الٽرا-پريسيزن سي آءِ سي ايئر بيئرنگ اسٽيج

مختصر وضاحت:

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جي مسلسل ارتقا سان، پروسيسنگ ۽ انسپيڪشن سامان هميشه کان وڌيڪ ڪارڪردگي جي گهرج ڪري ٿو. حرڪت ڪنٽرول ۽ نانو ميٽر-سطح جي پوزيشننگ ۾ وسيع مهارت جي بنياد تي، اسان هڪ پلانر ايڇ-قسم جي ڊبل-محور الٽرا-پريزيئن ايئر بيئرنگ اسٽيج تيار ڪيو آهي.

اسان کي اي ميل موڪليو

خاصيتون

تفصيلي ڊاگرام

جائزو

هڪ محدود عنصر-بهتر ڪيل سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سيرامڪ ڍانچي ۽ معاوضي واري ايئر بيئرنگ ٽيڪنالاجي سان انجنيئر ٿيل، اسٽيج شاندار درستگي، سختي، ۽ متحرڪ جواب فراهم ڪري ٿو. اهو مثالي طور تي انهن لاءِ مناسب آهي:

سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ ۽ معائنو
مائڪرو/نانو فيبريڪيشن ۽ ميٽرولوجي
نانو ميٽر پيماني تي فلائي ڪٽڻ ۽ پالش ڪرڻ
تيز رفتار درستگي اسڪيننگ

اهم خصوصيتون

سي سي ايئر بيئرنگ گائيڊ ويانتهائي تيز سختي ۽ درستگي لاءِ
اعليٰ حرڪيات: رفتار 1 ميٽر/سيڪنڊ تائين، تيزي 4 گرام تائين، تيزي سان آباد ٿيڻ
ڊبل ڊرائيو گينٽري Y-محوراعلي لوڊ گنجائش ۽ استحڪام کي يقيني بڻائي ٿو
انڪوڊر جا آپشن: آپٽيڪل گريٽنگ يا ليزر انٽرفيروميٽر
پوزيشن جي درستگي: ±0.15 μm؛ورجائي سگهڻ جي صلاحيت: ±75 نانو ميٽر
بهتر ڪيل ڪيبل روٽنگصاف ڊيزائن ۽ ڊگهي مدت جي اعتبار لاءِ
حسب ضرورت ترتيبونايپليڪيشن جي مخصوص ضرورتن لاءِ

الٽرا-پريزيزن ڊيزائن ۽ ڊائريڪٽ-ڊرائيو، نان-ڪنٽيڪٽ آرڪيٽيڪچر

سي سي سيرامڪ فريم: ~5× ايلومينيم مصر جي سختي ۽ ~5× گهٽ حرارتي توسيع، تيز رفتار استحڪام ۽ حرارتي مضبوطي کي يقيني بڻائي ٿي.
معاوضي واري ايئر بيئرنگ: ملڪيتي ڊيزائن سختي، لوڊ گنجائش، ۽ حرڪت جي استحڪام کي وڌائي ٿو.
متحرڪ ڪارڪردگي: 1 ميٽر/سيڪنڊ جي رفتار ۽ 4 گرام ايڪسلريشن کي سپورٽ ڪري ٿو، جيڪو تيز رفتاري واري عملن لاءِ مثالي آهي.
بي عيب انضمام: وائبريشن آئسوليشن سسٽم، روٽري اسٽيجز، ٽِلٽ ماڊلز، ۽ ويفر هينڊلنگ پليٽ فارمن سان مطابقت رکندڙ.
ڪيبل انتظام: ڪنٽرول ٿيل موڙيندڙ ريڊيس وڌايل سروس جي زندگي لاءِ دٻاءُ کي گھٽائي ٿو.

ڪورليس لائينئر موٽر: صفر ڪوگنگ فورس سان هموار حرڪت.
ملٽي موٽر ڊرائيو: لوڊ-پلين موٽر جي جاءِ سڌي، هموار، ۽ ڪوئلي جي درستگي کي بهتر بڻائي ٿي.
حرارتي اڪيلائي: موٽرز کي اسٽيج جي جوڙجڪ کان الڳ ڪيو ويو آهي؛ هاءِ ڊيوٽي سائيڪلن لاءِ اختياري هوا يا پاڻي جي ٿڌي.

