سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ ويفر SiO2 ويفر ٿلهو پالش ٿيل، پرائم ۽ ٽيسٽ گريڊ
ويفر باڪس جو تعارف
| پيداوار | ٿرمل آڪسائيڊ (Si+SiO2) ويفرز |
| پيداوار جو طريقو | ايل پي سي وي ڊي |
| مٿاڇري پالش ڪرڻ | ايس ايس پي/ڊي ايس پي |
| قطر | 2 انچ / 3 انچ / 4 انچ / 5 انچ / 6 انچ |
| قسم | پي قسم / اين قسم |
| آڪسائيڊشن پرت جي ٿلهي | 100nm ~ 1000nm |
| رخ ڏيڻ | <100> <111> |
| بجلي جي مزاحمت | 0.001-25000 (Ω• سينٽي ميٽر) |
| درخواست | سنڪروٽرون ريڊيئيشن نموني ڪيريئر لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، سبسٽريٽ طور PVD/CVD ڪوٽنگ، ميگنيٽرون اسپٽرنگ واڌ جو نمونو، XRD، SEM،ايٽمي قوت، انفراريڊ اسپيڪٽرو اسڪوپي، فلوروسينس اسپيڪٽرو اسڪوپي ۽ ٻيا تجزياتي ٽيسٽ سبسٽريٽس، ماليڪيولر بيم ايپيٽيڪسيل گروٿ سبسٽريٽس، ڪرسٽل لائن سيمي ڪنڊڪٽرز جو ايڪس ري تجزيو |
سلڪون آڪسائيڊ ويفرز سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ فلمون آهن جيڪي سلڪون ويفرز جي مٿاڇري تي آڪسيجن يا پاڻي جي بخارات ذريعي تيز گرمي پد (800°C~1150°C) تي هوا جي دٻاءُ واري فرنس ٽيوب سامان سان ٿرمل آڪسائيڊيشن عمل استعمال ڪندي اُڀريون آهن. عمل جي ٿولهه 50 نانو ميٽرن کان 2 مائڪرون تائين آهي، پروسيس جو گرمي پد 1100 درجا سينٽي گريڊ تائين آهي، واڌ جو طريقو "گلي آڪسيجن" ۽ "خشڪ آڪسيجن" ٻن قسمن ۾ ورهايو ويو آهي. ٿرمل آڪسائيڊ هڪ "وڌندڙ" آڪسائيڊ پرت آهي، جنهن ۾ CVD جمع ٿيل آڪسائيڊ پرتن جي ڀيٽ ۾ وڌيڪ هڪجهڙائي، بهتر کثافت ۽ وڌيڪ ڊائي اليڪٽرڪ طاقت آهي، جنهن جي نتيجي ۾ اعليٰ معيار آهي.
خشڪ آڪسيجن آڪسائيڊشن
سلڪون آڪسيجن سان رد عمل ڪري ٿو ۽ آڪسائيڊ پرت مسلسل سبسٽريٽ پرت ڏانهن وڌي رهي آهي. خشڪ آڪسائيڊيشن کي 850 کان 1200 ° C جي گرمي پد تي ڪرڻ جي ضرورت آهي، گهٽ واڌ جي شرح سان، ۽ MOS موصل گيٽ جي واڌ لاءِ استعمال ڪري سگهجي ٿو. جڏهن هڪ اعليٰ معيار، الٽرا پتلي سلڪون آڪسائيڊ پرت جي ضرورت هجي ته خشڪ آڪسائيڊيشن کي گلي آڪسائيڊيشن تي ترجيح ڏني ويندي آهي. خشڪ آڪسائيڊيشن جي گنجائش: 15nm ~ 300nm.
2. گلي آڪسائيڊشن
هي طريقو پاڻي جي بخارات کي استعمال ڪري ٿو ته جيئن تيز گرمي پد جي حالتن ۾ فرنس ٽيوب ۾ داخل ٿي آڪسائيڊ پرت ٺاهي سگهجي. گلي آڪسيجن آڪسائيڊشن جي کثافت خشڪ آڪسيجن آڪسائيڊشن کان ٿورو وڌيڪ خراب آهي، پر خشڪ آڪسيجن آڪسائيڊشن جي مقابلي ۾ ان جو فائدو اهو آهي ته ان ۾ واڌ جي شرح وڌيڪ آهي، جيڪا 500nm کان وڌيڪ فلم جي واڌ لاءِ مناسب آهي. گلي آڪسائيڊشن جي گنجائش: 500nm~2µm.
AEMD جي ايٽمي دٻاءُ آڪسائيڊيشن فرنس ٽيوب هڪ چيڪ افقي فرنس ٽيوب آهي، جيڪا اعليٰ عمل جي استحڪام، سٺي فلم جي هڪجهڙائي ۽ اعليٰ ذرڙن جي ڪنٽرول جي خاصيت رکي ٿي. سلڪون آڪسائيڊ فرنس ٽيوب هر ٽيوب ۾ 50 ويفرز تائين پروسيس ڪري سگهي ٿي، بهترين انٽرا ۽ انٽر ويفرز هڪجهڙائي سان.
تفصيلي ڊاگرام
