ڪرسٽل اورينٽيشن ماپ لاءِ ويفر اورينٽيشن سسٽم
سامان جو تعارف
ويفر اورينٽيشن اوزار ايڪس ري ڊفرڪشن (XRD) اصولن تي ٻڌل درست ڊوائيسز آهن، جيڪي بنيادي طور تي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار، آپٽيڪل مواد، سيرامڪس، ۽ ٻين ڪرسٽل مواد جي صنعتن ۾ استعمال ٿيندا آهن.
اهي اوزار ڪرسٽل لٽيس جي رخ جو تعين ڪن ٿا ۽ صحيح ڪٽڻ يا پالش ڪرڻ جي عملن جي رهنمائي ڪن ٿا. اهم خاصيتون شامل آهن:
- اعليٰ درستگي جون ماپون:0.001° تائين ڪوئلي ريزوليوشن سان ڪرسٽللوگرافڪ جهازن کي حل ڪرڻ جي قابل.
- وڏي نموني مطابقت:450 ملي ميٽر قطر ۽ 30 ڪلوگرام وزن تائين ويفرز کي سپورٽ ڪري ٿو، جيڪي سلڪون ڪاربائيڊ (SiC)، نيلم، ۽ سلڪون (Si) جهڙن مواد لاءِ موزون آهن.
- ماڊيولر ڊيزائن:وڌائڻ جي قابل ڪارڪردگي ۾ راڪنگ ڪرو تجزيو، 3D سطح جي خرابي جي نقشي سازي، ۽ ملٽي نموني پروسيسنگ لاءِ اسٽيڪنگ ڊوائيسز شامل آهن.
اهم ٽيڪنيڪل پيرا ميٽرز
| پيرا ميٽر ڪيٽيگري | عام قدر/ترتيب |
| ايڪس ري ذريعو | Cu-Kα (0.4×1 ملي ميٽر فوڪل اسپاٽ)، 30 kV تيز ڪندڙ وولٽيج، 0-5 mA ترتيب ڏيڻ وارو ٽيوب ڪرنٽ |
| ڪوئلي جي حد | θ: -10° کان +50° تائين؛ 2θ: -10° کان +100° تائين |
| درستگي | جھڪاءُ زاويه جو حل: 0.001°، مٿاڇري جي خرابي جي ڳولا: ±30 آرڪ سيڪنڊ (جهولندڙ وکر) |
| اسڪيننگ جي رفتار | اوميگا اسڪين 5 سيڪنڊن ۾ مڪمل ليٽيس اورينٽيشن مڪمل ڪري ٿو؛ ٿيٽا اسڪين ~1 منٽ وٺندو آهي. |
| نموني اسٽيج | وي-گروو، نيوميٽڪ سکشن، گھڻ-زاويه گردش، 2-8 انچ ويفرز سان مطابقت رکندڙ |
| وڌائڻ وارا ڪم | راڪنگ ڪرو تجزيو، 3D ميپنگ، اسٽيڪنگ ڊيوائس، آپٽيڪل ڊيفيڪٽ ڊيٽيڪشن (اسڪريچ، GBs) |
ڪم ڪندڙ اصول
1. ايڪس ري ڊفرڪشن فائونڊيشن
- ايڪس ري ڪرسٽل لٽيس ۾ ايٽمي مرڪز ۽ اليڪٽران سان لهه وچڙ ڪن ٿا، جنهن سان ڊفرڪشن نمونا پيدا ٿين ٿا. برگ جو قانون (nλ = 2d sinθ) ڊفرڪشن اينگلز (θ) ۽ لٽيس اسپيسنگ (d) جي وچ ۾ تعلق کي سنڀاليندو آهي.
ڊيٽيڪٽر انهن نمونن کي پڪڙيندا آهن، جن جو تجزيو ڪري ڪرسٽلوگرافڪ ڍانچي کي ٻيهر تعمير ڪيو ويندو آهي.
2. اوميگا اسڪيننگ ٽيڪنالاجي
- ڪرسٽل هڪ مقرر محور جي چوڌاري مسلسل گردش ڪري ٿو جڏهن ته ايڪس ريز ان کي روشن ڪن ٿا.
- ڊيٽيڪٽر ڪيترن ئي ڪرسٽالوگرافڪ جهازن ۾ ڊفرڪشن سگنل گڏ ڪن ٿا، 5 سيڪنڊن ۾ مڪمل ليٽيس اورينٽيشن جي تعين کي فعال ڪن ٿا.