وضاحتون

ماڊل	400-400	500-500	600-600
ڪُهاڙا	ايڪس (اسڪين) / وائي (قدم)	ايڪس (اسڪين) / وائي (قدم)	ايڪس (اسڪين) / وائي (قدم)
سفر (ايم ايم)	400/400	500/500	600/600
درستگي (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
ورجاءَ جي صلاحيت (nm)	±75	±100	±100
ريزوليوشن (nm)	0.3	0.3	0.3
وڌ ۾ وڌ رفتار (ميٽر/سيڪنڊ)	1	1	1
تيزي (g)	4	4	4
سڌي (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
استحڪام (nm)	±5	±5	±5
وڌ ۾ وڌ لوڊ (ڪلوگرام)	20	20	20
پچ/رول/ياو (آرڪ-سيڪنڊ)	±1	±1	±1

ٽيسٽ جون حالتون:

هوا جي فراهمي: صاف، سڪل؛ شبنم جو نقطو ≤ 0°F؛ ذرڙن جي فلٽريشن ≤ 0.25 μm؛ يا 99.99% نائٽروجن.
درستگي اسٽيج سينٽر کان 25 ملي ميٽر مٿي 20±1 °C تي ماپي وئي، 40-60% RH.

درخواستون

سيمي ڪنڊڪٽر لٿوگرافي، معائنو، ۽ ويفر هينڊلنگ
مائڪرو/نانو فيبريڪيشن ۽ پريسيشن ميٽرولوجي
اعليٰ درجي جي آپٽڪس جي پيداوار ۽ انٽرفيروميٽري
خلائي ۽ ترقي يافته سائنسي تحقيق

سوال - سلڪون ڪاربائيڊ ايئر بيئرنگ اسٽيج

1. هوا کڻندڙ اسٽيج ڇا آهي؟

هڪ هوا کڻندڙ اسٽيج اسٽيج ۽ گائيڊ وي جي وچ ۾ دٻاءُ واري هوا جي هڪ پتلي پرت استعمال ڪندو آهي ته جيئنرگڙ کان سواءِ، پائڻ کان سواءِ، ۽ انتهائي هموار حرڪتروايتي ميڪيڪل بيئرنگ جي برعڪس، اهو اسٽڪ سلپ کي ختم ڪري ٿو، نانو ميٽر-سطح جي درستگي پهچائي ٿو، ۽ ڊگهي مدت جي اعتبار جي حمايت ڪري ٿو.

2. اسٽيج جي جوڙجڪ لاءِ سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ڇو استعمال ڪجي؟

وڏي سختي: ~5× ايلومينيم مصر جو، متحرڪ حرڪت دوران خرابي کي گھٽ ڪندي.
گھٽ حرارتي توسيع: ايلومينيم کان ~5× گهٽ، گرمي پد جي تبديلين جي تحت درستگي برقرار رکڻ.
هلڪو وزن: اسٽيل جي مقابلي ۾ گھٽ کثافت، تيز رفتار ۽ تيز رفتار آپريشن کي فعال بڻائي ٿي.
بهترين استحڪام: الٽرا-پريزيئن پوزيشننگ لاءِ اعليٰ ڊمپنگ ۽ سختي.

3. ڇا اسٽيج کي لوبريڪيشن يا سار سنڀال جي ضرورت آهي؟

ڪابه روايتي لوبريڪيشن جي ضرورت ناهي ڇو ته اتي آهيڪابه مشيني رابطو ناهي. تجويز ڪيل سار سنڀال ۾ شامل آهن:

رسد ڏيڻصاف، سڪل دٻيل هوا يا نائٽروجن
فلٽر ۽ ڊرائيرن جو وقتي معائنو
ڪيبل ۽ کولنگ سسٽم جي نگراني

4. هوا جي فراهمي جون گهرجون ڇا آهن؟

شبنم جو نقطو: ≤ 0 °F (≈ -18 °C)
ذرات جي فلٽريشن: ≤ 0.25 μm
صاف، سڪل هوا يا 99.99٪ خالص نائٽروجن
گهٽ ۾ گهٽ اتار چڙهاؤ سان مستحڪم دٻاءُ

اسان جي باري ۾

XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوجي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز هجڻ جو مقصد.