سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ويفر بوٽ
تفصيلي ڊاگرام
کوارٽز شيشي جو جائزو
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ويفر بوٽ هڪ سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس ڪيريئر آهي جيڪو اعليٰ پاڪائي واري SiC مواد مان ٺهيل آهي، جيڪو ايپيٽيڪسي، آڪسائيڊيشن، ڊفيوژن، ۽ اينيلنگ جهڙن اهم اعليٰ درجه حرارت جي عملن دوران ويفرز کي رکڻ ۽ ٽرانسپورٽ ڪرڻ لاءِ ٺهيل آهي.
پاور سيمي ڪنڊڪٽرز ۽ وسيع بينڊ گيپ ڊوائيسز جي تيز ترقي سان، روايتي ڪوارٽز ٻيڙيون حدن کي منهن ڏين ٿيون جهڙوڪ تيز گرمي پد تي خرابي، سخت ذرات جي آلودگي، ۽ مختصر سروس لائف. SiC ويفر بوٽس، جيڪي اعليٰ حرارتي استحڪام، گهٽ آلودگي، ۽ وڌايل زندگي جي خاصيت رکن ٿيون، تيزي سان ڪوارٽز بوٽس کي تبديل ڪري رهيون آهن ۽ SiC ڊوائيس جي پيداوار ۾ ترجيحي پسند بڻجي رهيون آهن.
اهم خصوصيتون
1. مادي فائدا
-
اعليٰ پاڪائي واري SiC مان ٺهيلاعلي سختي ۽ طاقت.
-
پگھلڻ جو نقطو 2700 °C کان مٿي، ڪوارٽز کان گهڻو وڌيڪ، انتهائي ماحول ۾ ڊگهي مدت جي استحڪام کي يقيني بڻائي ٿو.
2. حرارتي خاصيتون
-
تيز ۽ هڪجهڙائي گرمي جي منتقلي لاءِ اعليٰ حرارتي چالکائي، ويفر جي دٻاءُ کي گھٽ ڪندي.
-
حرارتي توسيع (CTE) جو ڪوفيشينٽ SiC سبسٽريٽس سان ويجهڙائي سان ملندو آهي، جيڪو ويفر جي جھڪڻ ۽ ڀڃڻ کي گهٽائيندو آهي.
3. ڪيميائي استحڪام
-
تيز گرمي پد ۽ مختلف ماحول (H₂، N₂، Ar، NH₃، وغيره) هيٺ مستحڪم.
-
بهترين آڪسائيڊشن مزاحمت، سڙڻ ۽ ذرات جي پيداوار کي روڪڻ.
4. عمل جي ڪارڪردگي
-
هموار ۽ گهاٽي مٿاڇري ذرڙن جي ڇٽڻ ۽ آلودگي کي گھٽائي ٿي.
-
ڊگهي مدت جي استعمال کان پوءِ طول و عرض جي استحڪام ۽ لوڊ گنجائش برقرار رکي ٿو.
5. قيمت جي ڪارڪردگي
-
ڪوارٽز ٻيڙين جي ڀيٽ ۾ 3-5 ڀيرا وڌيڪ سروس لائف.
-
گھٽ سار سنڀال جي تعدد، ڊائون ٽائيم ۽ متبادل خرچ گھٽائڻ.
درخواستون
-
سي سي ايپيٽيڪسي: تيز گرمي پد واري ايپيٽيڪسيل واڌ دوران 4 انچ، 6 انچ، ۽ 8 انچ SiC سبسٽريٽس کي سپورٽ ڪرڻ.
-
پاور ڊيوائس ٺاهڻ: SiC MOSFETs، Schottky Barrier Diodes (SBDs)، IGBTs، ۽ ٻين ڊوائيسز لاءِ مثالي.
-
حرارتي علاج: اينيلنگ، نائٽرائيڊيشن، ۽ ڪاربنائيزيشن جا عمل.
-
آڪسائيڊشن ۽ ڊفيوژن: تيز گرمي پد جي آڪسائيڊشن ۽ پکيڙ لاءِ مستحڪم ويفر سپورٽ پليٽ فارم.