3. راڪنگ ڪرو تجزيو
- چوٽي جي ويڪر (FWHM) کي ماپڻ لاءِ، جالي جي خرابين ۽ دٻاءُ جو جائزو وٺڻ لاءِ مختلف ايڪس ري واقعن جي زاوين سان فڪسڊ ڪرسٽل اينگل.
4. خودڪار ڪنٽرول
- پي ايل سي ۽ ٽچ اسڪرين انٽرفيس بند لوپ ڪنٽرول لاءِ پري سيٽ ڪٽنگ اينگل، ريئل ٽائيم فيڊ بيڪ، ۽ ڪٽنگ مشينن سان انضمام کي فعال ڪن ٿا.
فائدا ۽ خاصيتون
1. درستگي ۽ ڪارڪردگي
- ڪوئلي جي درستگي ±0.001°، خرابي جي ڳولا جو حل <30 آرڪ سيڪنڊ.
- اوميگا اسڪين جي رفتار روايتي ٿيٽا اسڪين کان 200x تيز آهي.
2. ماڊيولريٽي ۽ اسڪيليبلٽي
- خاص ايپليڪيشنن لاءِ وڌائڻ لائق (مثال طور، SiC ويفرز، ٽربائن بليڊ).
- حقيقي وقت جي پيداوار جي نگراني لاءِ MES سسٽم سان ضم ٿئي ٿو.
3. مطابقت ۽ استحڪام
- غير منظم شڪل وارن نمونن کي گڏ ڪري ٿو (مثال طور، ڦاٽل نيلم جا انگوٽ).
- ايئر ڪولڊ ڊيزائن سار سنڀال جي ضرورتن کي گھٽائي ٿو.
4. ذهين آپريشن
- هڪ ڪلڪ ڪيليبريشن ۽ ملٽي ٽاسڪ پروسيسنگ.
- انساني غلطي کي گھٽ ڪرڻ لاءِ ريفرنس ڪرسٽل سان خودڪار ڪيليبريشن.
درخواستون
1. سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار
- ويفر ڊائسنگ اورينٽيشن: بهتر ڪٽڻ جي ڪارڪردگي لاءِ Si، SiC، GaN ويفر اورينٽيشن جو تعين ڪري ٿو.
- خرابي جي نقشي سازي: چپ جي پيداوار کي بهتر بڻائڻ لاءِ مٿاڇري جي ڇنڊڇاڻ يا خلل جي سڃاڻپ ڪري ٿي.
2. آپٽيڪل مواد
- ليزر ڊوائيسز لاءِ غير لڪير وارا ڪرسٽل (مثال طور، LBO، BBO).
- ايل اي ڊي سبسٽريٽس لاءِ نيلم ويفر ريفرنس مٿاڇري جي نشاندهي.
3. سيرامڪس ۽ ڪمپوزٽس
- اعليٰ درجه حرارت جي ايپليڪيشنن لاءِ Si3N4 ۽ ZrO2 ۾ اناج جي رخ جو تجزيو ڪري ٿو.
4. تحقيق ۽ معيار جو ڪنٽرول
- نئين مواد جي ترقي لاءِ يونيورسٽيون/ليبارٽريون (مثال طور، هاءِ اينٽراپي الائيز).
- بيچ جي تسلسل کي يقيني بڻائڻ لاءِ صنعتي QC.
XKH جون خدمتون
XKH ويفر اورينٽيشن آلات لاءِ جامع لائف سائيڪل ٽيڪنيڪل سپورٽ پيش ڪري ٿو، جنهن ۾ انسٽاليشن، پروسيس پيرا ميٽر آپٽمائيزيشن، راڪنگ ڪرو تجزيو، ۽ 3D مٿاڇري جي خرابي جي نقشي شامل آهن. سيمي ڪنڊڪٽر ۽ آپٽيڪل مواد جي پيداوار جي ڪارڪردگي کي 30٪ کان وڌيڪ وڌائڻ لاءِ تيار ڪيل حل (مثال طور، انگٽ اسٽيڪنگ ٽيڪنالاجي) فراهم ڪيا ويا آهن. هڪ وقف ٽيم سائيٽ تي تربيت هلائي ٿي، جڏهن ته 24/7 ريموٽ سپورٽ ۽ تيز اسپيئر پارٽس جي متبادل سامان جي اعتبار کي يقيني بڻائي ٿي.
