4H-N/6H-N SiC ويفر ريسرچ پروڊڪشن ڊمي گريڊ Dia150mm سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽ

گريڊ

صفر ايم پي ڊي

پيداوار

ريسرچ گريڊ

ڊمي گريڊ

قطر

150.0 ملي ميٽر ± 0.25 ملي ميٽر

ٿولهه

4 ايڇ-ن

350م±25م

4 ايڇ-ايس آءِ

500م±25م

ويفر اورينٽيشن

محور تي: <0001>±0.5° 4H-SI لاءِ
محور کان ٻاهر: 4.0° جي طرف <1120>±0.5° 4H-N لاءِ

پرائمري فليٽ

{10-10} ± 5.0°

پرائمري فليٽ جي ڊيگهه

47.5 ملي ميٽر ± 2.5 ملي ميٽر

ڪنڊ خارج ڪرڻ

3 ملي ميٽر

ٽي ٽي وي/ڪمان/وارپ

≤15م/≤40م/≤60م

مائڪرو پائپ کثافت

≤1 سينٽي ميٽر-2

≤5 سينٽي ميٽر-2

≤15 سينٽي ميٽر-2

≤50 سينٽي ميٽر-2

مزاحمت 4H-N 4H-SI

0.015~0.028Ω! سينٽي ميٽر

≥1E5Ω! سينٽي ميٽر

ڪَڙهو پن

پولش را ≤1nm سي ايم پي را ≤0.5nm

#تيز شدت واري روشني سان ٽڪراءُ

ڪو به نه

1 اجازت ڏنل، ≤2 ملي ميٽر

مجموعي ڊيگهه ≤10mm، سنگل ڊيگهه ≤2mm

*وڌيڪ شدت واري روشني سان هيڪس پليٽون

مجموعي علائقو ≤1%

مجموعي علائقو ≤ 2%

مجموعي علائقو ≤ 5٪

* تيز شدت واري روشني سان پولي ٽائپ علائقا

ڪو به نه

مجموعي علائقو ≤ 2%

مجموعي علائقو ≤ 5٪

* ۽ تيز شدت واري روشني سان ڇڪڻ

3 خرچيون 1 x ويفر قطر تائين مجموعي ڊيگهه

5 خرچيون 1 x ويفر قطر تائين مجموعي ڊيگهه

5 خرچي کان 1 x ويفر قطر تائين مجموعي ڊيگهه

ايج چپ

ڪو به نه

3 اجازت ڏنل، ≤0.5mm هر هڪ

5 اجازت ڏنل، ≤1 ملي ميٽر هر هڪ

تيز شدت واري روشني سان آلودگي

ڪو به نه