ICP لاءِ 4 انچ 6 انچ ويفر هولڊر لاءِ SiC سيرامڪ پليٽ/ٽري
سي سي سيرامڪ پليٽ خلاصو
SiC سيرامڪ پليٽ هڪ اعليٰ ڪارڪردگي وارو جزو آهي جيڪو اعليٰ پاڪائي واري سلڪون ڪاربائيڊ مان ٺهيل آهي، جيڪو انتهائي حرارتي، ڪيميائي ۽ ميڪيڪل ماحول ۾ استعمال لاءِ ٺهيل آهي. پنهنجي غير معمولي سختي، حرارتي چالکائي، ۽ سنکنرن جي مزاحمت لاءِ مشهور، SiC پليٽ وڏي پيماني تي سيمي ڪنڊڪٽر، LED، فوٽووولٽڪ، ۽ ايرو اسپيس صنعتن ۾ ويفر ڪيريئر، سسپيٽر، يا ساختي جزو طور استعمال ٿيندي آهي.
1600°C تائين شاندار حرارتي استحڪام ۽ رد عمل واري گيسن ۽ پلازما ماحول جي بهترين مزاحمت سان، SiC پليٽ اعليٰ درجه حرارت جي ايچنگ، جمع ڪرڻ، ۽ پکيڙ جي عملن دوران مسلسل ڪارڪردگي کي يقيني بڻائي ٿي. ان جو گهاٽو، غير پورس مائڪرو اسٽرڪچر ذرات جي پيداوار کي گھٽ ڪري ٿو، ان کي ويڪيوم يا ڪلين روم سيٽنگن ۾ الٽرا ڪلين ايپليڪيشنن لاءِ مثالي بڻائي ٿو.
سي سي سيرامڪ پليٽ ايپليڪيشن
1. سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار
سي سي سيرامڪ پليٽون عام طور تي سي وي ڊي (ڪيميائي وانپ ڊپوزيشن)، پي وي ڊي (فزيڪل وانپ ڊپوزيشن)، ۽ ايچنگ سسٽم جهڙن سيمي ڪنڊڪٽر فيبريڪيشن سامان ۾ ويفر ڪيريئر، سسپيٽر ۽ پيڊسٽل پليٽ طور استعمال ٿينديون آهن. انهن جي بهترين حرارتي چالکائي ۽ گهٽ حرارتي توسيع انهن کي هڪجهڙائي واري درجه حرارت جي ورڇ کي برقرار رکڻ جي اجازت ڏئي ٿي، جيڪا اعليٰ صحت واري ويفر پروسيسنگ لاءِ اهم آهي. corrosive گيسن ۽ پلازما جي خلاف سي سي جي مزاحمت سخت ماحول ۾ استحڪام کي يقيني بڻائي ٿي، ذرات جي آلودگي ۽ سامان جي سار سنڀال کي گهٽائڻ ۾ مدد ڪري ٿي.
2. ايل اي ڊي انڊسٽري - آئي سي پي ايچنگ
ايل اي ڊي جي پيداوار واري شعبي ۾، ايس آءِ سي پليٽون آءِ سي پي (انڊڪٽولي ڪوپلڊ پلازما) ايچنگ سسٽم ۾ اهم جزا آهن. ويفر هولڊرز جي حيثيت سان ڪم ڪندي، اهي پلازما پروسيسنگ دوران نيلم يا گي اين ويفرز کي سپورٽ ڪرڻ لاءِ هڪ مستحڪم ۽ حرارتي طور تي مضبوط پليٽ فارم فراهم ڪن ٿا. انهن جي بهترين پلازما مزاحمت، مٿاڇري جي همواري، ۽ طول و عرض جي استحڪام اعليٰ ايچنگ جي درستگي ۽ هڪجهڙائي کي يقيني بڻائڻ ۾ مدد ڪري ٿي، جنهن جي نتيجي ۾ ايل اي ڊي چپس ۾ پيداوار ۽ ڊوائيس جي ڪارڪردگي ۾ اضافو ٿئي ٿو.
3. فوٽو وولٽڪس (PV) ۽ شمسي توانائي
SiC سيرامڪ پليٽون شمسي سيل جي پيداوار ۾ پڻ استعمال ٿينديون آهن، خاص طور تي تيز گرمي پد جي سنٽرنگ ۽ اينيلنگ مرحلن دوران. بلند درجه حرارت تي انهن جي جڙت ۽ وارپنگ جي مزاحمت ڪرڻ جي صلاحيت سلڪون ويفرز جي مسلسل پروسيسنگ کي يقيني بڻائي ٿي. اضافي طور تي، انهن جو گهٽ آلودگي جو خطرو فوٽووولٽڪ سيلز جي ڪارڪردگي کي برقرار رکڻ لاءِ اهم آهي.
