N-Type SiC on Si Composite Substrates Dia6inch

مختصر وضاحت:

N-Type SiC on Si جامع سبسٽراٽس سيمي ڪنڊڪٽر مواد آھن جيڪي n-قسم جي سلکان ڪاربائيڊ (SiC) جي ھڪڙي پرت تي مشتمل آھن جيڪي سلڪون (Si) سبسٽريٽ تي جمع ٿيل آھن.


پيداوار جي تفصيل

پراڊڪٽ ٽيگ

等级گريڊ

يو 级

پ

ڊي

گھٽ بي پي ڊي گريڊ

پيداوار جي درجي

ڊمي گريڊ

直径قطر

150.0mm±0.25mm

厚度ٿلهو

500 μm ± 25μm

晶片方向ويفر اورينٽيشن

بند محور: 4.0° طرف <11-20 > ±0.5° 4H-N لاءِ محور تي: <0001>±0.5° 4H-SI لاءِ

主定位边方向پرائمري فليٽ

{10-10}±5.0°

主定位边长度پرائمري فليٽ ڊگھائي

47.5 ملي ± 2.5 ملي ميٽر

边缘کنڊ جي خارج ٿيڻ

3 ملي ايم

总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/Bow/Warp

≤15μm/≤40μm/≤60μm

微管密度和基面位错ايم پي ڊي ۽ بي پي ڊي

MPD≤1 cm-2

MPD≤5 cm-2

MPD≤15 cm-2

BPD≤1000cm-2

电阻率مزاحمتي قوت

≥1E5 Ω·cm

表面粗糙度سختي

پولش Ra≤1 nm

CMP Ra≤0.5 nm

裂纹(强光灯观测) #

ڪو به

مجموعي ڊيگهه ≤10mm، اڪيلو ڊيگهه≤2mm

تيز شدت جي روشني جي ڪري ٽڪر

六方空洞 (强光灯观测)*

مجموعي علائقو ≤1٪

مجموعي علائقو ≤5%

هيڪس پليٽ تيز شدت جي روشني سان

多型(强光灯观测)*

ڪو به

مجموعي علائقو≤5%

پوليٽائپ ايرياز تيز شدت جي روشني سان

划痕(强光灯观测)*&

3 سکريچ تائين 1 × ويفر قطر

5 ڇڪڻ کان 1 × ويفر قطر تائين

تيز شدت جي روشني سان ڇڪيل

مجموعي ڊگھائي

مجموعي ڊگھائي

崩边# ڪنڊ چپ

ڪو به

5 اجازت ڏني وئي، ≤1 ملي ميٽر هر هڪ

表面污染物 (强光灯观测)

ڪو به

تيز شدت جي روشني سان آلودگي

 

تفصيلي خاڪو

WeChatfb506868f1be4983f80912519e79dd7b

  • اڳيون:
  • اڳيون:

  • پنهنجو پيغام هتي لکو ۽ اسان ڏانهن موڪليو