سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر (فورڪ آرم/هٿ جو قسم)
تفصيلي ڊاگرام
کوارٽز شيشي جو جائزو
جيسلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرهڪ اعليٰ درستگي وارو هينڊلنگ جزو آهي جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار، فوٽونڪس، آٽوميشن روبوٽڪس، ۽ جديد مواد جي پروسيسنگ لاءِ تيار ڪيو ويو آهي. فورڪ آرم/هٿ جي ترتيب ۾ ٺهيل،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرغير معمولي طول و عرض جي استحڪام، انتهائي تيز سختي، ۽ انتهائي گهٽ ذرڙن جي پيداوار فراهم ڪري ٿي، جيڪا ان کي حساس ويفر ۽ سبسٽريٽ ٽرانسفر آپريشن لاءِ مثالي بڻائي ٿي.
روايتي ڌاتو يا پوليمر جي آخر وارن اوزارن جي برعڪس،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرانتهائي گرمي پد، ڪيميائي نمائش، ۽ ويڪيوم ماحول ۾ شڪل جي درستگي برقرار رکي سگهي ٿي. ان جي الٽرا فليٽ سپورٽنگ مٿاڇري سلڪون ويفرز، شيشي جي سبسٽريٽس، نيلم آپٽڪس، سي سي ويفرز، ۽ ٻين نازڪ مواد جي مستحڪم هينڊلنگ کي يقيني بڻائي ٿي. هلڪو پر سخت بناوت سان،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرتيز روبوٽڪ ايڪسلريشن دوران وائبريشن گھٽائي ٿو، ٿرو پُٽ وڌائي ٿو، ۽ ميڪيڪل دٻاءُ گھٽائي ٿو.
صفر آلودگي جي ڪارڪردگي لاءِ انجنيئر ٿيل،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرFOUP لوڊ پورٽس، EFEM ماڊلز، لٿوگرافي سسٽم، ويڪيوم ٽرانسفر ٽولز، ۽ ميٽرولوجي اسٽيشنن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندو آهي - آٽوميشن سامان ۽ قيمتي مواد جي وچ ۾ هڪ قابل اعتماد، اعليٰ پاڪائي وارو انٽرفيس فراهم ڪرڻ.
پيداوار جو اصول
جيسلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرهڪ خاص سيرامڪ فيبريڪيشن ورڪ فلو ذريعي تيار ڪيو ويندو آهي جيڪو اعليٰ پاڪائي، اعليٰ کثافت، ۽ ڊگهي مدت جي اعتبار جي ضمانت ڏئي ٿو. پيداوار جي عمل دوران، سخت معيار جي ڪنٽرول کي يقيني بڻائي ٿو ته هر هڪسلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرسيمي ڪنڊڪٽر ڪلاس خودڪار نظامن جي سخت گهرجن کي پورو ڪري ٿو.
1. مواد جي تياري
پيداوار اعليٰ پاڪائي واري SiC پائوڊر جي چونڊ سان شروع ٿئي ٿي. اهي پائوڊر مشيني طاقت ۽ پاڪائي جو تعين ڪن ٿا.سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرمثالي پارٽيڪل پيڪنگ حاصل ڪرڻ ۽ هڪجهڙائي کثافت کي فروغ ڏيڻ لاءِ خاص بائنڊر ۽ سينٽرنگ ايڊيٽيوز کي ملايو ويندو آهي.
2. شڪل ڏيڻ ۽ اڳڀرائي ڪرڻ
جو سائو جسمسلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرآئسوسٽٽڪ پريسنگ يا سيرامڪ انجيڪشن مولڊنگ استعمال ڪندي ٺهيل آهي. اهو گهٽ ۾ گهٽ اندروني خرابين سان دٻاءُ جي متوازن جوڙجڪ کي يقيني بڻائي ٿو. فورڪ طرز جي جاميٽري کي هن مرحلي تي ويفر قطر ۽ روبوٽڪ ماؤنٽنگ انٽرفيس سان ملائڻ لاءِ شڪل ڏني وئي آهي.
3. تيز گرمي پد جي سنٽرنگ
شڪل وارو جزو 2000 ° C کان مٿي ويڪيوم يا غير فعال ماحول ۾ سينٽر ڪيو ويندو آهي. هن مرحلي دوران،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرنظرياتي کثافت جي ويجهو پهچي ٿو، بهترين سختي، حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت، ۽ ڪيميائي استحڪام فراهم ڪري ٿو. هي مرحلو جزو جي ميڪانياتي سالميت کي بيان ڪري ٿو.
4. سي اين سي پريسيجن مشيننگ
سنٽرنگ کان پوءِ، هيرن جي پيسڻ ۽ ملٽي ايڪسز سي اين سي مشيننگ جي جاميٽري کي بهتر بڻائي ٿيسلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر. نازڪ خاصيتون جهڙوڪ ويفر رابطي جي مٿاڇري، چڙهڻ وارا سوراخ، ترتيب واري گرووز، ۽ فورڪ اسپيسنگ ±0.01 ملي ميٽر جي سخت برداشت تي مشين ٿيل آهن.