سي سي سيرامڪ پليٽ جون خاصيتون
1. غير معمولي مشيني طاقت ۽ سختي
SiC سيرامڪ پليٽون تمام گهڻي مشيني طاقت ڏيکارين ٿيون، جن ۾ عام لچڪدار طاقت 400 MPa کان وڌيڪ آهي ۽ وِڪرز جي سختي 2000 HV کان وڌيڪ آهي. اهو انهن کي مشيني لباس، رگڙ ۽ خرابي جي خلاف انتهائي مزاحمتي بڻائي ٿو، ڊگهي خدمت زندگي کي يقيني بڻائي ٿو جيتوڻيڪ وڌيڪ لوڊ يا بار بار تھرمل سائيڪلنگ جي تحت.
2. تيز حرارتي چالکائي
SiC ۾ بهترين حرارتي چالکائي آهي (عام طور تي 120-200 W/m·K)، جيڪا ان کي پنهنجي مٿاڇري تي گرمي کي هڪجهڙائي سان ورهائڻ جي اجازت ڏئي ٿي. هي ملڪيت ويفر ايچنگ، ڊيپوزيشن، يا سنٽرنگ جهڙن عملن ۾ اهم آهي، جتي گرمي پد جي هڪجهڙائي سڌو سنئون پيداوار جي پيداوار ۽ معيار کي متاثر ڪري ٿي.
3. اعليٰ حرارتي استحڪام
هڪ اعلي پگھلڻ واري نقطي (2700°C) ۽ حرارتي توسيع جي گهٽ کوٽائي (4.0 × 10⁻⁶/K) سان، SiC سيرامڪ پليٽون تيز گرمي ۽ ٿڌي چڪرن جي تحت طول و عرض جي درستگي ۽ ساخت جي سالميت کي برقرار رکن ٿيون. اهو انهن کي اعلي درجه حرارت واري فرنس، ويڪيوم چيمبرز، ۽ پلازما ماحول ۾ ايپليڪيشنن لاءِ مثالي بڻائي ٿو.
| ٽيڪنيڪل خاصيتون | ||||
| انڊيڪس | يونٽ | قدر | ||
| مواد جو نالو | رد عمل سينٽرڊ سلڪون ڪاربائيڊ | پريشر کان سواءِ سينٽرڊ سلڪون ڪاربائيڊ | ٻيهر ڪرسٽل ٿيل سلڪون ڪاربائيڊ | |
| بناوت | آر بي ايس آءِ سي | ايس ايس آءِ سي | آر-سي آءِ سي | |
| گھڻي کثافت | جي/سينٽي ميٽر 3 | 3 | 3.15 ± 0.03 | 2.60-2.70 |
| لچڪدار طاقت | ايم پي اي (ڪي پي ايس آءِ) | 338 (49) | 380 (55) | 80-90 (20 ° سي) 90-100 (1400 ° سي) |
| دٻاءُ واري طاقت | ايم پي اي (ڪي پي ايس آءِ) | 1120 (158) | 3970 (560) | > 600 |
| سختي | نوپ | 2700 | 2800 | / |
| مضبوطي ٽوڙڻ | ايم پي اي ايم 1/2 | 4.5 | 4 | / |
| حرارتي چالکائي | اوچائي/ميڪ | 95 | 120 | 23 |
| حرارتي توسيع جو ڪوفيشينٽ | 10-6.1/°سي | 5 | 4 | 4.7 |
| مخصوص گرمي | جول/گرام 0 ڪلو | 0.8 | 0.67 | / |
| هوا ۾ وڌ ۾ وڌ گرمي پد | ℃ | 1200 | 1500 | 1600 |
| لچڪدار ماڊيولس | جي پي اي | 360 | 410 | 240 |
سي سي سيرامڪ پليٽ سوال ۽ جواب
سوال: سلڪون ڪاربائيڊ پليٽ جون خاصيتون ڇا آهن؟
الف: سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) پليٽون پنهنجي اعليٰ طاقت، سختي ۽ حرارتي استحڪام لاءِ مشهور آهن. اهي بهترين حرارتي چالکائي ۽ گهٽ حرارتي توسيع پيش ڪن ٿيون، انتهائي گرمي پد ۾ قابل اعتماد ڪارڪردگي کي يقيني بڻائين ٿيون. SiC ڪيميائي طور تي غير فعال پڻ آهي، تيزاب، الڪليس ۽ پلازما ماحول جي مزاحمت ڪري ٿو، ان کي سيمي ڪنڊڪٽر ۽ ايل اي ڊي پروسيسنگ لاءِ مثالي بڻائي ٿو. ان جي ٿلهي، هموار مٿاڇري ذرات جي پيداوار کي گھٽ ڪري ٿي، صاف ڪمري جي مطابقت کي برقرار رکي ٿي. SiC پليٽون وڏي پيماني تي سيمي ڪنڊڪٽر، فوٽووولٽڪ، ۽ ايرو اسپيس صنعتن ۾ اعليٰ درجه حرارت ۽ corrosive ماحول ۾ ويفر ڪيريئر، سسپيٽر، ۽ سپورٽ حصن جي طور تي استعمال ٿينديون آهن.
