سي آءِ سي سيرامڪ فورڪ آرم / اينڊ ايفيڪٽر - سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار لاءِ جديد پريسيشن هينڊلنگ
تفصيلي ڊاگرام
پيداوار جو جائزو
سي آءِ سي سيرامڪ فورڪ آرم، جنهن کي اڪثر ڪري سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر چيو ويندو آهي، هڪ اعليٰ ڪارڪردگي وارو درست هينڊلنگ جزو آهي جيڪو خاص طور تي هاءِ ٽيڪ صنعتن ۾ ويفر ٽرانسپورٽ، الائنمينٽ، ۽ پوزيشننگ لاءِ تيار ڪيو ويو آهي، خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر ۽ فوٽووولٽڪ پيداوار اندر. اعليٰ پاڪائي واري سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس استعمال ڪندي ٺهيل، هي جزو غير معمولي ميڪيڪل طاقت، الٽرا لو ٿرمل توسيع، ۽ ٿرمل جھٽڪو ۽ سنکنرن جي اعليٰ مزاحمت کي گڏ ڪري ٿو.
ايلومينيم، اسٽينلیس اسٽيل، يا اڃا به ڪوارٽز مان ٺهيل روايتي اينڊ ايفيڪٽرز جي برعڪس، SiC سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرز ويڪيوم چيمبرز، ڪلين رومز، ۽ سخت پروسيسنگ ماحول ۾ بي مثال ڪارڪردگي پيش ڪن ٿا، انهن کي ايندڙ نسل جي ويفر هينڊلنگ روبوٽس جو هڪ اهم حصو بڻائين ٿا. آلودگي کان پاڪ پيداوار جي وڌندڙ طلب ۽ چپ ميڪنگ ۾ سخت برداشت سان، سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرز جو استعمال تيزي سان صنعت جو معيار بڻجي رهيو آهي.
پيداوار جو اصول
جي ٺهڻسي سي سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرزان ۾ اعليٰ درستگي، اعليٰ پاڪائي واري عملن جو هڪ سلسلو شامل آهي جيڪو ڪارڪردگي ۽ استحڪام ٻنهي کي يقيني بڻائي ٿو. ٻه مکيه عمل عام طور تي استعمال ڪيا ويندا آهن:
رد عمل سان ڳنڍيل سلڪون ڪاربائيڊ (RB-SiC)
هن عمل ۾، سلڪون ڪاربائيڊ پائوڊر ۽ بائنڊر مان ٺهيل هڪ پريفارم کي پگھريل سلڪون سان تيز گرمي پد (~1500°C) تي ملايو ويندو آهي، جيڪو باقي ڪاربان سان رد عمل ڪري هڪ گهاٽو، سخت SiC-Si جامع ٺاهيندو آهي. هي طريقو بهترين طول و عرض ڪنٽرول پيش ڪري ٿو ۽ وڏي پيماني تي پيداوار لاءِ قيمت-مؤثر آهي.
پريشر کان سواءِ سينٽرڊ سلڪون ڪاربائيڊ (SSiC)
ايس ايس آءِ سي کي انتهائي تيز گرمي پد (>2000°C) تي الٽرا فائن، اعليٰ پاڪائي واري سي آءِ سي پائوڊر کي سنٽرنگ ذريعي ٺاهيو ويندو آهي بغير ڪنهن اضافي يا بائنڊنگ مرحلي جي. ان جي نتيجي ۾ هڪ پيداوار لڳ ڀڳ 100٪ کثافت ۽ سي آءِ سي مواد ۾ موجود سڀ کان وڌيڪ ميڪيڪل ۽ حرارتي خاصيتون آهن. اهو الٽرا ڪرٽيڪل ويفر هينڊلنگ ايپليڪيشنن لاءِ مثالي آهي.
پوسٽ پروسيسنگ
-
پريسيجن سي اين سي مشيننگ: اعليٰ برابري ۽ متوازيت حاصل ڪري ٿو.
