مائڪروجيٽ ليزر ٽيڪنالاجي سامان ويفر ڪٽنگ SiC مواد پروسيسنگ
ڪم جو اصول:
1. ليزر ڪپلنگ: پلسڊ ليزر (UV/سائي/انفرارڊ) هڪ مستحڪم توانائي ٽرانسميشن چينل ٺاهڻ لاءِ مائع جيٽ جي اندر مرڪوز ڪيو ويندو آهي.
2. مائع هدايت: تيز رفتار جيٽ (وهڪري جي شرح 50-200m/s) پروسيسنگ ايريا کي ٿڌو ڪرڻ ۽ ملبہ کڻڻ ته جيئن گرمي جي جمع ٿيڻ ۽ آلودگي کان بچي سگهجي.
3. مواد کي هٽائڻ: ليزر توانائي مائع ۾ ڪيويٽيشن اثر پيدا ڪري ٿي ته جيئن مواد جي ٿڌي پروسيسنگ حاصل ڪري سگهجي (گرمي متاثر زون <1μm).
4. متحرڪ ڪنٽرول: مختلف مواد ۽ بناوتن جي ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ ليزر پيرا ميٽرز (پاور، فريڪوئنسي) ۽ جيٽ پريشر جي حقيقي وقت ۾ ترتيب.
اهم پيرا ميٽر:
1. ليزر پاور: 10-500W (ايڊجسٽبل)
2. جيٽ قطر: 50-300μm
3. مشيننگ جي درستگي: ±0.5μm (ڪٽڻ)، کوٽائي ۽ ويڪر جو تناسب 10:1 (ڊرلنگ)
ٽيڪنيڪل فائدا:
(1) تقريبن صفر گرمي نقصان
- مائع جيٽ کولنگ گرمي متاثر زون (HAZ) کي **<1μm** تائين ڪنٽرول ڪري ٿي، روايتي ليزر پروسيسنگ جي ڪري پيدا ٿيندڙ مائڪرو ڪرڪس کان بچي ٿي (HAZ عام طور تي >10μm هوندو آهي).
(2) الٽرا هاءِ پريسيشن مشيننگ
- ڪٽڻ/ڊرلنگ جي درستگي **±0.5μm** تائين، ڪنڊ جي خرابي Ra<0.2μm، بعد ۾ پالش ڪرڻ جي ضرورت کي گھٽائي ٿي.
- پيچيده 3D ڍانچي جي پروسيسنگ کي سپورٽ ڪريو (جهڙوڪ مخروطي سوراخ، شڪل وارا سلاٽ).
(3) وسيع مواد جي مطابقت
- سخت ۽ ڀُرندڙ مواد: سي آءِ سي، نيلم، شيشو، سيرامڪس (روايتي طريقن سان ٽٽڻ آسان آهي).
- گرميءَ سان حساس مواد: پوليمر، حياتياتي ٽشوز (حرارتي خرابي جو ڪو به خطرو ناهي).
(4) ماحولياتي تحفظ ۽ ڪارڪردگي
- مٽي جي آلودگي ناهي، مائع کي ري سائيڪل ۽ فلٽر ڪري سگهجي ٿو.
- پروسيسنگ جي رفتار ۾ 30%-50% واڌارو (مشيننگ جي مقابلي ۾).
(5) ذهين ڪنٽرول
- مربوط بصري پوزيشننگ ۽ AI پيرا ميٽر جي اصلاح، موافقت واري مواد جي ٿولهه ۽ خرابيون.
