سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان انگوٽ ٿننگ ۾ انقلاب آڻيندو آهي

مختصر وضاحت:

سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان هڪ انتهائي خاص صنعتي حل آهي جيڪو ليزر-انڊسڊ لفٽ آف ٽيڪنڪ ذريعي سيمي ڪنڊڪٽر انگٽس جي صحيح ۽ غير رابطي واري ٿلهي ڪرڻ لاءِ تيار ڪيو ويو آهي. هي جديد نظام جديد سيمي ڪنڊڪٽر ويفرنگ عملن ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو، خاص طور تي اعليٰ ڪارڪردگي واري پاور اليڪٽرانڪس، ايل اي ڊي، ۽ آر ايف ڊوائيسز لاءِ الٽرا پتلي ويفرز جي تياري ۾. بلڪ انگٽس يا ڊونر سبسٽريٽس کان پتلي تہن جي الڳ ٿيڻ کي فعال ڪندي، سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان ميڪيڪل آرا، پيسڻ، ۽ ڪيميائي ايچنگ مرحلن کي ختم ڪندي انگوٽ ٿننگ ۾ انقلاب آڻيندو آهي.

اسان کي اي ميل موڪليو

خاصيتون

تفصيلي ڊاگرام

سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان جو پراڊڪٽ تعارف

روايتي طور تي سيمي ڪنڊڪٽر انگٽس، جهڙوڪ گيليم نائٽرائڊ (GaN)، سلڪون ڪاربائيڊ (SiC)، ۽ نيلم، کي پتلا ڪرڻ اڪثر محنت طلب، فضول خرچي ڪندڙ، ۽ مائڪرو ڪريڪس يا مٿاڇري کي نقصان پهچائڻ جو شڪار هوندو آهي. ان جي ابتڙ، سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان هڪ غير تباهي ڪندڙ، صحيح متبادل پيش ڪري ٿو جيڪو پيداوار کي وڌائيندي مواد جي نقصان ۽ مٿاڇري جي دٻاءُ کي گهٽائي ٿو. اهو ڪرسٽل لائن ۽ مرڪب مواد جي وسيع قسم جي حمايت ڪري ٿو ۽ ان کي فرنٽ اينڊ يا مڊ اسٽريم سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار لائينن ۾ بيحد ضم ڪري سگهجي ٿو.

ترتيب ڏيڻ واري ليزر ويولينٿس، اڊاپٽو فوڪس سسٽم، ۽ ويڪيوم-مطابقت رکندڙ ويفر چڪس سان، هي سامان خاص طور تي انگٽ سلائسنگ، ليميلا ٺاهڻ، ۽ عمودي ڊوائيس جي جوڙجڪ يا هيٽروپيٽيڪسيل پرت جي منتقلي لاءِ الٽرا پتلي فلم ڊيٽيچمينٽ لاءِ مناسب آهي.

سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان جو پيرا ميٽر

طول موج	آئي آر/ايس ايڇ جي/ٽي ايڇ جي/ايف ايڇ جي
نبض جي ويڪر	نانو سيڪنڊ، پڪو سيڪنڊ، فيمٽو سيڪنڊ
آپٽيڪل سسٽم	مقرر ٿيل آپٽيڪل سسٽم يا گيلوانو-آپٽيڪل سسٽم
XY اسٽيج	500 ملي ميٽر × 500 ملي ميٽر
پروسيسنگ جي حد	160 ملي ميٽر
حرڪت جي رفتار	وڌ ۾ وڌ 1,000 ملي ميٽر / سيڪنڊ
ورجائي سگهڻ	±1 μm يا گهٽ
مطلق پوزيشن جي درستگي:	±5 μm يا گهٽ
ويفر سائيز	2-6 انچ يا ترتيب ڏنل
ڪنٽرول	ونڊوز 10،11 ۽ پي ايل سي
بجلي جي فراهمي جو وولٽيج	اي سي 200 وي ± 20 وي، سنگل فيز، 50/60 ڪلو هرٽز
ٻاهرين پکيڙ	2400 ملي ميٽر (ڊبليو) × 1700 ملي ميٽر (ڊي) × 2000 ملي ميٽر (ايڇ)
وزن	1,000 ڪلوگرام

سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان جو ڪم ڪندڙ اصول

سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان جو بنيادي طريقو ڊونر انگوٽ ۽ ايپيٽيڪسيل يا ٽارگيٽ پرت جي وچ ۾ انٽرفيس تي چونڊيل فوٽوٿرمل ڊڪپوزيشن يا ابليشن تي ڀاڙي ٿو. هڪ اعليٰ توانائي وارو يو وي ليزر (عام طور تي 248 اين ايم تي KrF يا 355 اين ايم جي چوڌاري سولڊ اسٽيٽ يو وي ليزر) هڪ شفاف يا نيم شفاف ڊونر مواد ذريعي مرڪوز ڪيو ويندو آهي، جتي توانائي کي هڪ مقرر ڪيل کوٽائي تي چونڊيل طور تي جذب ڪيو ويندو آهي.

