ويفر ڪيرنگ لاءِ SiC سيرامڪ اينڊ ايفڪٽر هينڊنگ بازو
سي سي سيرامڪ اينڊ اثر ڪندڙ خلاصو
سي آءِ سي (سلڪون ڪاربائيڊ) سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۽ جديد مائڪرو فيبريڪيشن ماحول ۾ استعمال ٿيندڙ اعليٰ درستگي واري ويفر هينڊلنگ سسٽم ۾ هڪ اهم جزو آهي. الٽرا صاف، اعليٰ درجه حرارت، ۽ انتهائي مستحڪم ماحول جي گهربل ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ انجنيئر ٿيل، هي خاص اينڊ ايفيڪٽر اهم پيداوار جي مرحلن جهڙوڪ لٿوگرافي، ايچنگ، ۽ ڊپوزيشن دوران ويفرز جي قابل اعتماد ۽ آلودگي کان پاڪ ٽرانسپورٽ کي يقيني بڻائي ٿو.
سلڪون ڪاربائيڊ جي اعليٰ مادي خاصيتن کي استعمال ڪندي - جهڙوڪ اعليٰ حرارتي چالکائي، انتهائي سختي، بهترين ڪيميائي جڙت، ۽ گهٽ ۾ گهٽ حرارتي توسيع - SiC سيرامڪ اينڊ-ايڪٽور بي مثال ميڪيڪل سختي ۽ طول و عرض استحڪام پيش ڪري ٿو جيتوڻيڪ تيز حرارتي سائيڪلنگ يا corrosive پروسيس چيمبرن ۾. ان جي گهٽ ذرڙن جي پيداوار ۽ پلازما مزاحمت جون خاصيتون ان کي خاص طور تي صاف ڪمري ۽ ويڪيوم پروسيسنگ ايپليڪيشنن لاءِ موزون بڻائين ٿيون، جتي ويفر جي مٿاڇري جي سالميت کي برقرار رکڻ ۽ ذرڙن جي آلودگي کي گهٽائڻ تمام ضروري آهي.
سي سي سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر ايپليڪيشن
1. سيمي ڪنڊڪٽر ويفر هينڊلنگ
سي سي سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽرز سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ خودڪار پيداوار دوران سلڪون ويفرز کي هٿ ڪرڻ لاءِ وڏي پيماني تي استعمال ڪيا ويندا آهن. اهي اينڊ ايفيڪٽرز عام طور تي روبوٽڪ آرمز يا ويڪيوم ٽرانسفر سسٽم تي لڳل هوندا آهن ۽ مختلف سائزن جهڙوڪ 200 ايم ايم ۽ 300 ايم ايم جي ويفرز کي ترتيب ڏيڻ لاءِ ٺهيل آهن. اهي ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (سي وي ڊي)، فزيڪل وانپ ڊپوزيشن (پي وي ڊي)، ايچنگ، ۽ ڊفيوژن سميت عملن ۾ ضروري آهن - جتي اعليٰ درجه حرارت، ويڪيوم حالتون، ۽ corrosive گيس عام آهن. سي سي جي غير معمولي حرارتي مزاحمت ۽ ڪيميائي استحڪام ان کي خرابي کان سواءِ اهڙن سخت ماحول کي برداشت ڪرڻ لاءِ هڪ مثالي مواد بڻائي ٿو.
2. صاف ڪمرو ۽ ويڪيوم مطابقت
صاف ڪمري ۽ ويڪيوم سيٽنگن ۾، جتي ذرات جي آلودگي کي گھٽ ۾ گھٽ ڪرڻ گهرجي، SiC سيرامڪس اهم فائدا پيش ڪن ٿا. مواد جي گهاٽي، هموار مٿاڇري ذرات جي پيداوار کي مزاحمت ڪري ٿي، ٽرانسپورٽ دوران ويفر سالميت کي برقرار رکڻ ۾ مدد ڪري ٿي. اهو SiC اينڊ ايفيڪٽرز کي خاص طور تي انتهائي الٽراوائليٽ لٿوگرافي (EUV) ۽ ايٽامڪ ليئر ڊيپوزيشن (ALD) جهڙن نازڪ عملن لاءِ مناسب بڻائي ٿو، جتي صفائي انتهائي اهم آهي. ان کان علاوه، SiC جي گهٽ آئوٽ گيسنگ ۽ اعليٰ پلازما مزاحمت ويڪيوم چيمبرن ۾ قابل اعتماد ڪارڪردگي کي يقيني بڻائي ٿي، اوزارن جي عمر وڌائي ٿي ۽ سار سنڀال جي تعدد کي گهٽائي ٿي.
