سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) افقي فرنس ٽيوب
تفصيلي ڊاگرام
پراڊڪٽ پوزيشننگ ۽ ويليو پروپوزيشن
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) افقي فرنس ٽيوب سيمي ڪنڊڪٽر فيبريڪيشن، فوٽووولٽڪ مينوفيڪچرنگ، ۽ جديد مواد پروسيسنگ ۾ استعمال ٿيندڙ اعليٰ درجه حرارت جي گئس-فيز رد عمل ۽ گرمي علاج لاءِ مکيه پروسيس چيمبر ۽ پريشر بائونڊري طور ڪم ڪري ٿي.
هڪ سنگل پيس، اضافي سان ٺهيل SiC ڍانچي سان ٺهيل، هڪ گهاٽي CVD-SiC حفاظتي پرت سان گڏ، هي ٽيوب غير معمولي حرارتي چالکائي، گهٽ ۾ گهٽ آلودگي، مضبوط ميڪيڪل سالميت، ۽ شاندار ڪيميائي مزاحمت فراهم ڪري ٿي.
ان جي ڊيزائن اعليٰ درجه حرارت جي هڪجهڙائي، وڌايل سروس وقفو، ۽ مستحڪم ڊگهي مدت جي آپريشن کي يقيني بڻائي ٿي.
بنيادي فائدا
-
سسٽم جي گرمي پد جي استحڪام، صفائي، ۽ مجموعي سامان جي اثرائتي (OEE) کي وڌائي ٿو.
-
صفائي لاءِ ڊائون ٽائيم گھٽائي ٿو ۽ متبادل چڪر کي ڊگھو ڪري ٿو، ملڪيت جي ڪل قيمت (TCO) گھٽائي ٿو.
-
هڪ ڊگهي زندگي وارو چيمبر فراهم ڪري ٿو جيڪو گهٽ ۾ گهٽ خطري سان اعليٰ درجه حرارت جي آڪسائيڊيوٽ ۽ ڪلورين سان مالا مال ڪيمسٽري کي سنڀالڻ جي قابل آهي.
قابل اطلاق ماحول ۽ عمل ونڊو
-
رد عمل واريون گئسون: آڪسيجن (O₂) ۽ ٻيا آڪسائيڊنگ مرکب
-
ڪيريئر/حفاظتي گيسون: نائٽروجن (N₂) ۽ الٽرا پيور انرٽ گيسون
-
مطابقت رکندڙ جنسون: ڪلورين برداشت ڪندڙ گيسن جو سراغ (ڪنسنٽريشن ۽ رهائش جو وقت ترڪيب تي ڪنٽرول ٿيل)
عام عمل: خشڪ/گلي آڪسائيڊيشن، اينيلنگ، ڊفيوژن، ايل پي سي وي ڊي/سي وي ڊي جمع، مٿاڇري چالو ڪرڻ، فوٽووولٽڪ پاسيويشن، فنڪشنل پتلي فلم واڌ، ڪاربنائيزيشن، نائٽرائيڊيشن، ۽ وڌيڪ.
آپريٽنگ حالتون
-
گرمي پد: ڪمري جو گرمي پد 1250 °C تائين (هيٽر ڊيزائن ۽ ΔT جي لحاظ کان 10-15٪ حفاظتي مارجن جي اجازت ڏيو)
-
دٻاءُ: گھٽ دٻاءُ/LPCVD ويڪيوم ليول کان وٺي ويجهو-وايوميائي مثبت دٻاءُ تائين (خريداري آرڊر جي مطابق آخري وضاحت)
مواد ۽ ساختي منطق
مونوليٿڪ سي آءِ سي باڊي (اضافي طور تي تيار ڪيل)
-
هاءِ ڊينسٽي β-SiC يا ملٽي فيز SiC، هڪ واحد جزو جي طور تي ٺهيل - ڪو به بريز ٿيل جوڙو يا سيون نه جيڪي ليڪ ڪري سگهن يا دٻاءُ جا نقطا پيدا ڪري سگهن.