-
مٿاڇري ختم ڪرڻ: هيرن جي پالش ڪرڻ سان مٿاڇري جي خرابي <0.02 µm تائين گھٽجي ٿي.
-
چڪاس: هر ٽڪري جي تصديق ڪرڻ لاءِ آپٽيڪل انٽرفيروميٽري، سي ايم ايم، ۽ غير تباهي واري جاچ استعمال ڪئي ويندي آهي.
اهي قدم ضمانت ڏين ٿا تهسي سي اينڊ اثر ڪندڙمسلسل ويفر پليسمينٽ جي درستگي، بهترين پلانريٽي، ۽ گهٽ ۾ گهٽ پارٽيڪل جنريشن فراهم ڪري ٿو.
اهم خاصيتون ۽ فائدا
| خاصيت | وضاحت |
|---|---|
| انتهائي تيز سختي | وِڪرز جي سختي 2500 HV کان وڌيڪ آهي، جيڪا پائڻ ۽ چِپ ڪرڻ جي مزاحمت ڪري ٿي. |
| گھٽ حرارتي توسيع | CTE ~4.5×10⁻⁶/K، حرارتي سائيڪلنگ ۾ طول و عرض جي استحڪام کي فعال بڻائي ٿو. |
| ڪيميائي جڙت | HF، HCl، پلازما گيسن، ۽ ٻين corrosive ايجنٽن جي مزاحمتي. |
| بهترين حرارتي جھٽڪو مزاحمت | ويڪيوم ۽ فرنس سسٽم ۾ تيز گرمي/ٿڌائي لاءِ موزون. |
| اعلي سختي ۽ طاقت | ڊگھي ڪينٽيليورڊ فورڪ هٿن کي بغير ڪنهن ڦيري جي سپورٽ ڪري ٿو. |
| گھٽ گيسنگ | الٽرا هاءِ ويڪيوم (UHV) ماحول لاءِ مثالي. |
| ISO ڪلاس 1 صاف ڪمرو تيار | ذرڙن کان پاڪ آپريشن ويفر جي سالميت کي يقيني بڻائي ٿو. |
درخواستون
سي آءِ سي سيرامڪ فورڪ آرم / اينڊ ايفيڪٽر وڏي پيماني تي انهن صنعتن ۾ استعمال ٿيندو آهي جن کي انتهائي درستگي، صفائي ۽ ڪيميائي مزاحمت جي ضرورت هوندي آهي. اهم ايپليڪيشن منظرنامي ۾ شامل آهن:
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار
-
ڊيپوزيشن (CVD، PVD)، ايچنگ (RIE، DRIE)، ۽ صفائي سسٽم ۾ ويفر لوڊنگ/ان لوڊنگ.
-
FOUPs، ڪيسٽس، ۽ پروسيس ٽولز جي وچ ۾ روبوٽڪ ويفر ٽرانسپورٽ.
-
حرارتي پروسيسنگ يا اينيلنگ دوران اعليٰ درجه حرارت تي هٿ ڪرڻ.
فوٽو وولٽڪ سيل جي پيداوار
-
خودڪار لائينن ۾ نازڪ سلڪون ويفرز يا سولر سبسٽريٽس جي نازڪ ٽرانسپورٽ.
فليٽ پينل ڊسپلي (ايف پي ڊي) انڊسٽري
-
OLED/LCD پيداوار واري ماحول ۾ وڏن شيشي جي پينلن يا سبسٽريٽس کي منتقل ڪرڻ.
ڪمپائونڊ سيمي ڪنڊڪٽر / ايم اي ايم ايس
-
GaN، SiC، ۽ MEMS فيبريڪيشن لائينن ۾ استعمال ٿيندو آهي جتي آلودگي ڪنٽرول ۽ پوزيشننگ جي درستگي اهم هوندي آهي.
حساس آپريشن دوران خرابين کان پاڪ، مستحڪم هينڊلنگ کي يقيني بڻائڻ ۾ ان جو اينڊ ايفڪٽر ڪردار خاص طور تي اهم آهي.
