيستائين RMS/PV درستگي جا هدف حاصل نه ٿين.
آئن بيم پالش ڪرڻ واري مشين جون اهم خاصيتون
عالمگير سطح جي مطابقت- فليٽ، گول، اسفيريل، ۽ فريفارم سطحن کي پروسيس ڪري ٿو
الٽرا اسٽيبل هٽائڻ جي شرح- ذيلي نانو ميٽر جي شڪل جي اصلاح کي فعال ڪري ٿو
نقصان کان پاڪ پروسيسنگ- ڪابه زير زمين خرابي يا ساخت جي تبديلي نه آهي
مسلسل ڪارڪردگي- مختلف سختي جي مواد تي هڪجهڙائي سان ڪم ڪري ٿو
گھٽ/وچولي فريڪئنسي اصلاح- وچولي/هاءِ فريڪوئنسي آرٽيفيڪٽس پيدا ڪرڻ کان سواءِ غلطيون ختم ڪري ٿو.
گھٽ سار سنڀال جي گهرج- گهٽ ۾ گهٽ بند وقت سان ڊگهي مسلسل آپريشن
آئن بيم پالش ڪرڻ واري مشين جون مکيه ٽيڪنيڪل وضاحتون
| شيءِ | وضاحت |
| پروسيسنگ جو طريقو | هڪ اعليٰ خلا واري ماحول ۾ آئن جو ڦُٽڻ |
| پروسيسنگ جو قسم | غير رابطي واري مٿاڇري جي ماپ ۽ پالش ڪرڻ |
| وڌ ۾ وڌ ورڪ پيس سائيز | Φ4000 ملي ميٽر |
| حرڪت جا محور | 3-محور / 5-محور |
| هٽائڻ جي استحڪام | ≥95٪ |
| مٿاڇري جي درستگي | پي وي < 10 اين ايم؛ آر ايم ايس ≤ 0.5 اين ايم (عام آر ايم ايس < 1 اين ايم؛ پي وي < 15 اين ايم) |
| فريڪوئنسي اصلاح جي صلاحيت | وچولي/اعليٰ فريڪوئنسي غلطيون متعارف ڪرائڻ کان سواءِ گهٽ-وچولي فريڪوئنسي غلطيون ختم ڪري ٿو. |
| مسلسل آپريشن | 3-5 هفتا بغير ويڪيوم سار سنڀال جي |
| سار سنڀال جو خرچ | گهٽ |
آئن بيم پالش ڪرڻ واري مشين جي پروسيسنگ صلاحيتون
سپورٽ ٿيل مٿاڇري جا قسم
سادو: فليٽ، گول، پرزم
ڪمپليڪس: سميٽرڪ/غير متناسب اسفير، محور کان ٻاهر اسفير، سلنڈريڪل
خاص: الٽرا ٿل آپٽڪس، سليٽ آپٽڪس، هيميسفيريڪل آپٽڪس، ڪنفارمل آپٽڪس، فيز پليٽس، فري فارم مٿاڇريون
سپورٽ ٿيل مواد
آپٽيڪل گلاس: ڪوارٽز، مائڪرو ڪرسٽل لائن، K9، وغيره.
انفراريڊ مواد: سلڪون، جرمينيم، وغيره.
ڌاتو: ايلومينيم، اسٽينلیس سٹیل، ٽائيٽينيم مصر، وغيره.
ڪرسٽل: YAG، سنگل-ڪرسٽل سلڪون ڪاربائيڊ، وغيره.
سخت/ڀُرندڙ مواد: سلڪون ڪاربائيڊ، وغيره.
مٿاڇري جي معيار / درستگي
پي وي < 10 اين ايم
آر ايم ايس ≤ 0.5 اين ايم
آئن بيم پالش ڪرڻ واري مشين جي ڪيس اسٽڊيز جي پروسيسنگ
ڪيس 1 - معياري فليٽ آئينو
ورڪ پيس: D630 ملي ميٽر ڪوارٽز فليٽ
نتيجو: پي وي 46.4 اين ايم؛ آر ايم ايس 4.63 اين ايم
ڪيس 2 - ايڪس ري ريفليڪٽو آئينو
ورڪ پيس: 150 × 30 ملي ميٽر سلڪون فليٽ
نتيجو: PV 8.3 nm؛ RMS 0.379 nm؛ سلوپ 0.13 µrad
ڪيس 3 - آف ايڪسس آئينو
ورڪ پيس: D326 ملي ميٽر آف ايڪسس گرائونڊ آئينو
نتيجو: پي وي 35.9 اين ايم؛ آر ايم ايس 3.9 اين ايم
ڪوارٽز شيشي جا سوال
سوال - آئن بيم پالش ڪرڻ واري مشين
سوال 1: آئن بيم پالش ڪرڻ ڇا آهي؟
اي 1:آئن بيم پالش ڪرڻ هڪ غير رابطي وارو عمل آهي جيڪو آئن جي هڪ مرڪوز بيم (جهڙوڪ آرگن آئن) کي ورڪ پيس جي مٿاڇري تان مواد کي هٽائڻ لاءِ استعمال ڪندو آهي. آئن تيز ڪيا ويندا آهن ۽ مٿاڇري ڏانهن هدايت ڪيا ويندا آهن، ايٽمي سطح جي مواد کي هٽائڻ جو سبب بڻجندا آهن، جنهن جي نتيجي ۾ الٽرا-سموٿ ختم ٿيندي آهي. هي عمل ميڪيڪل دٻاءُ ۽ زير زمين نقصان کي ختم ڪري ٿو، ان کي درست آپٽيڪل حصن لاءِ مثالي بڻائي ٿو.
سوال 2: آئن بيم پالش ڪرڻ واري مشين ڪهڙي قسم جي مٿاڇري کي پروسيس ڪري سگهي ٿي؟
اي 2:جيآئن بيم پالش ڪرڻ واري مشينمختلف سطحن کي پروسيس ڪري سگھي ٿو، جنهن ۾ سادي آپٽيڪل اجزاء شامل آهن جهڙوڪفليٽ، گولا، ۽ پرزم، ۽ گڏوگڏ پيچيده جاميٽري جهڙوڪاسفير، محور کان ٻاهر اسفير، ۽آزاد شڪل واريون سطحون. اهو خاص طور تي آپٽيڪل گلاس، انفراريڊ آپٽڪس، ڌاتو، ۽ سخت/ ڀُرندڙ مواد جهڙن مواد تي اثرائتو آهي.
سوال 3: آئن بيم پالش ڪرڻ واري مشين ڪهڙي مواد سان ڪم ڪري سگهي ٿي؟
اي 3:جيآئن بيم پالش ڪرڻ واري مشينمواد جي وسيع رينج کي پالش ڪري سگھي ٿو، جنهن ۾ شامل آهن:
-
آپٽيڪل گلاس: ڪوارٽز، مائڪرو ڪرسٽل لائن، K9، وغيره.
-
انفراريڊ مواد: سلڪون، جرمينيم، وغيره.
-
ڌاتو: ايلومينيم، اسٽينلیس سٹیل، ٽائيٽينيم مصر، وغيره.
-
ڪرسٽل مواد: YAG، سنگل ڪرسٽل سلڪون ڪاربائيڊ، وغيره.
-
ٻيا سخت/ ڀُرندڙ مواد: سلڪون ڪاربائيڊ، وغيره.
اسان جي باري ۾
XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوجي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز هجڻ جو مقصد.
