ويفر ڪيريئر لاءِ سي آءِ سي سيرامڪ ٽري تيز گرمي پد جي مزاحمت سان
سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ ٽري (SiC ٽري)
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) مواد تي ٻڌل هڪ اعليٰ ڪارڪردگي وارو سيرامڪ جزو، جيڪو ترقي يافته صنعتي ايپليڪيشنن جهڙوڪ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۽ ايل اي ڊي جي پيداوار لاءِ انجنيئر ڪيو ويو آهي. ان جي بنيادي ڪمن ۾ ويفر ڪيريئر، ايچنگ پروسيس پليٽ فارم، يا اعليٰ درجه حرارت جي عمل جي مدد، غير معمولي حرارتي چالکائي، اعليٰ درجه حرارت جي مزاحمت، ۽ ڪيميائي استحڪام کي استعمال ڪرڻ شامل آهن ته جيئن عمل جي هڪجهڙائي ۽ پيداوار جي پيداوار کي يقيني بڻائي سگهجي.
اهم خصوصيتون
1. حرارتي ڪارڪردگي
- اعليٰ حرارتي چالکائي: 140–300 W/m·K، روايتي گريفائٽ (85 W/m·K) کان گهڻو اڳتي، تيز گرمي جي خاتمي ۽ حرارتي دٻاءُ کي گهٽائڻ جي قابل بڻائي ٿي.
- گھٽ حرارتي توسيع ڪوفيشينٽ: 4.0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃)، ويجهڙائي سان ملندڙ سلڪون (2.6×10⁻⁶/℃)، حرارتي خرابي جي خطرن کي گھٽ ڪرڻ.
2. مشيني خاصيتون
- اعليٰ طاقت: لچڪدار طاقت ≥320 MPa (20℃)، دٻاءُ ۽ اثر جي مزاحمتي.
- اعليٰ سختي: محس سختي 9.5، هيرن کان پوءِ ٻئي نمبر تي، بهترين لباس مزاحمت پيش ڪري ٿي.
3. ڪيميائي استحڪام
- سنکنرن جي مزاحمت: مضبوط تيزابن جي مزاحمت (مثال طور، HF، H₂SO₄)، ايچنگ جي عمل جي ماحول لاءِ موزون.
- غير مقناطيسي: اندروني مقناطيسي حساسيت <1×10⁻⁶ emu/g، درست اوزارن سان مداخلت کان بچڻ.
4. انتهائي ماحولياتي رواداري
- اعليٰ درجه حرارت جي استحڪام: 1600-1900 ℃ تائين ڊگهي مدت جي آپريشنل گرمي پد؛ 2200 ℃ تائين مختصر مدت جي مزاحمت (آڪسيجن کان پاڪ ماحول).
- حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت: اوچتو گرمي پد جي تبديلين (ΔT >1000℃) کي بغير ٽٽڻ جي برداشت ڪري ٿو.
درخواستون
| درخواست جو ميدان | مخصوص منظرنامو | ٽيڪنيڪل قدر |
| سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار | ويفر ايچنگ (ICP)، پتلي فلم جمع ڪرڻ (MOCVD)، CMP پالش ڪرڻ | اعليٰ حرارتي چالکائي هڪجهڙي گرمي پد جي شعبن کي يقيني بڻائي ٿي؛ گهٽ حرارتي توسيع ويفر وار پيج کي گھٽ ڪري ٿي. |
| ايل اي ڊي جي پيداوار | ايپيٽيڪسيل واڌ (مثال طور، GaN)، ويفر ڊائسنگ، پيڪنگنگ | گھڻن قسمن جي خرابين کي دٻائي ٿو، LED جي روشني جي ڪارڪردگي ۽ عمر وڌائي ٿو. |
| فوٽو وولٽڪ انڊسٽري | سلڪون ويفر سينٽرنگ فرنس، PECVD سامان سپورٽ | تيز گرمي پد ۽ حرارتي جھٽڪن جي مزاحمت سامان جي عمر وڌائي ٿي. |
| ليزر ۽ آپٽڪس | هاءِ پاور ليزر کولنگ سبسٽريٽس، آپٽيڪل سسٽم سپورٽ ڪري ٿو | اعليٰ حرارتي چالکائي تيز گرمي جي ضايع ٿيڻ کي قابل بڻائي ٿي، آپٽيڪل حصن کي مستحڪم ڪري ٿي. |
| تجزياتي اوزار | TGA/DSC نموني هولڊر | گھٽ گرمي جي گنجائش ۽ تيز حرارتي ردعمل ماپ جي درستگي کي بهتر بڻائي ٿو. |
پيداوار جا فائدا
- جامع ڪارڪردگي: حرارتي چالکائي، طاقت، ۽ سنکنرن جي مزاحمت ايلومينا ۽ سلڪون نائٽرائڊ سيرامڪس کان تمام گهڻي آهي، انتهائي آپريشنل گهرجن کي پورو ڪندي.
- هلڪو وزن ڊيزائن: 3.1–3.2 g/cm³ جي کثافت (اسٽيل جو 40٪)، انرشيل لوڊ گهٽائڻ ۽ حرڪت جي درستگي کي وڌائڻ.
- ڊگهي عمر ۽ اعتبار: سروس جي زندگي 1600 ℃ تي 5 سالن کان وڌيڪ آهي، ڊائون ٽائيم گهٽائي ٿي ۽ آپريشنل خرچن ۾ 30٪ گهٽتائي ٿي.