-
اعليٰ حرارتي چالکائي تيز حرارتي ردعمل ۽ بهترين محوري/شعاعي درجه حرارت جي هڪجهڙائي کي قابل بڻائي ٿي.
-
گھٽ، مستحڪم حرارتي توسيع جو ڪوئفيشيٽ (CTE) بلند درجه حرارت تي طول و عرض جي استحڪام ۽ قابل اعتماد سيل کي يقيني بڻائي ٿو.
سي وي ڊي سي آءِ سي فنڪشنل ڪوٽنگ
-
ذرڙن جي پيداوار ۽ ڌاتو آئن جي ڇڏڻ کي دٻائڻ لاءِ ان-سيٽو جمع ٿيل، الٽرا پيور (مٿاڇري/ڪوٽنگ نجاست < 5 پي پي ايم).
-
آڪسائيڊائيزنگ ۽ ڪلورين برداشت ڪندڙ گيسن جي خلاف شاندار ڪيميائي جمود، ڀت جي حملي يا ٻيهر جمع ٿيڻ کي روڪڻ.
-
سنکنرن جي مزاحمت ۽ حرارتي ردعمل کي متوازن ڪرڻ لاءِ زون جي مخصوص ٿولهه جا آپشن.
گڏيل فائدو: مضبوط SiC باڊي ساخت جي طاقت ۽ گرمي جي وهڪري فراهم ڪري ٿي، جڏهن ته CVD پرت وڌ ۾ وڌ اعتبار ۽ ٿرو پُٽ لاءِ صفائي ۽ سنکنرن جي مزاحمت جي ضمانت ڏئي ٿي.
اهم ڪارڪردگي جا هدف
-
مسلسل استعمال جي درجه حرارت:≤ 1250 °C
-
گھڻي مقدار ۾ سبسٽريٽ نجاست:< 300 پي پي ايم
-
CVD-SiC مٿاڇري جي نجاست:< 5 پي پي ايم
-
طول و عرض رواداري: OD ±0.3–0.5 ملي ميٽر؛ هم آهنگي ≤ 0.3 ملي ميٽر/ميٽر (وڌيڪ سخت دستياب)
-
اندروني ڀت جي خرابي: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (پالش ٿيل يا آئيني جي ويجهو ختم ڪرڻ اختياري)
-
هيليم جي رسڻ جي شرح: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
-
حرارتي جھٽڪي جي برداشت: بار بار گرم/ٿڌي سائيڪل هلائڻ کان سواءِ ٽٽڻ يا ڦاٽڻ کان بچي ٿو.
-
صاف ڪمري جي اسيمبلي: تصديق ٿيل پارٽيڪل/ميٽل-آئن ريزيڊيو ليولز سان ISO ڪلاس 5-6
ترتيبون ۽ آپشنز
-
جاميٽري: OD 50–400 ملي ميٽر (تشخيص جي لحاظ کان وڏو) ڊگهي هڪ ٽڪري جي تعمير سان؛ ڀت جي ٿولهه ميڪيڪل طاقت، وزن، ۽ گرمي جي وهڪري لاءِ بهتر ڪئي وئي آهي.
-
آخري ڊيزائن: فلانجز، بيل-ماؤٿ، بيونٽ، لوڪيٽنگ رِنگس، او-رنگ گرووز، ۽ ڪسٽم پمپ آئوٽ يا پريشر پورٽس.
-
فنڪشنل پورٽس: ٿرموڪوپل فيڊ ٿرو، سائٽ گلاس سيٽون، بائي پاس گيس انليٽس - سڀ اعليٰ درجه حرارت، ليڪ ٽائيٽ آپريشن لاءِ ٺهيل آهن.
-
ڪوٽنگ اسڪيمون: اندروني ڀت (ڊفالٽ)، ٻاهرين ڀت، يا مڪمل ڪوريج؛ تيز رڪاوٽ وارن علائقن لاءِ ٽارگيٽڊ شيلڊنگ يا گريڊ ٿيل ٿولهه.
