LiTaO3 ويفر 2 انچ-8 انچ 10x10x0.5 ملي ميٽر 1sp 2sp 5G/6G ڪميونيڪيشن لاءِ
ٽيڪنيڪل پيراگراف
| نالو | آپٽيڪل گريڊ LiTaO3 | آواز جي ٽيبل جي سطح LiTaO3 |
| محوري | Z ڪٽ + / - 0.2 ° | 36 ° Y ڪٽ / 42 ° Y ڪٽ / X ڪٽ (+ / - 0.2 °) |
| قطر | 76.2 ملي ميٽر + / - 0.3 ملي ميٽر/ 100±0.2 ملي ميٽر | 76.2 ملي ميٽر + /-0.3 ملي ميٽر 100 ملي ميٽر + /-0.3 ملي ميٽر 0r 150±0.5 ملي ميٽر |
| ڊيٽم جهاز | 22 ملي ميٽر + / - 2 ملي ميٽر | 22 ملي ميٽر + /-2 ملي ميٽر 32 ملي ميٽر + /-2 ملي ميٽر |
| ٿولهه | 500um + /-5mm 1000um + /-5mm | 500um + /-20mm 350um + /-20mm |
| ٽي ٽي وي | ≤ 10 ن | ≤ 10 ن |
| ڪيوري گرمي پد | 605 °C + / - 0.7 °C (ڊي ٽي اي طريقو) | 605 °C + / -3 °C (ڊي ٽي اي طريقو) |
| مٿاڇري جو معيار | ٻه طرفي پالش ڪرڻ | ٻه طرفي پالش ڪرڻ |
| چمفرڊ ڪنڊا | ڪنڊ گول ڪرڻ | ڪنڊ گول ڪرڻ |
اهم خاصيتون
1. بجلي ۽ آپٽيڪل ڪارڪردگي
· اليڪٽرو-آپٽڪ ڪوفيشينٽ: r33 30 pm/V (X-cut) تائين پهچي ٿو، LiNbO3 کان 1.5× وڌيڪ، الٽرا وائڊ بينڊ اليڪٽرو-آپٽڪ ماڊوليشن (> 40 GHz بينڊوڊٿ) کي فعال ڪري ٿو.
· وسيع اسپيڪٽرل جواب: ٽرانسميشن رينج 0.4–5.0 μm (8 ملي ميٽر ٿولهه)، الٽراوائليٽ جذب ڪرڻ واري ڪنڊ سان 280 nm تائين گهٽ، UV ليزر ۽ ڪوانٽم ڊاٽ ڊوائيسز لاءِ مثالي.
· گھٽ پائرو اليڪٽرڪ ڪوفيشينٽ: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K)، اعليٰ درجه حرارت وارن انفراريڊ سينسرز ۾ استحڪام کي يقيني بڻائي ٿو.
2. حرارتي ۽ مشيني خاصيتون
· اعليٰ حرارتي چالکائي: 4.6 W/m·K (X-ڪٽ)، ڪوارٽز کان چوگنا، -200–500°C حرارتي سائيڪلنگ کي برقرار رکي ٿو.
· گھٽ حرارتي توسيع ڪوفيشيٽ: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C)، حرارتي دٻاءُ کي گھٽ ڪرڻ لاءِ سلڪون پيڪنگنگ سان مطابقت رکندڙ.
3. خرابي ڪنٽرول ۽ پروسيسنگ جي درستگي
· مائڪروپائپ کثافت: <0.1 cm⁻² (8 انچ ويفر)، ڊسلوڪيشن کثافت <500 cm⁻² (KOH ايچنگ ذريعي تصديق ٿيل).
· مٿاڇري جي معيار: سي ايم پي-پالش ٿيل Ra <0.5 nm تائين، EUV لٿوگرافي-گريڊ فليٽ جي گهرجن کي پورو ڪندي.