هي مقامي توانائي جذب انٽرفيس تي هڪ هاءِ پريشر گيس فيز يا ٿرمل ايڪسپينشن پرت ٺاهي ٿو، جيڪو انگوٽ بيس مان مٿئين ويفر يا ڊيوائس پرت جي صاف ڊيليمينيشن کي شروع ڪري ٿو. عمل کي نبض جي ويڪر، ليزر فلوئنس، اسڪيننگ اسپيڊ، ۽ زي-محور فوڪل ڊيپٿ جهڙن پيرا ميٽرز کي ترتيب ڏيڻ سان چڱي طرح ترتيب ڏنو ويو آهي. نتيجو هڪ الٽرا پتلي سلائس آهي - اڪثر ڪري 10 کان 50 µm رينج ۾ - ميڪيڪل رگڙ کان سواءِ والدين انگوٽ کان صاف طور تي الڳ ڪيو ويو آهي.

انگوٽ ٿنڀڻ لاءِ ليزر لفٽ آف جو هي طريقو ڪرف نقصان ۽ هيرن جي تار جي آرا يا ميڪيڪل ليپنگ سان لاڳاپيل سطح جي نقصان کان بچي ٿو. اهو ڪرسٽل جي سالميت کي پڻ محفوظ رکي ٿو ۽ ڊائون اسٽريم پالش ڪرڻ جي گهرجن کي گهٽائي ٿو، سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان کي ايندڙ نسل جي ويفر پيداوار لاءِ هڪ راند بدلائيندڙ اوزار بڻائي ٿو.

سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان انگوٽ ٿننگ 2 ۾ انقلاب آڻيندو آهي

سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان جون ايپليڪيشنون

سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان مختلف جديد مواد ۽ ڊوائيسز جي قسمن ۾ انگوٽ ٿننگ ۾ وسيع قابل اطلاق ڳولي ٿو، جنهن ۾ شامل آهن:

پاور ڊوائيسز لاءِ GaN ۽ GaAs انگٽ ٿننگ
اعليٰ ڪارڪردگي، گهٽ مزاحمتي پاور ٽرانزسٽر ۽ ڊائيوڊ لاءِ پتلي ويفر تخليق کي فعال بڻائي ٿو.

سي سي سبسٽريٽ ريڪليميشن ۽ لاميلا سيپريشن
عمودي ڊوائيس جي جوڙجڪ ۽ ويفر جي ٻيهر استعمال لاءِ بلڪ SiC سبسٽريٽس مان ويفر-اسڪيل لفٽ آف جي اجازت ڏئي ٿو.

ايل اي ڊي ويفر سلائسنگ
ٿلهي نيلم جي انگوٽ مان GaN جي تہن کي کڻڻ جي سهولت فراهم ڪري ٿو ته جيئن الٽرا پتلي LED سبسٽريٽ پيدا ڪري سگهجي.

آر ايف ۽ مائڪرو ويڪرو ڊيوائس ٺاهڻ
5G ۽ ريڊار سسٽم ۾ گهربل الٽرا پتلي هاءِ اليڪٽران-موبلٽي ٽرانزسٽر (HEMT) ڍانچي کي سپورٽ ڪري ٿو.

ايپيٽيڪسيل پرت جي منتقلي
هيٽرو اسٽريچرز ۾ ٻيهر استعمال يا ضم ڪرڻ لاءِ ڪرسٽل لائن انگٽس کان ايپيٽيڪسيل پرتن کي صحيح طور تي الڳ ڪري ٿو.

ٿن-فلم سولر سيلز ۽ فوٽو وولٽائيڪس
لچڪدار يا اعليٰ ڪارڪردگي وارن سولر سيلز لاءِ پتلي جاذب تہن کي الڳ ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.

