LNOI ويفر (انسوليٽر تي ليٿيم نائوبيٽ) ٽيليڪميونيڪيشن سينسنگ هاءِ اليڪٽرو آپٽڪ
تفصيلي ڊاگرام
جائزو
ويفر باڪس جي اندر سميٽريل نالن وارا آهن، جن جا طول و عرض ويفر جي ٻنهي پاسن کي سهارو ڏيڻ لاءِ سختي سان هڪجهڙا آهن. ڪرسٽل باڪس عام طور تي شفاف پلاسٽڪ پي پي مواد مان ٺهيل آهي جيڪو گرمي پد، لباس ۽ جامد بجلي جي مزاحمتي آهي. سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ڌاتو جي عمل جي حصن کي فرق ڪرڻ لاءِ مختلف رنگن جا اضافو استعمال ڪيا ويندا آهن. سيمي ڪنڊڪٽر جي ننڍڙي اهم سائيز، گهاٽي نمونن، ۽ پيداوار ۾ تمام سخت پارٽيڪل سائيز جي گهرجن جي ڪري، ويفر باڪس کي مختلف پيداوار مشينن جي مائڪرو انوائرمينٽ باڪس ري ايڪشن ڪيفي سان ڳنڍڻ لاءِ صاف ماحول جي ضمانت ڏني وڃي.
ٺاهڻ جو طريقو
LNOI ويفرز جي ٺهڻ ۾ ڪيترائي صحيح مرحلا شامل آهن:
قدم 1: هيليم آئن امپلانٽيشنهيليم آئن کي آئن امپلانٽر استعمال ڪندي هڪ بلڪ ايل اين ڪرسٽل ۾ داخل ڪيو ويندو آهي. اهي آئن هڪ مخصوص کوٽائي تي رهن ٿا، هڪ ڪمزور سطح ٺاهيندا آهن جيڪو آخرڪار فلم کي الڳ ڪرڻ ۾ مدد ڪندو.
قدم 2: بيس سبسٽريٽ ٺهڻهڪ الڳ سلڪون يا ايل اين ويفر کي پي اي سي وي ڊي يا ٿرمل آڪسيڊيشن استعمال ڪندي سي او 2 سان آڪسائيڊ يا پرت ڪيو ويندو آهي. ان جي مٿئين مٿاڇري کي بهترين بانڊنگ لاءِ پلانرائز ڪيو ويندو آهي.
قدم 3: LN کي سبسٽريٽ سان ڳنڍڻآئن-امپلانٽ ٿيل ايل اين ڪرسٽل کي سڌو ويفر بانڊنگ استعمال ڪندي بيس ويفر سان فلپ ڪيو ويندو آهي ۽ ڳنڍيل هوندو آهي. ريسرچ سيٽنگز ۾، بينزوسائيڪلوبيوٽين (بي سي بي) کي گهٽ سخت حالتن ۾ بانڊنگ کي آسان بڻائڻ لاءِ چپڪندڙ طور استعمال ڪري سگهجي ٿو.
قدم 4: حرارتي علاج ۽ فلم جي علحدگياينيلنگ امپلانٽ ٿيل کوٽائي تي بلبل جي ٺهڻ کي چالو ڪري ٿي، پتلي فلم (مٿين LN پرت) کي بلڪ کان الڳ ڪرڻ جي قابل بڻائي ٿي. ايڪسفوليئيشن کي مڪمل ڪرڻ لاءِ ميڪيڪل قوت استعمال ڪئي ويندي آهي.
قدم 5: مٿاڇري پالش ڪرڻڪيميڪل ميڪيڪل پالشنگ (سي ايم پي) کي مٿين ايل اين مٿاڇري کي هموار ڪرڻ لاءِ لاڳو ڪيو ويندو آهي، آپٽيڪل معيار ۽ ڊوائيس جي پيداوار کي بهتر بڻائي ٿو.
