سلڪون ڪاربائيڊ ڪينٽيليور پيڊل (SiC ڪينٽيليور پيڊل)
تفصيلي ڊاگرام
پيداوار جو جائزو
سلڪون ڪاربائيڊ ڪينٽيليور پيڊل، جيڪو اعليٰ ڪارڪردگي واري رد عمل-بانڊڊ سلڪون ڪاربائيڊ (RBSiC) مان تيار ڪيو ويو آهي، هڪ اهم جزو آهي جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر ۽ فوٽووولٽڪ ايپليڪيشنن لاءِ ويفر لوڊنگ ۽ هينڊلنگ سسٽم ۾ استعمال ٿيندو آهي.
روايتي ڪوارٽز يا گريفائٽ پيڊلز جي مقابلي ۾، SiC ڪينٽيليور پيڊلز اعليٰ ميڪيڪل طاقت، اعليٰ سختي، گهٽ حرارتي توسيع، ۽ شاندار سنکنرن جي مزاحمت پيش ڪن ٿا. اهي اعليٰ گرمي پد هيٺ بهترين ساخت جي استحڪام کي برقرار رکندا آهن، وڏي ويفر سائيز، وڌايل سروس لائف، ۽ الٽرا لو آلودگي جي سخت گهرجن کي پورو ڪندا آهن.
وڏن ويفر قطرن، اعليٰ ٿرو پُٽ، ۽ صاف پروسيسنگ ماحول جي طرف سيمي ڪنڊڪٽر عملن جي مسلسل ترقي سان، SiC ڪينٽيليور پيڊلز بتدريج روايتي مواد کي تبديل ڪري ڇڏيو آهي، ڊفيوژن فرنس، LPCVD، ۽ لاڳاپيل اعليٰ درجه حرارت جي سامان لاءِ ترجيحي پسند بڻجي ويا آهن.
پيداوار جون خاصيتون
-
بهترين اعليٰ درجه حرارت جي استحڪام
-
1000-1300 ℃ تي بغير ڪنهن خرابي جي قابل اعتماد طور تي ڪم ڪري ٿو.
-
وڌ ۾ وڌ خدمت جي درجه حرارت 1380 ℃ تائين.
-
-
وڏي لوڊ کڻڻ جي صلاحيت
-
موڙڻ جي طاقت 250-280 MPa تائين، ڪوارٽز پيڊلز کان گهڻو وڌيڪ.
-
وڏي قطر وارن ويفرز (300 ملي ميٽر ۽ مٿي) کي سنڀالڻ جي قابل.
-
-
وڌايل سروس لائف ۽ گهٽ سار سنڀال
-
گھٽ حرارتي توسيع جو ڪوئفيشيٽ (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹)، LPCVD ڪوٽنگ مواد سان چڱي طرح ملندڙ.
-
دٻاءُ سبب پيدا ٿيندڙ دراڙن ۽ ڇلڻ کي گھٽائي ٿو، صفائي ۽ سار سنڀال جي چڪر کي خاص طور تي وڌائي ٿو.
-
-
سنکنرن جي مزاحمت ۽ پاڪائي
-
تيزاب ۽ الڪليس جي بهترين مزاحمت.
-
کليل پورسيٽي <0.1% سان گڏ گهاٽو مائڪرو اسٽرڪچر، ذرڙن جي پيداوار ۽ نجاست جي اخراج کي گھٽ ۾ گھٽ ڪري ٿو.
-
-
آٽوميشن-مطابقت رکندڙ ڊيزائن
-
مستحڪم ڪراس-سيڪشنل جاميٽري اعليٰ طول و عرض جي درستگي سان.
-
روبوٽڪ ويفر لوڊنگ ۽ ان لوڊنگ سسٽم سان بيحد ضم ٿئي ٿو، مڪمل طور تي خودڪار پيداوار کي فعال بڻائي ٿو.
