سي آءِ سي سيرامڪ چڪ ٽري سيرامڪ سکشن ڪپ پريسيجن مشيننگ ڪسٽمائيز ٿيل
مواد جون خاصيتون:
1. وڏي سختي: سلڪون ڪاربائيڊ جي موهس سختي 9.2-9.5 آهي، جيڪا هيرن کان پوءِ ٻئي نمبر تي آهي، مضبوط لباس مزاحمت سان.
2. اعليٰ حرارتي چالکائي: سلڪون ڪاربائيڊ جي حرارتي چالکائي 120-200 W/m·K جيتري وڌيڪ آهي، جيڪا گرمي کي جلدي ختم ڪري سگهي ٿي ۽ اعليٰ درجه حرارت واري ماحول لاءِ موزون آهي.
3. گھٽ حرارتي توسيع جو ڪوئفيشينٽ: سلڪون ڪاربائڊ حرارتي توسيع جو ڪوئفيشينٽ گھٽ آهي (4.0-4.5×10⁻⁶/K)، اڃا تائين اعليٰ درجه حرارت تي طول و عرض جي استحڪام کي برقرار رکي سگهي ٿو.
4. ڪيميائي استحڪام: سلڪون ڪاربائيڊ ايسڊ ۽ الڪلي سنکنرن جي مزاحمت، ڪيميائي سنکنرن واري ماحول ۾ استعمال لاءِ موزون.
5. اعليٰ مشيني طاقت: سلڪون ڪاربائيڊ ۾ اعليٰ موڙيندڙ طاقت ۽ دٻاءُ واري طاقت آهي، ۽ وڏي مشيني دٻاءُ کي برداشت ڪري سگهي ٿي.
خاصيتون:
1. سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾، انتهائي پتلي ويفرز کي ويڪيوم سکشن ڪپ تي رکڻ جي ضرورت آهي، ويڪيوم سکشن کي ويفرز کي درست ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، ۽ ويفرز تي ويڪسنگ، ٿلهو ڪرڻ، ويڪسنگ، صفائي ۽ ڪٽڻ جو عمل ڪيو ويندو آهي.
2. سلڪون ڪاربائڊ چوسڻ واري مشين ۾ سٺي حرارتي چالکائي آهي، مؤثر طريقي سان ويڪسنگ ۽ ويڪسنگ جي وقت کي گهٽائي سگھي ٿي، پيداوار جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي سگھي ٿي.
3. سلڪون ڪاربائيڊ ويڪيوم چوسڻ واري مشين ۾ تيزابي ۽ الڪلي سنکنرن جي مزاحمت پڻ سٺي آهي.
4. روايتي ڪورنڊم ڪيريئر پليٽ جي مقابلي ۾، لوڊنگ ۽ ان لوڊ ڪرڻ جي گرمي ۽ ٿڌي وقت کي مختصر ڪريو، ڪم جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻايو؛ ساڳئي وقت، اهو مٿين ۽ هيٺين پليٽن جي وچ ۾ لباس کي گهٽائي سگهي ٿو، سٺي جهاز جي درستگي کي برقرار رکي سگهي ٿو، ۽ سروس جي زندگي کي تقريباً 40٪ تائين وڌائي سگهي ٿو.
5. مواد جو تناسب ننڍڙو، هلڪو وزن آهي. آپريٽرن لاءِ پيليٽس کڻڻ آسان آهي، ٽرانسپورٽ جي مشڪلاتن جي ڪري ٽڪراءَ جي نقصان جو خطرو تقريباً 20 سيڪڙو گهٽجي ٿو.
6. سائيز: وڌ ۾ وڌ قطر 640mm؛ هموار: 3um يا گهٽ
درخواست جو ميدان:
1. سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار
● ويفر پروسيسنگ:
فوٽو ليٿوگرافي، ايچنگ، پتلي فلم جمع ڪرڻ ۽ ٻين عملن ۾ ويفر فڪسيشن لاءِ، اعليٰ درستگي ۽ عمل جي تسلسل کي يقيني بڻائي ٿو. ان جو اعليٰ گرمي پد ۽ سنکنرن جي مزاحمت سخت سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار واري ماحول لاءِ موزون آهي.
● اپيٽيڪسيل واڌ:
SiC يا GaN ايپيٽيڪسيل واڌ ۾، ويفرز کي گرم ڪرڻ ۽ درست ڪرڻ لاءِ ڪيريئر جي طور تي، تيز گرمي پد تي گرمي پد جي هڪجهڙائي ۽ ڪرسٽل جي معيار کي يقيني بڻائي، ڊوائيس جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿو.
2. فوٽو اليڪٽرڪ سامان
● ايل اي ڊي جي پيداوار:
نيلم يا SiC سبسٽريٽ کي درست ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، ۽ MOCVD عمل ۾ حرارتي ڪيريئر جي طور تي، ايپيٽيڪسيل واڌ جي هڪجهڙائي کي يقيني بڻائڻ، LED چمڪندڙ ڪارڪردگي ۽ معيار کي بهتر بڻائڻ لاءِ.