ٽيڪنيڪل وضاحتون
| شيءِ | وضاحت |
|---|---|
| مواد | اعليٰ پاڪائي وارو سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) |
| ويفر سائيز | 4 انچ / 6 انچ / 8 انچ (حسب ضرورت) |
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد. | ≤ 1800 ° سي |
| حرارتي توسيع CTE | 4.2 × 10⁻⁶ /K (SiC سبسٽريٽ جي ويجهو) |
| حرارتي چالکائي | 120-200 واٽ/ميليٽر ڪلو |
| مٿاڇري جي خرابي | را < 0.2 μm |
| متوازيت | ±0.1 ملي ميٽر |
| سروس زندگي | ≥ 3× ڪوارٽز ٻيڙين کان ڊگهو |
مقابلو: ڪوارٽز بوٽ بمقابله سي آءِ سي بوٽ
| ماپ | ڪوارٽز ٻيڙي | سي سي ٻيڙي |
|---|---|---|
| گرمي پد جي مزاحمت | ≤ 1200°C، تيز گرمي پد تي خرابي. | ≤ 1800°C، حرارتي طور تي مستحڪم |
| سي ٽي اي ميچ سي آءِ سي سان | وڏي بي ترتيبي، ويفر اسٽريس جو خطرو | ملائي بند ڪريو، ويفر جي ڪريڪنگ کي گھٽائي ٿو |
| ذرات جي آلودگي | وڌيڪ، نجاست پيدا ڪري ٿو | گهٽ، هموار ۽ گهاٽو مٿاڇرو |
| سروس زندگي | مختصر، بار بار متبادل | ڊگھي، 3-5× وڌيڪ عمر |
| مناسب عمل | روايتي سي ايپيٽيڪسي | SiC ايپيٽيڪسي ۽ پاور ڊوائيسز لاءِ بهتر ڪيل |
اڪثر پڇيا ويندڙ سوال - سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ويفر ٻيڙيون
1. SiC ويفر بوٽ ڇا آهي؟
هڪ SiC ويفر بوٽ هڪ سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس ڪيريئر آهي جيڪو اعليٰ پاڪائي واري سلڪون ڪاربائيڊ مان ٺهيل آهي. اهو ايپيٽيڪسي، آڪسائيڊيشن، ڊفيوژن، ۽ اينيلنگ جهڙن اعليٰ درجه حرارت جي عملن دوران ويفرز کي رکڻ ۽ ٽرانسپورٽ ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندو آهي. روايتي ڪوارٽز بوٽن جي مقابلي ۾، SiC ويفر بوٽس بهترين حرارتي استحڪام، گهٽ آلودگي، ۽ ڊگهي سروس لائف پيش ڪن ٿا.
2. ڪوارٽز ٻيڙين جي بدران SiC ويفر ٻيڙيون ڇو چونڊيو؟
-
وڌيڪ گرمي پد جي مزاحمت: ڪوارٽز (≤1200°C) جي مقابلي ۾ 1800°C تائين مستحڪم.
-
بهتر CTE ميچ: SiC سبسٽريٽس جي ويجهو، ويفر جي دٻاءُ ۽ ڀڃڻ کي گھٽ ڪندي.
-
ذرڙن جي گھٽ پيداوار: هموار، گهاٽي مٿاڇري آلودگي گھٽائي ٿي.
-
وڌيڪ عمر: ڪوارٽز ٻيڙين کان 3-5 ڀيرا وڌيڪ، ملڪيت جي قيمت گھٽائي ٿي.
3. SiC ويفر بوٽ ڪهڙين ويفر سائيزن کي سپورٽ ڪري سگهن ٿا؟
اسان معياري ڊيزائن فراهم ڪندا آهيون4 انچ، 6 انچ، ۽ 8 انچويفرز، گراهڪن جي ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ مڪمل ڪسٽمائيزيشن سان گڏ.
4. ڪهڙن عملن ۾ SiC ويفر بوٽ عام طور تي استعمال ٿيندا آهن؟
-
سي سي ايپيٽيڪسيل واڌ
-
پاور سيمي ڪنڊڪٽر ڊيوائس جي پيداوار (SiC MOSFETs، SBDs، IGBTs)
-
تيز گرمي پد جي اينيلنگ، نائٽرائيڊيشن، ۽ ڪاربنائيزيشن
-
آڪسائيڊشن ۽ پکيڙ جا عمل
اسان جي باري ۾
XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوجي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز هجڻ جو مقصد.