-
جسماني ۽ ڪيميائي خاصيتون
| شيءِ | يونٽ | ڊيٽا |
|---|---|---|
| وڌ ۾ وڌ سروس جي درجه حرارت | ℃ | 1380 |
| کثافت | گرام/سينٽي ميٽر³ | 3.04 - 3.08 |
| کليل پورسيٽي | % | < 0.1 |
| موڙڻ جي طاقت | ايم پي اي | 250 (20 ℃)، 280 (1200 ℃) |
| لچڪ جو ماڊيولس | جي پي اي | 330 (20 ℃)، 300 (1200 ℃) |
| حرارتي چالکائي | اوچائي/ميٽر·ڪلو ميٽر | 45 (1200 ℃) |
| حرارتي توسيع جو ڪوئفيشينٽ | ڪ⁻¹×10⁻⁶ | 4.5 |
| وِڪرز جي سختي | ايڇ وي 2 | ≥ 2100 |
| تيزاب/الڪائن مزاحمت | - | بهترين |
-
معياري ڊيگهه:2378 ملي ميٽر، 2550 ملي ميٽر، 2660 ملي ميٽر
-
درخواست تي ڪسٽم طول و عرض موجود آهن
درخواستون
-
سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري
-
ايل پي سي وي ڊي (گهٽ دٻاءُ واري ڪيميائي بخارات جو جمع)
-
پکيڙ جا عمل (فاسفورس، بوران، وغيره)
-
حرارتي آڪسائيڊشن
-
-
فوٽو وولٽڪ انڊسٽري
-
پوليسيلڪون ۽ مونو ڪرسٽل لائن ويفر ڊفيوژن ۽ ڪوٽنگ
-
تيز گرمي پد اينيلنگ ۽ پاسوائيشن
-
-
ٻيا ميدان
-
تيز گرمي پد جي خراب ڪندڙ ماحول
-
پريسيشن ويفر هينڊلنگ سسٽم جيڪي ڊگهي سروس لائف ۽ گهٽ آلودگي جي ضرورت رکن ٿا
-
گراهڪ فائدا
-
گھٽ آپريٽنگ خرچ- ڪوارٽز پيڊلز جي مقابلي ۾ ڊگهي زندگي، ڊائون ٽائيم ۽ متبادل فريڪوئنسي کي گھٽ ڪرڻ.
-
وڌيڪ پيداوار- انتهائي گهٽ آلودگي ويفر جي مٿاڇري جي صفائي کي يقيني بڻائي ٿي ۽ خرابي جي شرح کي گهٽائي ٿي.
-
مستقبل جو ثبوت- وڏي ويفر سائيز ۽ ايندڙ نسل جي سيمي ڪنڊڪٽر عملن سان مطابقت رکندڙ.
-
بهتر پيداواري صلاحيت- روبوٽڪ آٽوميشن سسٽم سان مڪمل طور تي مطابقت رکندڙ، وڏي مقدار جي پيداوار جي حمايت ڪندي.
سوال - سلڪون ڪاربائيڊ ڪينٽيليور پيڊل
سوال 1: سلڪون ڪاربائيڊ ڪينٽيليور پيڊل ڇا آهي؟
الف: اهو هڪ ويفر سپورٽ ۽ هينڊلنگ جزو آهي جيڪو ري ايڪشن بانڊڊ سلڪون ڪاربائيڊ (RBSiC) مان ٺهيل آهي. اهو وڏي پيماني تي ڊفيوژن فرنس، LPCVD، ۽ ٻين اعليٰ درجه حرارت واري سيمي ڪنڊڪٽر ۽ فوٽووولٽڪ عملن ۾ استعمال ٿيندو آهي.
سوال 2: ڪوارٽز پيڊلز جي بدران SiC ڇو چونڊيو؟
الف: ڪوارٽز پيڊلز جي مقابلي ۾، سي آءِ سي پيڊلز پيش ڪن ٿا:
-
وڌيڪ مشيني طاقت ۽ لوڊ برداشت ڪرڻ جي صلاحيت
-
1380 ℃ تائين گرمي پد تي بهتر حرارتي استحڪام
-
گهڻي عرصي تائين سروس جي زندگي ۽ گهٽ سار سنڀال جا چڪر
-
گھٽ ذرات جي پيداوار ۽ آلودگي جو خطرو
-
وڏي ويفر سائيز سان مطابقت (300 ملي ميٽر ۽ مٿي)
سوال 3: SiC ڪينٽيليور پيڊل ڪهڙي ويفر سائيز کي سپورٽ ڪري سگهي ٿو؟
الف: معياري پيڊل 2378 ملي ميٽر، 2550 ملي ميٽر، ۽ 2660 ملي ميٽر فرنس سسٽم لاءِ موجود آهن. 300 ملي ميٽر ۽ ان کان وڌيڪ ويفرز کي سپورٽ ڪرڻ لاءِ ڪسٽمائيز طول و عرض موجود آهن.
اسان جي باري ۾
XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوجي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز هجڻ جو مقصد.