اهم ايپليڪيشنون
| ڊومين | ايپليڪيشن منظرنامو | ٽيڪنيڪل فائدا |
| آپٽيڪل ڪميونيڪيشنز | 100G/400G DWDM ليزر، سلڪون فوٽونڪس هائبرڊ ماڊلز | LiTaO3 ويفر جي وسيع اسپيڪٽرل ٽرانسميشن ۽ گهٽ ويو گائيڊ نقصان (α <0.1 dB/cm) سي-بينڊ جي توسيع کي فعال ڪن ٿا. |
| 5G/6G ڪميونيڪيشن | SAW فلٽر (1.8–3.5 GHz)، BAW-SMR فلٽر | 42°Y-ڪٽ ويفرز Kt² >15% حاصل ڪن ٿا، گهٽ داخل ڪرڻ جو نقصان (<1.5 dB) ۽ وڌيڪ رول آف (>30 dB) پهچائين ٿا. |
| ڪوانٽم ٽيڪنالاجيز | سنگل-فوٽن ڊيٽيڪٽر، پيراميٽرڪ ڊائون-ڪنورشن ذريعا | اعليٰ غير لڪير ڪوئفيشينٽ (χ(2)=40 pm/V) ۽ گهٽ ڊارڪ ڳڻپ جي شرح (<100 ڳڻپ/s) ڪوانٽم وفاداري کي وڌائين ٿا. |
| صنعتي سينسنگ | تيز گرمي پد جي دٻاءُ جا سينسر، ڪرنٽ ٽرانسفارمر | LiTaO3 ويفر جو پائيزو اليڪٽرڪ جواب (g33 >20 mV/m) ۽ اعليٰ درجه حرارت جي رواداري (>400°C) انتهائي ماحول لاءِ موزون آهي. |
ايڪس ڪي ايڇ سروسز
1. ڪسٽم ويفر ٺاھڻ
· سائيز ۽ ڪٽنگ: 2-8 انچ ويفرز X/Y/Z-ڪٽ، 42°Y-ڪٽ، ۽ ڪسٽم اينگولر ڪٽ (±0.01° برداشت) سان.
· ڊوپنگ ڪنٽرول: اليڪٽررو آپٽڪ ڪوئفيشينٽس ۽ حرارتي استحڪام کي بهتر بڻائڻ لاءِ ڪزوڪرالسڪي طريقي سان Fe، Mg ڊوپنگ (ڪنسنٽريشن رينج 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³).
2. ترقي يافته عمل ٽيڪنالاجيون
· پيريڊڪ پولنگ (PPLT): LTOI ويفرز لاءِ سمارٽ ڪٽ ٽيڪنالاجي، ±10 nm ڊومين پيريڊ پريسيسي ۽ ڪواسي فيز ميچڊ (QPM) فريڪوئنسي ڪنورشن حاصل ڪندي.
· متضاد انضمام: Si-based LiTaO3 جامع ويفرز (POI) ٿلهي ڪنٽرول (300-600 nm) ۽ 8.78 W/m·K تائين حرارتي چالکائي سان هاءِ فريڪوئنسي SAW فلٽرن لاءِ.
3. معيار جي انتظام جا نظام
· آخر کان آخر تائين جاچ: رامن اسپيڪٽروسڪوپي (پوليٽائپ تصديق)، ايڪس آر ڊي (ڪرسٽالنيٽي)، اي ايف ايم (مٿاڇري مورفولوجي)، ۽ آپٽيڪل يونيفارمي ٽيسٽنگ (Δn <5×10⁻⁵).
4. گلوبل سپلائي چين سپورٽ
· پيداوار جي گنجائش: ماهوار پيداوار> 5,000 ويفرز (8 انچ: 70٪)، 48 ڪلاڪن جي ايمرجنسي پهچائڻ سان.
· لاجسٽڪ نيٽ ورڪ: يورپ، اتر آمريڪا، ۽ ايشيا-پئسفڪ ۾ ڪوريج هوائي/سمنڊ جي مال برداري ذريعي گرمي پد تي ڪنٽرول ٿيل پيڪنگنگ سان.