3. اعليٰ صحت واري پوزيشننگ سسٽم
ترقي يافته ويفر هينڊلنگ سسٽم ۾ درستگي ۽ استحڪام اهم آهن، خاص طور تي ميٽرولوجي، انسپيڪشن، ۽ الائنمينٽ سامان ۾. SiC سيرامڪس ۾ حرارتي توسيع ۽ اعلي سختي جو هڪ انتهائي گهٽ ڪوئفيشينٽ آهي، جيڪو اينڊ ايفڪٽر کي حرارتي سائيڪلنگ يا ميڪيڪل لوڊ جي تحت به ان جي ساخت جي درستگي کي برقرار رکڻ جي اجازت ڏئي ٿو. اهو يقيني بڻائي ٿو ته ويفر ٽرانسپورٽ دوران صحيح طور تي ترتيب ڏنل رهن ٿا، مائڪرو اسڪريچز، غلط ترتيب، يا ماپ جي غلطين جي خطري کي گهٽ ۾ گهٽ ڪن ٿا - عنصر جيڪي ذيلي 5nm پروسيس نوڊس تي وڌندڙ نازڪ آهن.
سي سي سيرامڪ اينڊ اثر ڪندڙ خاصيتون
1. اعليٰ مشيني طاقت ۽ سختي
SiC سيرامڪس ۾ غير معمولي ميڪيڪل طاقت هوندي آهي، جنهن جي لچڪدار طاقت اڪثر 400 MPa کان وڌيڪ هوندي آهي ۽ وِڪرز جي سختي 2000 HV کان مٿي هوندي آهي. اهو انهن کي ميڪيڪل دٻاءُ، اثر ۽ لباس جي خلاف انتهائي مزاحمتي بڻائي ٿو، جيتوڻيڪ ڊگهي آپريشنل استعمال کان پوءِ. SiC جي اعليٰ سختي تيز رفتار ويفر ٽرانسفر دوران انحراف کي به گهٽائي ٿي، صحيح ۽ ورجائيندڙ پوزيشننگ کي يقيني بڻائي ٿي.
2. بهترين حرارتي استحڪام
SiC سيرامڪس جي سڀ کان قيمتي خاصيتن مان هڪ آهي انهن جي انتهائي تيز گرمي پد کي برداشت ڪرڻ جي صلاحيت - اڪثر ڪري غير فعال ماحول ۾ 1600 ° C تائين - ميڪيڪل سالميت کي وڃائڻ کان سواءِ. انهن جي حرارتي توسيع جي گهٽ کوٽائي (~4.0 x 10⁻⁶ /K) حرارتي سائيڪلنگ جي تحت طول و عرض جي استحڪام کي يقيني بڻائي ٿي، انهن کي CVD، PVD، ۽ اعلي درجه حرارت اينيلنگ جهڙين ايپليڪيشنن لاءِ مثالي بڻائي ٿي.
سي سي سيرامڪ اينڊ ايفڪٽر سوال ۽ جواب
سوال: ويفر اينڊ ايفيڪٽر ۾ ڪهڙو مواد استعمال ٿيندو آهي؟
الف:ويفر اينڊ ايفيڪٽرز عام طور تي انهن مواد مان ٺاهيا ويندا آهن جيڪي اعليٰ طاقت، حرارتي استحڪام، ۽ گهٽ ذرڙن جي پيداوار پيش ڪن ٿا. انهن مان، سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سيرامڪ سڀ کان وڌيڪ ترقي يافته ۽ ترجيحي مواد مان هڪ آهي. SiC سيرامڪس انتهائي سخت، حرارتي طور تي مستحڪم، ڪيميائي طور تي غير فعال، ۽ پائڻ جي مزاحمتي آهن، انهن کي صاف ڪمري ۽ ويڪيوم ماحول ۾ نازڪ سلڪون ويفرز کي سنڀالڻ لاءِ مثالي بڻائين ٿا. ڪوارٽز يا ڪوٽيڊ ڌاتو جي مقابلي ۾، SiC اعلي گرمي پد هيٺ بهترين طول و عرض استحڪام پيش ڪري ٿو ۽ ذرات نه وهندو آهي، جيڪو آلودگي کي روڪڻ ۾ مدد ڪري ٿو.
