4 انچ سي سي ويفرز 6 ايڇ سيمي انسوليٽنگ سي سي سبسٽريٽس پرائم، ريسرچ ۽ ڊمي گريڊ
پيداوار جي وضاحت
| گريڊ | زيرو MPD پيداوار گريڊ (Z گريڊ) | معياري پيداوار گريڊ (P گريڊ) | ڊمي گريڊ (ڊي گريڊ) | ||||||||
| قطر | 99.5mm ~ 100.0mm | ||||||||||
| 4H-SI | 500 μm ± 20 μm | 500 μm ± 25 μm | |||||||||
| ويفر اورينٽيشن |
بند محور: 4.0° طرف <1120 > ±0.5° 4H-N لاءِ، محور تي: <0001>±0.5° 4H-SI لاءِ | ||||||||||
| 4H-SI | ≤1 سينٽي ميٽر-2 | ≤5 سينٽي ميٽر-2 | ≤15 سينٽي ميٽر-2 | ||||||||
| 4H-SI | ≥1E9 Ω· سينٽ | ≥1E5 Ω· سينٽ | |||||||||
| پرائمري فليٽ اورينٽيشن | {10-10} ±5.0° | ||||||||||
| پرائمري فليٽ ڊگھائي | 32.5 mm±2.0 mm | ||||||||||
| ثانوي فليٽ ڊگھائي | 18.0 mm±2.0 mm | ||||||||||
| ثانوي فليٽ اورينٽيشن | سلکان منهن مٿي: 90 ° CW.پرائم فليٽ ±5.0° کان | ||||||||||
| کنڊ جي خارج ٿيڻ | 3 ملي ايم | ||||||||||
| LTV/TTV/Bow/Warp | ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||||||||
| سختي | سي منهن | پالش | Ra≤1 nm | ||||||||
| منهن | سي ايم پي | Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||||||
| تيز شدت واري روشني سان ايج ڪرڪس | ڪو به | مجموعي ڊيگهه ≤ 10 ملي ايم، اڪيلو ڊگھائي≤2 ملي ايم | |||||||||
| هيڪس پليٽ تيز شدت جي روشني سان | مجموعي علائقو ≤0.05% | مجموعي علائقو ≤0.1% | |||||||||
| پوليٽائپ ايرياز پاران تيز شدت واري روشني | ڪو به | مجموعي علائقو≤3% | |||||||||
| بصري ڪاربن جي شموليت | مجموعي علائقو ≤0.05% | مجموعي علائقو ≤3% | |||||||||
| سلڪون مٿاڇري جي ڇنڊڇاڻ تيز شدت جي روشني سان | ڪو به | مجموعي ڊيگهه≤1＊wafer قطر | |||||||||
| ايج چپس تيز شدت جي روشني سان | ڪابه اجازت نه آهي ≥0.2 ملي ويڪر ۽ کوٽائي | 5 اجازت ڏني وئي، ≤1 ملي ميٽر هر هڪ | |||||||||
| Silicon مٿاڇري آلودگي تيز شدت سان | ڪو به | ||||||||||
| پيڪنگنگ | ملٽي ويفر ڪيسٽ يا سنگل ويفر ڪنٽينر | ||||||||||
تفصيلي خاڪو
پنهنجو پيغام هتي لکو ۽ اسان ڏانهن موڪليو
