ڪيريئر سي-پلين ڊي ايس پي ٽي وي لاءِ 156 ايم ايم 159 ايم ايم 6 انچ سيفائر ويفر
وضاحت
| شيءِ | 6 انچ سي-پلين (0001) نيلم ويفرز | |
| ڪرسٽل مواد | 99,999٪، اعليٰ پاڪائي، مونو ڪرسٽل لائن Al2O3 | |
| گريڊ | پرائم، ايپي تيار | |
| مٿاڇري جي رخ | سي-پلين (0001) | |
| سي-پلين ايم-محور ڏانهن آف اينگل 0.2 +/- 0.1° | ||
| قطر | 100.0 ملي ميٽر +/- 0.1 ملي ميٽر | |
| ٿولهه | 650 μm +/- 25 μm | |
| پرائمري فليٽ اورينٽيشن | سي-پلين (00-01) +/- 0.2° | |
| سنگل سائڊ پالش ٿيل | سامهون واري مٿاڇري | ايپي پالش ٿيل، Ra < 0.2 nm (AFM پاران) |
| (ايس ايس پي) | پوئين مٿاڇري | سٺي زمين، را = 0.8 μm کان 1.2 μm تائين |
| ڊبل سائڊ پالش ٿيل | سامهون واري مٿاڇري | ايپي پالش ٿيل، Ra < 0.2 nm (AFM پاران) |
| (ڊي ايس پي) | پوئين مٿاڇري | ايپي پالش ٿيل، Ra < 0.2 nm (AFM پاران) |
| ٽي ٽي وي | < 20 μm | |
| ڪمان | < 20 μm | |
| وارپ | < 20 μm | |
| صفائي / پيڪنگنگ | ڪلاس 100 ڪلين روم جي صفائي ۽ ويڪيوم پيڪنگنگ، | |
| هڪ ڪيسٽ پيڪنگنگ يا سنگل پيس پيڪنگنگ ۾ 25 ٽڪرا. | ||
ڪائلوپولوس طريقو (KY طريقو) هن وقت چين ۾ ڪيتريون ئي ڪمپنيون اليڪٽرانڪس ۽ آپٽڪس صنعتن ۾ استعمال لاءِ نيلم ڪرسٽل تيار ڪرڻ لاءِ استعمال ڪن ٿيون.
هن عمل ۾، اعليٰ پاڪائي واري ايلومينيم آڪسائيڊ کي 2100 درجا سينٽي گريڊ کان مٿي گرمي پد تي ڪروسيبل ۾ ڳاريو ويندو آهي. عام طور تي ڪروسيبل ٽنگسٽن يا موليبڊينم مان ٺهيل هوندو آهي. هڪ خاص طور تي مبني ٻج ڪرسٽل کي پگھريل ايلومينا ۾ ٻوڙيو ويندو آهي. ٻج ڪرسٽل کي آهستي آهستي مٿي ڇڪيو ويندو آهي ۽ هڪ ئي وقت گھمائي سگهجي ٿو. گرمي پد جي گريڊينٽ، ڇڪڻ جي شرح ۽ ٿڌي شرح کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪندي، پگھلڻ مان هڪ وڏو، سنگل ڪرسٽل، تقريبن سلنڈر وارو انگوٽ پيدا ڪري سگهجي ٿو.
سنگل ڪرسٽل نيلم جي انگوٽ وڌڻ کان پوءِ، انهن کي سلنڈري راڊز ۾ سوراخ ڪيو ويندو آهي، جيڪي پوءِ گهربل ونڊو جي ٿلهي تائين ڪٽيا ويندا آهن ۽ آخرڪار گهربل سطح جي ختم ٿيڻ تائين پالش ڪيا ويندا آهن.
تفصيلي ڊاگرام