-
مٿاڇري جو علاج ۽ صفائي: گھڻا خرابي جا درجا، الٽراسونڪ/ڊي آءِ صفائي، ۽ ڪسٽم بيڪ/ڊرائي پروٽوڪول.
-
لوازمات: گريفائيٽ/سيرامڪ/ڌاتو جا ڦڙا، سيل، لوڪيشن فڪسچر، هينڊلنگ آستين، ۽ اسٽوريج ڪيڊل.
ڪارڪردگي جو مقابلو
| ميٽرڪ | سي سي ٽيوب | کوارٽز ٽيوب | ايلومينا ٽيوب | گريفائيٽ ٽيوب |
|---|---|---|---|---|
| حرارتي چالکائي | اعليٰ، وردي وارو | گهٽ | گهٽ | هاءِ |
| تيز گرمي پد جي طاقت / رڙيون | بهترين | صاف | سٺو | سٺو (آڪسائيڊشن حساس) |
| حرارتي جھٽڪو | بهترين | ڪمزور | وچولي | بهترين |
| صفائي / ڌاتو آئن | بهترين (گهٽ) | وچولي | وچولي | غريب |
| آڪسائيڊشن ۽ ڪلورائيڊ ڪيمسٽري | بهترين | صاف | سٺو | ڪمزور (آڪسائيڊائيز) |
| قيمت بمقابله سروس جي زندگي | وچولي / ڊگهي زندگي | گهٽ / ننڍو | وچولي / وچولي | وچولي / ماحوليات تائين محدود |
اڪثر پڇيا ويندڙ سوال (FAQ)
سوال 1. 3D-پرنٽ ٿيل مونولٿڪ SiC باڊي ڇو چونڊيو؟
الف. اهو سيلن ۽ بريزي کي ختم ڪري ٿو جيڪي ليڪ ڪري سگهن ٿا يا دٻاءُ کي مرڪوز ڪري سگهن ٿا، ۽ مسلسل طول و عرض جي درستگي سان پيچيده جاميٽري کي سپورٽ ڪري ٿو.
سوال 2. ڇا SiC ڪلورين برداشت ڪندڙ گيسن جي مزاحمتي آهي؟
الف. ها. سي وي ڊي-سي آءِ سي مخصوص درجه حرارت ۽ دٻاءُ جي حدن اندر تمام گهڻو غير فعال آهي. وڌيڪ اثر وارن علائقن لاءِ، مقامي ٿلهي ڪوٽنگ ۽ مضبوط پرج/ايگزاسٽ سسٽم جي سفارش ڪئي ويندي آهي.
سوال 3. اهو ڪوارٽز ٽيوب کان ڪيئن بهتر ڪارڪردگي ڏيکاري ٿو؟
الف. SiC ڊگهي سروس لائف، بهتر گرمي پد جي هڪجهڙائي، گهٽ ذرو/ڌاتو-آئن آلودگي، ۽ بهتر TCO پيش ڪري ٿو - خاص طور تي ~900 °C کان وڌيڪ يا آڪسائيڊائيزنگ/ڪلورين ٿيل ماحول ۾.
سوال 4. ڇا ٽيوب تيز حرارتي ريمپنگ کي سنڀالي سگھي ٿي؟
الف. ها، بشرطيڪ وڌ ۾ وڌ ΔT ۽ ريمپ جي شرح جي هدايتن تي عمل ڪيو وڃي. هڪ پتلي CVD پرت سان هڪ اعلي-κ SiC جسم جوڙڻ تيز حرارتي منتقلي کي سپورٽ ڪري ٿو.
سوال 5. متبادل ڪڏهن گهربل آهي؟
الف. جيڪڏهن توهان کي فلانج يا ڪنڊن ۾ دراڙ، ڪوٽنگ جي کڏن يا ڦاٽڻ، ليڪ جي شرح ۾ واڌ، گرمي پد جي پروفائل ۾ اهم ڊرفٽ، يا غير معمولي ذرات جي پيداوار نظر اچي ته ٽيوب کي تبديل ڪريو.
اسان جي باري ۾
XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوجي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز هجڻ جو مقصد.
