سلڪون ڪاربائڊ سيرامڪ ٽري سلکان ڪاربون ڪاربورڊ سيرامڪ ٽيوب سپلائيز سورن جي فراهمي
مکيه خاصيتون:
1. سلڪون ڪاربائڊ سيرامڪ ٽري
- وڏي سختي ۽ لباس جي مزاحمت: سختيء جي ويجهو آهي، ۽ ڊگهي وقت تائين ويفرنگ پروسيسنگ ۾ ميڪيريڪل پیشہ پاتل آهي.
- اعلي حرارتي چالاڪ ۽ گهٽ حرارتي وسعت: فاسٽ گرمي جي خرابي ۽ طول و عرض جي استحڪام کان پاسو ڪرڻ.
- تيز فليٽ ۽ مٿاڇري جو خاتمو: سطح جي فليٽ مائڪرو سطح تي آهي، وافر جي سطح تي آهي، ويفر ۽ ڊسڪ جي وچ ۾ مڪمل رابطو يقيني بڻائي ٿو.
ڪيميائي استحڪام: مضبوط سنکروشن مزاحمت، سيمڪنڊيٽرسٽر ٺاهڻ ۾ گندي صفائي ۽ ايچنگ جي عملن لاء مناسب.
2. سلڪون ڪاربائڊ سيرامڪ ٽيوب
- تيز درجه حرارت جي مزاحمت: اهو گهڻو وقت تائين 1600 ° C کان وڌيڪ ڊگهي درجه حرارت جي ماحول ۾، سيمڪنڊيٽرٽرسٽرسر وڌيڪ درجه حرارت جي اعلي درجه حرارت لاء مناسب ڪم ڪري سگهي ٿو.
بهترين سنکنرن جي مزاحمت: اي سي سيزز، الڪلس ۽ هڪ ڪيميائي سسيرينز جو مزاحمت، سخت پروسيس ماحول لاء موزون.
- وڏي سختي ۽ لباس جي مزاحمت: ذرات جي ذرات ۽ ميخانياتي لباس، سروس جي زندگي کي وڌايو.
- وڏي حرارتي چالاڪ ۽ حرارتي توسيع جو گهٽ گنجائش: گرمي ۽ طول و عرض جي استحڪام جو تيز رفتار، خرابي جي دٻاء کي گهٽائڻ يا ڪٽڻ.
پيداوار جو پيراگراف:
سلڪون ڪاربائڊ سيرامڪ ٽري پيٽرولر:
| (مادي ملڪيت) | (يونٽ) | (ايس ايس سي) | |
| (سڪ مواد) | (WT)٪ | > 99 | |
| (اوسط اناج جي سائيز) | مائڪرو | 4-10 | |
| (کثافت) | ڪلو / ڊي ايم 3 | > 3.14 | |
| (ظاهري طور تي زيادتي) | vo1٪ | <0.5 | |
| (وڪرس سختي) | ايڇ 0.5 | جي گٽ | 28 |
| * () لچڪدار طاقت * (ٽي پوائنٽون) | 20ºC | صحيح | 450 |
| (مجبوري طاقت) | 20ºC | صحيح | 39 Sucer |
| (لچڪدار ماڊل) | 20ºC | جي گٽ | 420 |
| (فڪر سخت) | ايم پي اي / ايم٪٪ | 3.5 | |
| (حرارتي چالو) | 20 ° ºC | w / (م * ڪ) | 160 |
| (مزاحمت) | 20 ° ºC | او ايم سي ايم | 106-108 |
(حرارتي توسيع جي گنجائش) | اي (آر ٽي ** ... 80ºC) | K-1 * 10-6 | 4.3 |
(وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ حرارت) | o ºC | 1700 | |
سلڪون ڪاربائڊ سيرامڪ ٽيوب پيٽرولر:
| شيون | Ix انڊي |
| α-sic | 99 سيڪڙو منٽ |
| ظاهري پروسي | 16٪ وڌ |
| وڏي کثافت | 2.7G / CM3 منٽ |
| تيز درجه حرارت تي زور ڀرڻ | 100 ايم پي اي منٽ |
| حرارتي توسيع جي گنجائش | K-1 4.7x10 -6 |
| حرارتي چالو ڪرڻ جي گنجائش (1400ºC) | 24 W / MK |
| وڌ. ڪم ڪندڙ حرارت | 1650º سي |
مکيه ايپليڪيشنون:
1. سلڪون ڪاربائڊ سيرامڪ پليٽ
- ويفر ڪٽڻ ۽ پالش ڪندي: بيئرنگ پليٽ فارم کي ڪٽڻ ۽ پالش ڪرڻ دوران اعلي درستگي ۽ استحڪام کي يقيني بڻائڻ جي طور تي.
ليٿوگرافي جو عمل: وفر کي نمائش دوران اعلي صحت واري پوزيشن کي يقيني بڻائڻ لاء لفافيائي مشين ۾ مقرر ٿيل آهي.
- ڪيميائي ميڪانياتي چمڪ (سي ايم پي): پالش ڪرڻ واري پيڊز جي هڪ سپورٽ پليٽفارم طور ڪم ڪيو، يونيفارم پريشر ۽ گرمي جي تقسيم فراهم ڪرڻ.
2. سلڪون ڪاربائڊ سيرامڪ ٽيوب
- اعلي درجه حرارت جو سرسبز: تيز درجه حرارت جي سامان لاء استعمال ٿيندڙ تيز درجه حرارت واري سامان ۽ آڪسائيڊنس فرنس کي تيز درجه حرارت جي عمل لاء وائيئرس جو استعمال ڪيو.
- سي وي ڊي / پي وي ڊي پروسيس: رد عمل واري چيمبر ۾، رد عمل واري چيمبر ۾، وڌيڪ درجه حرارت ۽ سنسروسس گيسس.
- سيمڪسوڊولٽرز جو سامان لوازمات: گرم مٽا سٽا وارن، گئس پائپ لائنز وغيره، سامان جي حرارتي مئنيجمينٽ ڪارڪردگي بهتر ڪرڻ لاء.
xch سلکن ڪاربائڊ سيرامڪ ٽيلسز لاء ڪسٽم سروسز جو هڪ مڪمل سلسلو فراهم ڪري ٿو سلڪون ڪاربائڊ سيرامڪ ٽريز ۽ سکشن کپ، ايڪس لک مختلف سائيز ۽ مٿاڇري جي ضرورتن جي مطابق، ۽ سنسڪرت جي ضرورتن کي سهارو ڏيڻ جي مطابق سينو جي ڪارڪ ٽپلي لاء، XXICININICINININININININININININININION COUPTENTESS ۽ ٻئي سطح جي علاج جي عمل کي ترتيب ڏيو. ايڪسخ ان کي يقيني بڻائي ٿو ته گراهڪ سلکن ڪاربائيڊ جي ڪارڪردگي جو پورو فائدو حاصل ڪري ٿو
تفصيلي شڪل