ٽيڪنيڪل پيرا ميٽرز
| مواد | بصري گريڊ لي اين بي او 3 واف (اڇو) or ڪارو) | |
| ڪيوري گرمي پد | 1142±0.7℃ | |
| ڪٽڻ زاويه | ايڪس/وائي/ز وغيره | |
| قطر/سائيز | 2”/3”/4” ±0.03 ملي ميٽر | |
| ٽول (±) | <0.20 ملي ميٽر ±0.005 ملي ميٽر | |
| ٿولهه | 0.18 ~ 0.5 ملي ميٽر يا وڌيڪ | |
| پرائمري فليٽ | 16 ايم ايم / 22 ايم ايم / 32 ايم ايم | |
| ٽي ٽي وي | <3μm | |
| ڪمان | -30 | |
| وارپ | <40μm | |
| رخ ڏيڻ فليٽ | سڀ موجود آهن | |
| مٿاڇري قسم | سنگل سائڊ پالش ٿيل (ايس ايس پي) / ڊبل سائڊ پالش ٿيل (ڊي ايس پي) | |
| پالش ٿيل پاسي Ra | <0.5 اين ايم | |
| ايس/ڊي | 20/10 | |
| ڪنڊ معيار | آر = 0.2 ملي ميٽر سي-قسم or بُلنوز | |
| معيار | واندو of ڦاٽڻ (بلبلون) ۽ شامل ڪرڻ) | |
| بصري ڊوپ ٿيل | مگ/في/زين/مگ او وغيره لاءِ بصري گريڊ ايل اين ويفرز في درخواست ڪيل | |
| ويفر مٿاڇري معيار | ريفريڪٽو انڊيڪس | نمبر=2.2878/Ne=2.2033 @632nm موج جي ڊيگهه/پرزم ڪپلر طريقو. |
| آلودگي، | ڪو به نه | |
| ذرڙا سي> 0.3μ m | <= 30 | |
| ڇڪڻ، چِپڻ | ڪو به نه | |
| عيب | ڪابه ڪنارن تي دراڙ، ڇِڪ، آري جا نشان، داغ نه آهن | |
| پيڪنگنگ | مقدار/ويفر باڪس | 25 پي سي في دٻو |
استعمال جا ڪيس
ان جي ورسٽائلٽي ۽ ڪارڪردگي جي ڪري، LNOI ڪيترن ئي صنعتن ۾ استعمال ٿيندو آهي:
فوٽونڪس:ڪمپيڪٽ ماڊيوليٽر، ملٽي پلڪسر، ۽ فوٽونڪ سرڪٽ.
آر ايف/صوتيات:ايڪوسٽو-آپٽڪ ماڊيوليٽر، آر ايف فلٽر.
ڪوانٽم ڪمپيوٽنگ:نان لائنر فريڪوئنسي مکسر ۽ فوٽون-پئر جنريٽر.
دفاع ۽ خلائي:گھٽ نقصان وارا آپٽيڪل گائرو، فريڪوئنسي شفٽنگ ڊوائيسز.
طبي آلات:آپٽيڪل بايوسينسر ۽ اعليٰ فريڪوئنسي سگنل پروبس.
سوال
سوال: آپٽيڪل سسٽم ۾ SOI تي LNOI کي ڇو ترجيح ڏني ويندي آهي؟
A:LNOI ۾ اعليٰ اليڪٽرو-آپٽڪ ڪوئفيشينٽس ۽ وسيع شفافيت جي حد آهي، جيڪا فوٽونڪ سرڪٽس ۾ اعليٰ ڪارڪردگي کي فعال بڻائي ٿي.
سوال: ڇا ورهائڻ کان پوءِ سي ايم پي لازمي آهي؟
A:ها. آئن-سلائسنگ کان پوءِ ظاهر ٿيل LN مٿاڇري خراب آهي ۽ آپٽيڪل-گريڊ وضاحتن کي پورو ڪرڻ لاءِ پالش ڪرڻ ضروري آهي.
سوال: وڌ ۾ وڌ ويفر سائيز ڇا موجود آهي؟
A:ڪمرشل LNOI ويفر بنيادي طور تي 3 انچ ۽ 4 انچ جا آهن، جيتوڻيڪ ڪجهه سپلائرز 6 انچ جي مختلف قسمن کي ترقي ڪري رهيا آهن.
سوال: ڇا ايل اين پرت کي ورهائڻ کان پوءِ ٻيهر استعمال ڪري سگهجي ٿو؟
A:بنيادي ڪرسٽل کي ڪيترائي ڀيرا ٻيهر پالش ۽ ٻيهر استعمال ڪري سگهجي ٿو، جيتوڻيڪ معيار ڪيترن ئي چڪرن کان پوءِ خراب ٿي سگهي ٿو.
سوال: ڇا LNOI ويفرز CMOS پروسيسنگ سان مطابقت رکن ٿا؟
A:ها، اهي روايتي سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ جي عملن سان مطابقت رکڻ لاءِ ٺاهيا ويا آهن، خاص طور تي جڏهن سلڪون سبسٽريٽ استعمال ڪيا وڃن.