ڪسٽمائيزيشن صلاحيتون
اسان مختلف سامان ۽ عمل جي گهرجن کي پورو ڪرڻ لاءِ وسيع ڪسٽمائيزيشن پيش ڪريون ٿا:
-
فورڪ ڊيزائن: ٻہ-پرانگ، گھڻن-آڱرين، يا ورهايل-سطح جا لي آئوٽ.
-
ويفر سائيز مطابقت: 2” کان 12” ويفرز تائين.
-
ماؤنٽنگ انٽرفيس: OEM روبوٽڪ هٿيارن سان مطابقت رکندڙ.
-
ٿولهه ۽ مٿاڇري جي برداشت: مائڪرون-سطح جي فليٽنس ۽ ايج رائونڊنگ موجود آهي.
-
اينٽي سلپ خاصيتون: محفوظ ويفر گرفت لاءِ اختياري مٿاڇري جي بناوت يا ڪوٽنگ.
هر هڪسيرامڪ اينڊ اثر ڪندڙگهٽ ۾ گهٽ ٽولنگ تبديلين سان صحيح فٽمينٽ کي يقيني بڻائڻ لاءِ گراهڪن سان گڏجي ٺهيل آهي.
اڪثر پڇيا ويندڙ سوال (FAQ)
سوال 1: اينڊ ايفڪٽر ايپليڪيشن لاءِ SiC ڪوارٽز کان ڪيئن بهتر آهي؟
اي 1:جڏهن ته ڪوارٽز عام طور تي ان جي پاڪائي لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، ان ۾ مشيني سختي جي کوٽ آهي ۽ لوڊ يا گرمي پد جي جھٽڪي هيٺ ٽٽڻ جو خطرو آهي. SiC اعليٰ طاقت، لباس مزاحمت، ۽ حرارتي استحڪام پيش ڪري ٿو، خاص طور تي ڊائون ٽائيم ۽ ويفر نقصان جي خطري کي گهٽائي ٿو.
سوال 2: ڇا هي سيرامڪ فورڪ بازو سڀني روبوٽڪ ويفر هينڊلر سان مطابقت رکي ٿو؟
اي 2:ها، اسان جا سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرز اڪثر وڏن ويفر هينڊلنگ سسٽم سان مطابقت رکن ٿا ۽ انهن کي توهان جي مخصوص روبوٽڪ ماڊلز سان صحيح انجنيئرنگ ڊرائنگ سان ترتيب ڏئي سگهجي ٿو.
سوال 3: ڇا اهو 300 ملي ميٽر ويفرز کي وارپ ڪرڻ کان سواءِ سنڀالي سگهي ٿو؟
اي 3:بلڪل. SiC جي اعليٰ سختي پتلي، ڊگھي فورڪ آرمز کي به اجازت ڏئي ٿي ته اهي حرڪت دوران 300 ملي ميٽر ويفرز کي محفوظ طور تي جهلي سگهن ٿا بغير ڪنهن جھڪڻ يا موڙ جي.
سوال 4: SiC سيرامڪ اينڊ ايفڪٽر جي عام سروس لائف ڇا آهي؟
اي 4:صحيح استعمال سان، هڪ SiC اينڊ ايفيڪٽر روايتي ڪوارٽز يا ايلومينيم ماڊلز جي ڀيٽ ۾ 5 کان 10 ڀيرا وڌيڪ وقت تائين رهي سگهي ٿو، ان جي حرارتي ۽ ميڪيڪل دٻاءُ جي بهترين مزاحمت جي ڪري.
سوال 5: ڇا توهان متبادل يا تيز پروٽوٽائپنگ خدمتون پيش ڪندا آهيو؟
اي 5:ها، اسان تيز نموني جي پيداوار جي حمايت ڪريون ٿا ۽ موجوده سامان مان CAD ڊرائنگ يا ريورس انجنيئر ٿيل حصن جي بنياد تي متبادل خدمتون پيش ڪريون ٿا.
اسان جي باري ۾
XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوج جي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز بڻجڻ جو مقصد.
