سلڪون ڪاربائيڊ مزاحمتي ڊگهي ڪرسٽل فرنس وڌندڙ 6/8/12 انچ انچ SiC انگوٽ ڪرسٽل PVT طريقو

سلڪون ڪاربائيڊ مزاحمتي ڊگهو ڪرسٽل فرنس وڌندڙ 6/8/12 انچ انچ SiC انگوٽ ڪرسٽل PVT طريقو نمايان تصوير

مختصر وضاحت:

سلڪون ڪاربائيڊ مزاحمتي واڌ فرنس (PVT طريقو، جسماني بخارات جي منتقلي جو طريقو) سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سنگل ڪرسٽل جي واڌ لاءِ هڪ اهم سامان آهي جيڪو اعليٰ درجه حرارت جي سبليميشن-ري ڪرسٽلائيزيشن اصول سان آهي. ٽيڪنالاجي مزاحمتي حرارتي (گريفائيٽ حرارتي جسم) استعمال ڪندي SiC خام مال کي 2000 ~ 2500 ℃ جي اعليٰ درجه حرارت تي سبليميٽ ڪري ٿي، ۽ گهٽ درجه حرارت واري علائقي (سيڊ ڪرسٽل) ۾ ٻيهر ڪرسٽلائيز ڪري ٿي ته جيئن هڪ اعليٰ معيار جو SiC سنگل ڪرسٽل (4H/6H-SiC) بڻجي سگهي. PVT طريقو 6 انچ ۽ ان کان گهٽ جي SiC سبسٽريٽ جي وڏي پيماني تي پيداوار لاءِ مکيه وهڪرو عمل آهي، جيڪو پاور سيمي ڪنڊڪٽرز (جهڙوڪ MOSFETs، SBD) ۽ ريڊيو فريڪوئنسي ڊوائيسز (GaN-on-SiC) جي سبسٽريٽ تيار ڪرڻ ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندو آهي.

اسان کي اي ميل موڪليو

پيداوار جي تفصيل

پراڊڪٽ ٽيگ

ڪم جو اصول:

1. خام مال جي لوڊشيڊنگ: اعليٰ پاڪائي وارو SiC پائوڊر (يا بلاڪ) گريفائيٽ ڪروسيبل (اعليٰ درجه حرارت واري علائقي) جي تري ۾ رکيل آهي.

2. ويڪيوم/انرٽ ماحول: فرنس چيمبر (<10⁻³ mbar) کي ويڪيوم ڪريو يا انرٽ گيس (Ar) پاس ڪريو.

3. تيز گرمي پد جي بلندي: 2000 ~ 2500 ℃ تائين مزاحمتي گرمي، SiC جو Si، Si₂C، SiC₂ ۽ ٻين گئس فيز حصن ۾ سڙڻ.

4. گيس فيز ٽرانسميشن: گرمي پد گريڊينٽ گيس فيز مواد جي پکيڙ کي گهٽ درجه حرارت واري علائقي (ٻج جي پڇاڙي) ڏانهن هلائي ٿو.

5. ڪرسٽل جي واڌ: گئس جو مرحلو سيڊ ڪرسٽل جي مٿاڇري تي ٻيهر ڪرسٽل ٿئي ٿو ۽ سي-محور يا اي-محور سان گڏ هڪ طرفي طرف وڌندو آهي.

اهم پيرا ميٽر:

1. گرمي پد جو درجو: 20~50℃/cm (واڌ جي شرح ۽ خرابي جي کثافت کي ڪنٽرول ڪريو).

2. دٻاءُ: 1~100mbar (ناپائي کي گهٽائڻ لاءِ گهٽ دٻاءُ شامل ڪرڻ).

3. واڌ جي شرح: 0.1 ~ 1 ملي ميٽر/ڪلاڪ (ڪرسٽل جي معيار ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي کي متاثر ڪندي).

مکيه خاصيتون:

(1) ڪرسٽل ڪيفيت
گھٽ خرابي جي کثافت: مائڪروٽيوبول کثافت <1 cm⁻²، خلل جي کثافت 10³~10⁴ cm⁻² (ٻج جي اصلاح ۽ عمل جي ڪنٽرول ذريعي).

پولي ڪرسٽل لائن قسم جو ڪنٽرول: 4H-SiC (مين اسٽريم)، 6H-SiC، 4H-SiC تناسب> 90٪ وڌائي سگھي ٿو (درجه حرارت جي گريڊينٽ ۽ گيس فيز اسٽوچيوميٽرڪ تناسب کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪرڻ جي ضرورت آهي).

(2) سامان جي ڪارڪردگي
اعليٰ درجه حرارت جي استحڪام: گريفائٽ گرم ڪرڻ واري جسم جو گرمي پد >2500℃، فرنس باڊي گھڻ-پرت موصليت ڊيزائن کي اختيار ڪري ٿي (جهڙوڪ گريفائٽ محسوس + پاڻي سان ٿڌي جيڪٽ).

