4 انچ سي آءِ سي ويفرز 6 ايڇ سيمي انسوليٽنگ سي آءِ سي سبسٽريٽس پرائم، ريسرچ، ۽ ڊمي گريڊ
پيداوار جي وضاحت
| گريڊ | زيرو ايم پي ڊي پيداوار گريڊ (Z گريڊ) | معياري پيداوار گريڊ (پي گريڊ) | ڊمي گريڊ (ڊي گريڊ) | ||||||||
| قطر | 99.5 ملي ميٽر ~ 100.0 ملي ميٽر | ||||||||||
| 4 ايڇ-ايس آءِ | 500 μm±20 μm | 500 μm±25 μm | |||||||||
| ويفر اورينٽيشن |
محور کان ٻاهر: 4.0° <1120 > ±0.5° ڏانهن 4H-N لاءِ، محور تي: <0001>±0.5° 4H-SI لاءِ | ||||||||||
| 4 ايڇ-ايس آءِ | ≤1 سينٽي ميٽر-2 | ≤5 سينٽي ميٽر-2 | ≤15 سينٽي ميٽر-2 | ||||||||
| 4 ايڇ-ايس آءِ | ≥1E9 Ω·سينٽي ميٽر | ≥1E5 Ω·سينٽي ميٽر | |||||||||
| پرائمري فليٽ اورينٽيشن | {10-10} ±5.0° | ||||||||||
| پرائمري فليٽ جي ڊيگهه | 32.5 ملي ميٽر ± 2.0 ملي ميٽر | ||||||||||
| ثانوي فليٽ جي ڊيگهه | 18.0 ملي ميٽر ± 2.0 ملي ميٽر | ||||||||||
| ثانوي فليٽ اورينٽيشن | سلڪون منهن مٿي: 90° CW. پرائم فليٽ ±5.0° کان | ||||||||||
| ايج ايڪسڪلوشن | 3 ملي ميٽر | ||||||||||
| ايل ٽي وي/ٽي ٽي وي/ڪمان/وارپ | ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||||||||
| ڪَڙهو پن | سي چهرو | پالش | را≤1 نانو ميٽر | ||||||||
| سي چهرو | سي ايم پي | را ≤0.2 نانو ميٽر | را 0.5 نانو ميٽر | ||||||||
| تيز شدت واري روشنيءَ جي ڪري ڪنارن ۾ ٽڪراءُ | ڪو به نه | مجموعي ڊيگهه ≤ 10 ملي ميٽر، سنگل ڊيگهه≤2 ملي ميٽر | |||||||||
| تيز شدت واري روشني سان هيڪس پليٽون | مجموعي علائقو ≤0.05% | مجموعي علائقو ≤0.1% | |||||||||
| تيز شدت واري روشني ذريعي پولي ٽائپ علائقا | ڪو به نه | مجموعي علائقو≤3% | |||||||||
| بصري ڪاربن شموليت | مجموعي علائقو ≤0.05% | مجموعي علائقو ≤3% | |||||||||
| تيز شدت واري روشنيءَ جي ڪري سلڪون جي مٿاڇري تي ڇڪتاڻ | ڪو به نه | مجموعي ڊيگهه ≤1*ويفر قطر | |||||||||
| شدت واري روشني سان ايج چپس هاءِ | ڪابه اجازت ناهي ≥0.2 ملي ميٽر ويڪر ۽ کوٽائي | 5 اجازت ڏنل، ≤1 ملي ميٽر هر هڪ | |||||||||
| تيز شدت سان سلڪون مٿاڇري جي آلودگي | ڪو به نه | ||||||||||
| پيڪنگنگ | ملٽي ويفر ڪيسٽ يا سنگل ويفر ڪنٽينر | ||||||||||
تفصيلي ڊاگرام
پنهنجو پيغام هتي لکو ۽ اسان ڏانهن موڪليو