ٽيڪنيڪل وضاحتون:
| ڪائونٽر ٽاپ جو مقدار | 300*300*150 | 400*400*200 |
| لڪير وارو محور XY | لڪير واري موٽر. لڪير واري موٽر | لڪير واري موٽر. لڪير واري موٽر |
| لڪير وارو محور Z | 150 | 200 |
| پوزيشن جي درستگي μm | +/-5 | +/-5 |
| بار بار پوزيشننگ جي درستگي μm | +/-2 | +/-2 |
| تيز رفتاري جي | 1 | 0.29 |
| عددي ڪنٽرول | 3 محور / 3 + 1 محور / 3 + 2 محور | 3 محور / 3 + 1 محور / 3 + 2 محور |
| عددي ڪنٽرول جو قسم | ڊي پي ايس ايس اين ڊي: يگ | ڊي پي ايس ايس اين ڊي: يگ |
| موج جي ڊيگهه nm | 532/1064 | 532/1064 |
| ريٽيڊ پاور W | 50/100/200 | 50/100/200 |
| پاڻي جو جيٽ | 40-100 | 40-100 |
| نوزل پريشر بار | 50-100 | 50-600 |
| ماپون (مشين ٽول) (ويڪر * ڊيگهه * اوچائي) ملي ميٽر | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
| سائيز (ڪنٽرول ڪابينا) (W * L * H) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
| وزن (سامان) ٽي | 2.5 | 3 |
| وزن (ڪنٽرول ڪابينا) ڪلوگرام | 800 | 800 |
| پروسيسنگ جي صلاحيت | مٿاڇري جي خرابي Ra≤1.6um کلڻ جي رفتار ≥1.25mm/s گهيرو ڪٽڻ ≥6mm/s لڪير ڪٽڻ جي رفتار ≥50mm/s | مٿاڇري جي خرابي Ra≤1.2um کلڻ جي رفتار ≥1.25mm/s گهيرو ڪٽڻ ≥6mm/s لڪير ڪٽڻ جي رفتار ≥50mm/s |
| گيليم نائٽرائڊ ڪرسٽل، الٽرا وائڊ بينڊ گيپ سيمي ڪنڊڪٽر مواد (هيرا/گيليم آڪسائيڊ)، ايرو اسپيشل مواد، ايل ٽي سي سي ڪاربن سيرامڪ سبسٽريٽ، فوٽووولٽڪ، سنٽيليٽر ڪرسٽل ۽ ٻين مواد جي پروسيسنگ لاءِ. نوٽ: پروسيسنگ جي گنجائش مادي خاصيتن جي لحاظ کان مختلف هوندي آهي.
| ||
پروسيسنگ ڪيس:
XKH جون خدمتون:
XKH مائڪرو جيٽ ليزر ٽيڪنالاجي سامان لاءِ مڪمل لائف سائيڪل سروس سپورٽ جي مڪمل رينج فراهم ڪري ٿو، شروعاتي عمل جي ترقي ۽ سامان جي چونڊ جي صلاح مشوري کان وٺي، وچين مدت جي ڪسٽمائيز سسٽم انٽيگريشن (ليزر سورس، جيٽ سسٽم ۽ آٽوميشن ماڊل جي خاص ميچنگ سميت) تائين، بعد ۾ آپريشن ۽ سار سنڀال جي تربيت ۽ مسلسل عمل جي اصلاح تائين، سڄو عمل پيشه ورانه ٽيڪنيڪل ٽيم سپورٽ سان ليس آهي؛ 20 سالن جي درست مشيننگ تجربي جي بنياد تي، اسان مختلف صنعتن جهڙوڪ سيمي ڪنڊڪٽر ۽ طبي لاءِ سامان جي تصديق، وڏي پيماني تي پيداوار جو تعارف ۽ بعد ۾ وڪرو تيز جواب (24 ڪلاڪ ٽيڪنيڪل سپورٽ + اهم اسپيئر پارٽس رزرو) سميت ون اسٽاپ حل فراهم ڪري سگهون ٿا، ۽ 12 مهينن جي ڊگهي وارنٽي ۽ زندگي بھر جي سار سنڀال ۽ اپ گريڊ سروس جو واعدو ڪريون ٿا. پڪ ڪريو ته گراهڪ سامان هميشه صنعت جي معروف پروسيسنگ ڪارڪردگي ۽ استحڪام کي برقرار رکي ٿو.
تفصيلي ڊاگرام