- ڪسٽمائيزيشن: پيچيده جاميٽري کي سپورٽ ڪري ٿو (مثال طور، پورس سکشن ڪپ، ملٽي ليئر ٽري) فليٽنس ايرر سان <15 μm درست ايپليڪيشنن لاءِ.
ٽيڪنيڪل وضاحتون
| پيرا ميٽر جي درجه بندي | اشارو ڪندڙ |
| جسماني خاصيتون | |
| کثافت | ≥3.10 گرام/سينٽي ميٽر³ |
| لچڪدار طاقت (20℃) | 320-410 ايم پي اي |
| حرارتي چالکائي (20 ℃) | 140-300 W/(m·K) |
| حرارتي توسيع جي کوٽائي (25-1000℃) | 4.0×10⁻⁶/℃ |
| ڪيميائي خاصيتون | |
| تيزابي مزاحمت (HF/H₂SO₄) | 24 ڪلاڪن جي وسرڻ کان پوءِ ڪو به زنگ نه لڳندو آهي |
| مشين جي درستگي | |
| همواري | ≤15 μm (300 × 300 ملي ميٽر) |
| مٿاڇري جي خرابي (Ra) | ≤0.4 μm |
XKH جون خدمتون
XKH جامع صنعتي حل فراهم ڪري ٿو جيڪو ڪسٽم ڊولپمينٽ، پريزيشن مشيننگ، ۽ سخت ڪوالٽي ڪنٽرول تي پکڙيل آهي. ڪسٽم ڊولپمينٽ لاءِ، اهو اعليٰ پاڪائي (>99.999%) ۽ پورس (30-50% پورسيٽي) مواد حل پيش ڪري ٿو، جيڪو 3D ماڊلنگ ۽ سموليشن سان گڏ سيمي ڪنڊڪٽرز ۽ ايرو اسپيس جهڙن ايپليڪيشنن لاءِ پيچيده جاميٽري کي بهتر بڻائي ٿو. پريزيشن مشيننگ هڪ سڌريل عمل جي پيروي ڪري ٿي: پائوڊر پروسيسنگ → آئسوسٽٽڪ/ڊرائي پريسنگ → 2200°C سنٽرنگ → سي اين سي/ڊائمنڊ گرائنڊنگ → انسپيڪشن، نانو ميٽر-سطح پالشنگ ۽ ±0.01 ملي ميٽر طول و عرض رواداري کي يقيني بڻائڻ. معيار جي ڪنٽرول ۾ مڪمل-پروسيس ٽيسٽنگ (XRD ڪمپوزيشن، SEM مائڪرو اسٽرڪچر، 3-پوائنٽ موڙيندڙ) ۽ ٽيڪنيڪل سپورٽ (پروسيس آپٽمائيزيشن، 24/7 صلاح مشوري، 48-ڪلاڪ نموني پهچائڻ) شامل آهن، ترقي يافته صنعتي ضرورتن لاءِ قابل اعتماد، اعليٰ ڪارڪردگي وارا حصا پهچائڻ.
اڪثر پڇيا ويندڙ سوال (FAQ)
1. سوال: ڪهڙيون صنعتون سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ ٽري استعمال ڪن ٿيون؟
الف: سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار (ويفر هينڊلنگ)، شمسي توانائي (PECVD عمل)، طبي سامان (MRI جزا)، ۽ ايرو اسپيس (اعليٰ درجه حرارت جا حصا) ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندو آهي ڇاڪاڻ ته انهن جي انتهائي گرمي مزاحمت ۽ ڪيميائي استحڪام جي ڪري.
2. سوال: سلڪون ڪاربائيڊ ڪوارٽز/شيشي جي ٽري کان ڪيئن بهتر ڪارڪردگي ڏيکاري ٿو؟
الف: وڌيڪ حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت (ڪوارٽز جي 1100 ° سي جي مقابلي ۾ 1800 ° سي تائين)، صفر مقناطيسي مداخلت، ۽ ڊگهي عمر (ڪوارٽز جي 6-12 مهينن جي مقابلي ۾ 5+ سال).
3. سوال: ڇا سلڪون ڪاربائيڊ ٽري تيزابي ماحول کي سنڀالي سگهن ٿيون؟
الف: ها. <0.01mm corrosion/سال سان HF، H2SO4، ۽ NaOH جي مزاحمتي، انهن کي ڪيميڪل ايچنگ ۽ ويفر جي صفائي لاءِ مثالي بڻائي ٿي.
4. سوال: ڇا سلڪون ڪاربائيڊ ٽري آٽوميشن سان مطابقت رکن ٿيون؟
الف: ها. ويڪيوم پڪ اپ ۽ روبوٽڪ هينڊلنگ لاءِ ٺهيل، مٿاڇري جي همواريءَ سان <0.01mm خودڪار فيبرڪس ۾ ذرات جي آلودگي کي روڪڻ لاءِ.
5. سوال: روايتي مواد جي مقابلي ۾ قيمت جو مقابلو ڇا آهي؟
الف: وڌيڪ شروعاتي قيمت (3-5x ڪوارٽز) پر 30-50٪ گهٽ TCO جي ڪري وڌايل عمر، گھٽ ڊائون ٽائيم، ۽ اعليٰ حرارتي چالکائي مان توانائي جي بچت.