هڪجهڙائي ڪنٽرول: ±5 °C جي محوري/شعاعي گرمي پد جي اتار چڙهاؤ ڪرسٽل قطر جي تسلسل کي يقيني بڻائي ٿي (6 انچ سبسٽريٽ ٿولهه جي انحراف <5%).

آٽوميشن جو درجو: انٽيگريٽڊ پي ايل سي ڪنٽرول سسٽم، گرمي پد، دٻاءُ ۽ واڌ جي شرح جي حقيقي وقت جي نگراني.

(3) ٽيڪنالاجي فائدا
اعليٰ مواد جو استعمال: خام مال جي تبديلي جي شرح > 70٪ (سي وي ڊي طريقي کان بهتر).

وڏي سائيز جي مطابقت: 6 انچ وڏي پيماني تي پيداوار حاصل ڪئي وئي آهي، 8 انچ ترقي جي مرحلي ۾ آهي.

(4) توانائي جو استعمال ۽ قيمت
هڪ فرنس جي توانائي جو استعمال 300~800kW·h آهي، جيڪو SiC سبسٽريٽ جي پيداواري قيمت جو 40%~60% آهي.

سامان جي سيڙپڪاري وڌيڪ آهي (1.5M 3M في يونٽ)، پر يونٽ سبسٽريٽ جي قيمت CVD طريقي کان گهٽ آهي.

بنيادي ايپليڪيشنون:

1. پاور اليڪٽرانڪس: برقي گاڏين جي انورٽر ۽ فوٽووولٽڪ انورٽر لاءِ SiC MOSFET سبسٽريٽ.

2. آر ايف ڊوائيسز: 5G بيس اسٽيشن GaN-on-SiC ايپيٽيڪسيل سبسٽريٽ (خاص طور تي 4H-SiC).

3. انتهائي ماحولياتي ڊوائيسز: ايرو اسپيس ۽ ايٽمي توانائي جي سامان لاءِ اعليٰ درجه حرارت ۽ اعليٰ دٻاءُ وارا سينسر.

ٽيڪنيڪل پيرا ميٽر:

وضاحت	تفصيل
طول و عرض (L × W × H)	2500 × 2400 × 3456 ملي ميٽر يا ترتيب ڏيو
ڪرسيبل قطر	900 ملي ميٽر
الٽيميٽ ويڪيوم پريشر	6 × 10⁻⁴ پا (1.5 ڪلاڪ جي ويڪيوم کان پوءِ)
رساو جي شرح	≤5 Pa/12h (بيڪ آئوٽ)
گردش شافٽ قطر	50 ملي ميٽر
گردش جي رفتار	0.5-5 آر پي ايم
گرم ڪرڻ جو طريقو	بجلي جي مزاحمتي گرمائش
وڌ ۾ وڌ فرنس گرمي پد	2500 ° سي
گرم ڪرڻ جي طاقت	40 ڪلوواٽ × 2 × 20 ڪلوواٽ
گرمي پد جي ماپ	ٻٽي رنگ وارو انفراريڊ پائروميٽر
گرمي پد جي حد	900-3000 °C
گرمي پد جي درستگي	±1°C
دٻاءُ جي حد	1–700 ايم بار
پريشر ڪنٽرول جي درستگي	1–10 ايم بار: ±0.5% ايف ايس؛ 10-100 ايم بار: ±0.5٪ ايف ايس؛ 100-700 ايم بار: ±0.5% ايف ايس
آپريشن جو قسم	هيٺان لوڊنگ، دستي/خودڪار حفاظت جا اختيار
اختياري خاصيتون	ٻٽي گرمي پد جي ماپ، ڪيترائي حرارتي علائقا

XKH خدمتون:

XKH SiC PVT فرنس جي پوري پروسيس سروس فراهم ڪري ٿو، جنهن ۾ سامان جي ڪسٽمائيزيشن (ٿرمل فيلڊ ڊيزائن، خودڪار ڪنٽرول)، پروسيس ڊولپمينٽ (ڪرسٽل شڪل ڪنٽرول، خرابي جي اصلاح)، ٽيڪنيڪل ٽريننگ (آپريشن ۽ سار سنڀال) ۽ بعد ۾ سيلز سپورٽ (گريفائيٽ حصن جي متبادل، ٿرمل فيلڊ ڪيليبريشن) شامل آهن ته جيئن گراهڪن کي اعليٰ معيار جي sic ڪرسٽل ماس پيداوار حاصل ڪرڻ ۾ مدد ملي سگهي. اسان ڪرسٽل جي پيداوار ۽ واڌ جي ڪارڪردگي کي مسلسل بهتر بڻائڻ لاءِ پروسيس اپ گريڊ سروسز پڻ فراهم ڪندا آهيون، جنهن جو عام ليڊ ٽائيم 3-6 مهينا آهي.