انهن مان هر هڪ ڊومين ۾، سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان ٿلهي جي هڪجهڙائي، مٿاڇري جي معيار، ۽ پرت جي سالميت تي بي مثال ڪنٽرول فراهم ڪري ٿو.

ليزر تي ٻڌل انگوٽ ٿننگ جا فائدا

زيرو-ڪيرف مواد جو نقصان
روايتي ويفر سلائسنگ طريقن جي مقابلي ۾، ليزر عمل جي نتيجي ۾ تقريبن 100٪ مواد جو استعمال ٿئي ٿو.

گھٽ ۾ گھٽ دٻاءُ ۽ وارپنگ
غير رابطي واري لفٽ آف ميڪيڪل وائبريشن کي ختم ڪري ٿي، ويفر بو ۽ مائڪرو ڪريڪ ٺهڻ کي گهٽائي ٿي.

مٿاڇري جي معيار جي حفاظت
ڪيترن ئي ڪيسن ۾ ٿلهي ڪرڻ کان پوءِ ليپنگ يا پالش ڪرڻ جي ضرورت ناهي، ڇاڪاڻ ته ليزر لفٽ آف مٿين سطح جي سالميت کي محفوظ رکي ٿو.

هاءِ ٿرو پُٽ ۽ آٽوميشن تيار
خودڪار لوڊنگ/ان لوڊنگ سان في شفٽ سوين سبسٽريٽس پروسيس ڪرڻ جي قابل.

گھڻن مواد سان مطابقت رکندڙ
GaN، SiC، نيلم، GaAs، ۽ ابھرندڙ III-V مواد سان مطابقت رکندڙ.

ماحولياتي طور تي محفوظ
سلري تي ٻڌل پتلي ڪرڻ واري عمل ۾ عام طور تي رگڙيندڙ ۽ سخت ڪيميڪلز جي استعمال کي گھٽائي ٿو.

سبسٽريٽ ٻيهر استعمال
عطيو ڏيندڙ انگٽس کي ڪيترن ئي لفٽ آف چڪرن لاءِ ري سائيڪل ڪري سگهجي ٿو، جنهن سان مادي خرچ گهٽجي ويندا آهن.

سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان جا اڪثر پڇيا ويندڙ سوال (FAQ)

سوال 1: ويفر سلائسن لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر ليزر لفٽ آف سامان ڪهڙي ٿولهه جي حد حاصل ڪري سگهي ٿو؟
اي 1:عام سلائس جي ٿولهه 10 µm کان 100 µm تائين هوندي آهي جيڪا مواد ۽ ترتيب جي لحاظ کان هوندي آهي.

سوال 2: ڇا هي سامان SiC جهڙي مبهم مواد مان ٺهيل انگوٽ کي پتلي ڪرڻ لاءِ استعمال ڪري سگهجي ٿو؟
اي 2:ها. ليزر جي طول موج کي ترتيب ڏيڻ ۽ انٽرفيس انجنيئرنگ کي بهتر بڻائڻ سان (مثال طور، قرباني واري انٽرليئرز)، جزوي طور تي مبهم مواد کي به پروسيس ڪري سگهجي ٿو.

سوال 3: ليزر لفٽ آف کان اڳ ڊونر سبسٽريٽ کي ڪيئن ترتيب ڏنو ويندو آهي؟
اي 3:هي نظام ذيلي مائڪرون ويزن تي ٻڌل الائنمينٽ ماڊلز استعمال ڪري ٿو، جنهن ۾ فيڊيوشيل مارڪس ۽ مٿاڇري جي عڪاسي اسڪين مان موٽ ملي ٿي.

سوال 4: هڪ ليزر لفٽ آف آپريشن لاءِ متوقع چڪر جو وقت ڇا آهي؟
اي 4:ويفر جي سائيز ۽ ٿولهه تي منحصر ڪري، عام چڪر 2 کان 10 منٽن تائين رهن ٿا.

سوال 5: ڇا عمل لاءِ صاف ڪمري واري ماحول جي ضرورت آهي؟
اي 5:جڏهن ته لازمي نه آهي، صاف ڪمري جي انضمام جي سفارش ڪئي وئي آهي ته جيئن اعليٰ درستگي واري آپريشن دوران سبسٽريٽ جي صفائي ۽ ڊوائيس جي پيداوار کي برقرار رکيو وڃي.

اسان جي باري ۾

XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوج جي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز بڻجڻ جو مقصد.