4 انچ اعليٰ پاڪائي Al2O3 99.999% نيلم سبسٽريٽ ويفر Dia101.6×0.65mmt پرائمري فليٽ ڊيگهه سان

شيءِ

4 انچ سي-پلين (0001) 650μm نيلم ويفرز

ڪرسٽل مواد

99,999٪، اعليٰ پاڪائي، مونو ڪرسٽل لائن Al2O3

گريڊ

پرائم، ايپي تيار

مٿاڇري جي رخ

سي-پلين (0001)

سي-پلين ايم-محور ڏانهن آف اينگل 0.2 +/- 0.1°

قطر

100.0 ملي ميٽر +/- 0.1 ملي ميٽر

ٿولهه

650 μm +/- 25 μm

پرائمري فليٽ اورينٽيشن

اي-پلين (11-20) +/- 0.2°

پرائمري فليٽ جي ڊيگهه

30.0 ملي ميٽر +/- 1.0 ملي ميٽر

سنگل سائڊ پالش ٿيل

سامهون واري مٿاڇري

ايپي پالش ٿيل، Ra < 0.2 nm (AFM پاران)

(ايس ايس پي)

پوئين مٿاڇري

سٺي زمين، را = 0.8 μm کان 1.2 μm تائين

ڊبل سائڊ پالش ٿيل

سامهون واري مٿاڇري

ايپي پالش ٿيل، Ra < 0.2 nm (AFM پاران)

(ڊي ايس پي)

پوئين مٿاڇري

ايپي پالش ٿيل، Ra < 0.2 nm (AFM پاران)

ٽي ٽي وي

< 20 μm

ڪمان

< 20 μm

وارپ

< 20 μm

صفائي / پيڪنگنگ

ڪلاس 100 ڪلين روم جي صفائي ۽ ويڪيوم پيڪنگنگ،

هڪ ڪيسٽ پيڪنگنگ يا سنگل پيس پيڪنگنگ ۾ 25 ٽڪرا.