N-Type SiC on Si Composite Substrates Dia6inch
等级گريڊ | يو 级 | پ | ڊي |
گھٽ بي پي ڊي گريڊ | پيداوار جي درجي | ڊمي گريڊ | |
直径قطر | 150.0mm±0.25mm | ||
厚度ٿلهو | 500 μm ± 25μm | ||
晶片方向ويفر اورينٽيشن | بند محور: 4.0° طرف <11-20 > ±0.5° 4H-N لاءِ محور تي: <0001>±0.5° 4H-SI لاءِ | ||
主定位边方向پرائمري فليٽ | {10-10}±5.0° | ||
主定位边长度پرائمري فليٽ ڊگھائي | 47.5 ملي ± 2.5 ملي ميٽر | ||
边缘کنڊ جي خارج ٿيڻ | 3 ملي ايم | ||
总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/Bow/Warp | ≤15μm/≤40μm/≤60μm | ||
微管密度和基面位错ايم پي ڊي ۽ بي پي ڊي | MPD≤1 cm-2 | MPD≤5 cm-2 | MPD≤15 cm-2 |
BPD≤1000cm-2 | |||
电阻率مزاحمتي قوت | ≥1E5 Ω·cm | ||
表面粗糙度سختي | پولش Ra≤1 nm | ||
CMP Ra≤0.5 nm | |||
裂纹(强光灯观测) # | ڪو به | مجموعي ڊيگهه ≤10mm، اڪيلو ڊيگهه≤2mm | |
تيز شدت جي روشني جي ڪري ٽڪر | |||
六方空洞 (强光灯观测)* | مجموعي علائقو ≤1٪ | مجموعي علائقو ≤5% | |
هيڪس پليٽ تيز شدت جي روشني سان | |||
多型(强光灯观测)* | ڪو به | مجموعي علائقو≤5% | |
پوليٽائپ ايرياز تيز شدت جي روشني سان | |||
划痕(强光灯观测)*& | 3 سکريچ تائين 1 × ويفر قطر | 5 ڇڪڻ کان 1 × ويفر قطر تائين | |
تيز شدت جي روشني سان ڇڪيل | مجموعي ڊگھائي | مجموعي ڊگھائي | |
崩边# ڪنڊ چپ | ڪو به | 5 اجازت ڏني وئي، ≤1 ملي ميٽر هر هڪ | |
表面污染物 (强光灯观测) | ڪو به | ||
تيز شدت جي روشني سان آلودگي |