100 ملي ميٽر 4 انچ گي اين آن سيفائر ايپي-ليئر ويفر گيليم نائٽرائڊ ايپيٽيڪسيل ويفر
GaN بليو LED ڪوانٽم ويل جي جوڙجڪ جي واڌ جو عمل. تفصيلي عمل جو وهڪرو هيٺ ڏنل آهي.
(1) تيز گرمي پد تي بيڪنگ، نيلم سبسٽريٽ کي پهريون ڀيرو هائيڊروجن ماحول ۾ 1050 ℃ تي گرم ڪيو ويندو آهي، مقصد سبسٽريٽ جي مٿاڇري کي صاف ڪرڻ آهي؛
(2) جڏهن سبسٽريٽ جو گرمي پد 510 ℃ تائين گهٽجي ويندو آهي، ته 30nm جي ٿولهه سان گهٽ درجه حرارت وارو GaN/AlN بفر پرت نيلم سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ٿي ويندو آهي؛
(3) گرمي پد 10 ℃ تائين وڌي ٿو، رد عمل گيس امونيا، ٽرائيميٿيل گيليم ۽ سائلين کي انجيڪشن ڪيو وڃي ٿو، ترتيب وار لاڳاپيل وهڪري جي شرح کي ڪنٽرول ڪن ٿا، ۽ 4um ٿولهه جو سلڪون-ڊوپڊ اين-قسم جو GaN وڌايو وڃي ٿو؛
(4) ٽرائيميٿائل ايلومينيم ۽ ٽرائيميٿائل گيليم جي رد عمل گيس کي 0.15um جي ٿولهه سان سلڪون-ڊوپڊ N-قسم A⒑ براعظمن کي تيار ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويو؛
(5) 50nm Zn-doped InGaN تيار ڪيو ويو ٽرائيميٿائل گيليم، ٽرائيميٿائل لينڊيم، ڊائيٿيل زنڪ ۽ امونيا کي 8O0 ℃ جي گرمي پد تي انجيڪشن ڪندي ۽ مختلف وهڪري جي شرحن کي ترتيب سان ڪنٽرول ڪندي؛
(6) گرمي پد 1020 ℃ تائين وڌايو ويو، ٽرائيميٿيل ايلومينيم، ٽرائيميٿيل گيليم ۽ بيس (سائيڪلوپينٽيڊينيل) ميگنيشيم کي 0.15um Mg ڊوپڊ P-قسم AlGaN ۽ 0.5um Mg ڊوپڊ P-قسم G رت ۾ گلوڪوز تيار ڪرڻ لاءِ انجيڪشن ڪيو ويو؛
(7) اعليٰ معيار جي پي-قسم جي گي اين سيبويان فلم 700 ℃ تي نائٽروجن ماحول ۾ اينيلنگ ذريعي حاصل ڪئي وئي؛
(8) پي-قسم جي جي اسٽيسس مٿاڇري تي اين-قسم جي جي اسٽيسس مٿاڇري کي ظاهر ڪرڻ لاءِ ايچنگ؛
(9) p-GaNI مٿاڇري تي Ni/Au رابطي پليٽن جو بخارات، ll-GaN مٿاڇري تي △/Al رابطي پليٽن جو بخارات اليڪٽروڊ ٺاهڻ لاءِ.
وضاحتون
| شيءِ | گي اين-ٽي سي يو-سي 100 | گي اين-ٽي سي اين-سي 100 |
| پکيڙ | اي 100 ملي ميٽر ± 0.1 ملي ميٽر | |
| ٿولهه | 4.5±0.5um ترتيب ڏئي سگهجي ٿو | |
| رخ ڏيڻ | سي-پلين (0001) ±0.5° | |
| ڪنڊڪشن جو قسم | اين-قسم (انڊوپ ٿيل) | اين-قسم (سي-ڊوپڊ) |
| مزاحمت (300 ڪلو) | < 0.5 ق. سينٽي ميٽر | < 0.05 ق. سينٽي ميٽر |
| ڪيريئر ڪنسنٽريشن | < 5x1017سي ايم-3 | > 1x1018سي ايم-3 |
| حرڪت | ~ 300 سينٽي ميٽر2/ بمقابلہ | ~ 200 سينٽي ميٽر2/ بمقابلہ |
| بي دخلي جي کثافت | 5x10 کان گهٽ8سي ايم-2(XRD جي FWHMs پاران حساب ڪيل) | |
| سبسٽريٽ جي جوڙجڪ | نيلم تي GaN (معياري: SSP آپشن: DSP) | |
| استعمال لائق مٿاڇري جو علائقو | > 90٪ | |
| پئڪيج | ڪلاس 100 جي صاف ڪمري واري ماحول ۾، 25 پي سيز جي ڪيسٽس يا سنگل ويفر ڪنٽينرز ۾، نائٽروجن ماحول هيٺ پيڪيج ٿيل. | |
تفصيلي ڊاگرام