● ليزر ڊاءِڊ:
هڪ اعليٰ درستگي واري فڪسچر جي طور تي، پروسيس جي درجه حرارت جي استحڪام کي يقيني بڻائڻ، ليزر ڊاءِڊ جي آئوٽ پُٽ پاور ۽ اعتبار کي بهتر بڻائڻ لاءِ فڪسنگ ۽ گرم ڪرڻ وارو سبسٽريٽ.
3. درستگي مشيننگ
● آپٽيڪل جزو پروسيسنگ:
اهو پروسيسنگ دوران اعليٰ درستگي ۽ گهٽ آلودگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ آپٽيڪل لينس ۽ فلٽر جهڙن درست حصن کي درست ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، ۽ تيز شدت واري مشيننگ لاءِ موزون آهي.
● سيرامڪ پروسيسنگ:
هڪ اعليٰ استحڪام واري فڪسچر جي طور تي، اهو سيرامڪ مواد جي درستگي واري مشيننگ لاءِ موزون آهي ته جيئن اعليٰ درجه حرارت ۽ خراب ماحول ۾ مشيننگ جي درستگي ۽ مستقل مزاجي کي يقيني بڻائي سگهجي.
4. سائنسي تجربا
● اعليٰ درجه حرارت جو تجربو:
اعليٰ درجه حرارت واري ماحول ۾ نموني جي درستگي واري ڊوائيس جي طور تي، اهو 1600 ° C کان مٿي انتهائي درجه حرارت جي تجربن جي حمايت ڪري ٿو ته جيئن درجه حرارت جي هڪجهڙائي ۽ نموني جي استحڪام کي يقيني بڻائي سگهجي.
● ويڪيوم ٽيسٽ:
ويڪيوم ماحول ۾ نموني فڪسنگ ۽ گرم ڪرڻ واري ڪيريئر جي طور تي، تجربي جي درستگي ۽ ورجائي کي يقيني بڻائڻ لاءِ، ويڪيوم ڪوٽنگ ۽ گرمي علاج لاءِ موزون.
ٽيڪنيڪل وضاحتون:
| (مادي ملڪيت) | (يونٽ) | (ايس ايس آءِ سي) | |
| (سي آءِ سي مواد) |
| (واٽ)٪ | > 99 |
| (اوسط اناج جي سائيز) |
| مائڪرون | 4-10 |
| (کثافت) |
| ڪلوگرام/ڊي ايم 3 | > 3.14 |
| (ظاهري سوراخ) |
| وو 1٪ | <0.5 |
| (وِڪرز جي سختي) | ايڇ وي 0.5 | جي پي اي | 28 |
| *(لچڪدار طاقت) | 20ºC | ايم پي اي | 450 |
| (دٻائڻ واري طاقت) | 20ºC | ايم پي اي | 3900 |
| (لچڪدار ماڊيولس) | 20ºC | جي پي اي | 420 |
| (فريچر جي سختي) |
| ايم پي اي/ميٽر'٪ | 3.5 |
| (حرارتي چالکائي) | 20 درجا سينٽي گريڊ | اوچائي/(ميٽر*ڪلو) | 160 |
| (مزاحمت) | 20 درجا سينٽي گريڊ | اوهم سي ايم | 106-108 |
|
| الف (آر ٽي ** ... 80ºC) | ڪي-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| اونهائي گرمي پد | 1700 |
سالن جي ٽيڪنيڪل جمع ۽ صنعت جي تجربي سان، XKH گراهڪ جي مخصوص ضرورتن مطابق چيڪ جي سائيز، حرارتي طريقو ۽ ويڪيوم جذب ڊيزائن جهڙن اهم پيرا ميٽرز کي ترتيب ڏيڻ جي قابل آهي، انهي ڳالهه کي يقيني بڻائي ٿو ته پراڊڪٽ گراهڪ جي عمل سان مڪمل طور تي مطابقت رکي ٿي. SiC سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ چڪس ويفر پروسيسنگ، ايپيٽڪسيل واڌ ۽ ٻين اهم عملن ۾ ناگزير جزا بڻجي ويا آهن ڇاڪاڻ ته انهن جي بهترين حرارتي چالکائي، اعلي درجه حرارت جي استحڪام ۽ ڪيميائي استحڪام جي ڪري. خاص طور تي ٽئين نسل جي سيمي ڪنڊڪٽر مواد جهڙوڪ SiC ۽ GaN جي پيداوار ۾، سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ چڪس جي طلب وڌندي رهي ٿي. مستقبل ۾، 5G، برقي گاڏين، مصنوعي ذهانت ۽ ٻين ٽيڪنالاجي جي تيز ترقي سان، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ چڪس جي درخواست جا امڪان وسيع ٿيندا.
تفصيلي ڊاگرام