5. مٿاڇري جي ختم ڪرڻ ۽ صفائي
آخرڪار،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرالٽرا فائن پالشنگ ۽ اعليٰ پاڪائي واري الٽراسونڪ صفائي مان گذري ٿو. هي قدم مٿاڇري جي خرابي کي گھٽائي ٿو ۽ مائڪرو پارٽيڪلز کي ختم ڪري ٿو، صاف ڪمري جي مطابقت کي يقيني بڻائي ٿو. اختياري CVD-SiC ڪوٽنگون يا پلازما مزاحمتي پرتون استحڪام کي وڌيڪ وڌائي سگهن ٿيون.
هي محتاط پيداوار جو طريقو يقيني بڻائي ٿو ته هر هڪسلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽراعليٰ درستگي واري آٽوميشن ماحول ۾ قابل اعتماد طريقي سان ڪم ڪري ٿو.
درخواستون
جيسلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽراهو صنعتن لاءِ ٺاهيو ويو آهي جتي صفائي، درستگي، ۽ اعتبار غير ڳالهه ٻولهه لائق آهن. ان جي فورڪ آرم/هٿ ڊيزائن ان کي روبوٽڪ آرمز، پِڪ اينڊ پليس سسٽم، ويڪيوم ٽرانسفر ٽولز، ۽ جديد انسپيڪشن پليٽ فارمن لاءِ موزون بڻائي ٿي.
1. سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار
سيمي ڪنڊڪٽر فيڪٽريز ۾،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽروڏي پيماني تي استعمال ڪيو ويندو آهي:
-
ويفر لوڊ ڪرڻ/ان لوڊ ڪرڻ
-
FOUP ترتيب ڏيڻ
-
ويڪيوم چيمبر ٽرانسپورٽ
-
نقاشي، لٿوگرافي، ۽ جمع ڪرڻ جا عمل
انتهائي صاف ۽ سختسلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرويفر سلپ، بو، ۽ آلودگي کي روڪي ٿو، 150 ملي ميٽر کان 300 ملي ميٽر تائين ويفرز کي سپورٽ ڪري ٿو.
2. فوٽونڪس ۽ آپٽو اليڪٽرانڪس
نازڪ لينس، آپٽيڪل ڊوائيسز، GaN سبسٽريٽس، ۽ فوٽونڪ چپس کي سنڀالڻ لاءِ،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽروائبريشن کان پاڪ استحڪام فراهم ڪري ٿو. ان جي غير ڌاتوئي نوعيت مقناطيسي مداخلت ۽ نظري آلودگي کان بچي ٿي.
3. ڊسپلي ۽ پينل جي پيداوار
OLED، QLED، ۽ LCD پينل جي پيداوار ۾،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرمحفوظ طور تي پتلي شيشي ۽ خاص ذيلي ذخيري کي منتقل ڪري ٿو. ان جي ڪيميائي طور تي غير فعال مٿاڇري باقيات ۽ مٿاڇري جي نقصان کان بچائي ٿي.
4. ايرو اسپيس ۽ ويڪيوم روبوٽڪس
هاءِ ويڪيوم چيمبرز ۽ ايرو اسپيس اسيمبلي لائينن ۾،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرطول و عرض جي درستگي کي برقرار رکندي تيز گرمي پد، تابڪاري جي نمائش، ۽ corrosive گيسن کي برداشت ڪري ٿو.
انهن سڀني صنعتن ۾،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرمسلسل ڌاتو ۽ پوليمر متبادل کان بهتر ڪارڪردگي ڏيکاري ٿو.
سوال - اڪثر پڇيا ويندڙ سوال
سوال 1: ڇا سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر ڪسٽم سائيز کي سپورٽ ڪري سگهي ٿو؟
ها.سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرڪنهن به ويفر، پينل، يا سبسٽريٽ سائيز لاءِ ٺهيل ٿي سگهي ٿو. فورڪ جي فاصلي، ٿولهه، وزن، ۽ چڙهڻ واري سوراخ جا نمونا مڪمل طور تي حسب ضرورت آهن.
سوال 2: ڇا سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر ويڪيوم ماحول لاءِ مناسب آهي؟
بلڪل.سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽران ۾ گيس جو اخراج تمام گهٽ آهي ۽ ڪو به ڌاتو آلودگي ناهي، جيڪا ان کي UHV ۽ صاف ڪمري جي ماحول لاءِ مثالي بڻائي ٿي.
سوال 3: ايلومينيم يا اسٽيل جي ڀيٽ ۾ SiC اينڊ ايفيڪٽر جا ڪهڙا فائدا آهن؟
A سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرآڇون:
-
وڌيڪ سختي ۽ وزن جو تناسب
-
گھٽ حرارتي توسيع
-
اعليٰ لباس مزاحمت
-
بهتر پلازما ۽ ڪيميائي مزاحمت
-
صفر سنکنرن
اسان جي باري ۾
XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوجي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز هجڻ جو مقصد.
