سيمي ڪنڊڪٽر، فوٽونڪس آپٽيڪل ايپليڪيشنن لاءِ اعليٰ پاڪائي وارا فيوز ٿيل ڪوارٽز ويفر 2″4″6″8″12″
تفصيلي ڊاگرام
کوارٽز شيشي جو جائزو
ڪوارٽز ويفرز بيشمار جديد ڊوائيسز جي ريڙهه جي هڏي جي حيثيت رکن ٿا جيڪي اڄ جي ڊجيٽل دنيا کي هلائين ٿا. توهان جي اسمارٽ فون ۾ نيويگيشن کان وٺي 5G بيس اسٽيشنن جي ريڙهه جي هڏي تائين، ڪوارٽز خاموشي سان اعليٰ ڪارڪردگي واري اليڪٽرانڪس ۽ فوٽونڪس ۾ گهربل استحڪام، پاڪائي ۽ درستگي فراهم ڪري ٿو. ڇا لچڪدار سرڪٽري کي سپورٽ ڪرڻ، MEMS سينسرز کي فعال ڪرڻ، يا ڪوانٽم ڪمپيوٽنگ لاءِ بنياد ٺاهڻ، ڪوارٽز جون منفرد خاصيتون ان کي صنعتن ۾ ناگزير بڻائين ٿيون.
"فيوزڊ سليڪا" يا "فيوزڊ ڪوارٽز" جيڪو ڪوارٽز (SiO2) جو بي شڪل مرحلو آهي. جڏهن بوروسيليڪٽ شيشي جي مقابلي ۾، فيوزڊ سليڪا ۾ ڪو به اضافو نه هوندو آهي؛ تنهن ڪري اهو پنهنجي خالص شڪل، SiO2 ۾ موجود آهي. عام شيشي جي مقابلي ۾ فيوزڊ سليڪا ۾ انفراريڊ ۽ الٽراوائليٽ اسپيڪٽرم ۾ وڌيڪ ٽرانسميشن هوندي آهي. فيوزڊ سليڪا الٽرا پيور SiO2 کي پگھلائڻ ۽ ٻيهر مضبوط ڪرڻ سان پيدا ڪئي ويندي آهي. ٻئي طرف، مصنوعي فيوزڊ سليڪا سليڪون سان مالا مال ڪيميائي اڳڪٿين جهڙوڪ SiCl4 مان ٺاهيو ويندو آهي جيڪي گيس ٿيل آهن ۽ پوءِ H2 + O2 ماحول ۾ آڪسائيڊ ٿيل آهن. هن صورت ۾ ٺهيل SiO2 مٽي کي سبسٽريٽ تي سليڪا سان ملائي ڇڏيو ويندو آهي. فيوزڊ سليڪا بلاڪ کي ويفرز ۾ ڪٽيو ويندو آهي جنهن کان پوءِ ويفرز کي آخرڪار پالش ڪيو ويندو آهي.
ڪوارٽز گلاس ويفر جون اهم خاصيتون ۽ فائدا
-
انتهائي اعليٰ پاڪائي (≥99.99% SiO2)
الٽرا-ڪلين سيمي ڪنڊڪٽر ۽ فوٽونڪس عملن لاءِ مثالي جتي مواد جي آلودگي کي گھٽ ۾ گھٽ ڪرڻ گهرجي. -
وسيع حرارتي آپريٽنگ رينج
بناوت جي سالميت کي برقرار رکي ٿو ڪرائيوجينڪ گرمي پد کان وٺي 1100 °C کان مٿي تائين بغير وارپنگ يا خراب ٿيڻ جي. -
شاندار UV ۽ IR ٽرانسميشن
ڊيپ الٽراوائليٽ (DUV) کان ويجهي انفراريڊ (NIR) ذريعي بهترين آپٽيڪل وضاحت فراهم ڪري ٿو، درست آپٽيڪل ايپليڪيشنن جي مدد ڪري ٿو. -
گھٽ حرارتي توسيع ڪوئفيشينٽ
گرمي پد جي اتار چڙهاؤ هيٺ طول و عرض جي استحڪام کي وڌائي ٿو، دٻاءُ گهٽائي ٿو ۽ عمل جي اعتبار کي بهتر بڻائي ٿو. -
اعليٰ ڪيميائي مزاحمت
گھڻن تيزابن، الڪليس ۽ محلولن لاءِ غير فعال - ان کي ڪيميائي طور تي جارحاڻي ماحول لاءِ مناسب بڻائي ٿو. -
مٿاڇري جي ختم ڪرڻ جي لچڪ
الٽرا-سموٿ، سنگل-سائيڊ يا ڊبل-سائيڊ پالش ٿيل فنشز سان دستياب، فوٽونڪس ۽ MEMS گهرجن سان مطابقت رکندڙ.
ڪوارٽز گلاس ويفر جي پيداوار جو عمل
فيوز ٿيل ڪوارٽز ويفرز ڪنٽرول ٿيل ۽ صحيح قدمن جي هڪ سلسلي ذريعي تيار ڪيا ويندا آهن:
-
خام مال جي چونڊ
اعليٰ پاڪائي واري قدرتي ڪوارٽز يا مصنوعي SiO₂ ذريعن جو انتخاب. -
پگھلڻ ۽ فيوزن
ڪوارٽز کي برقي ڀٽن ۾ ~2000°C تي ڪنٽرول ٿيل ماحول ۾ ڳاريو ويندو آهي ته جيئن شموليت ۽ بلبلن کي ختم ڪري سگهجي. -
بلاڪ ٺهڻ
پگھريل سليڪا کي ٿڌو ڪري مضبوط بلاڪن يا انگوٽ ۾ تبديل ڪيو ويندو آهي. -
ويفر سلائسنگ
ويفر بلينڪس ۾ ٽنگن کي ڪٽڻ لاءِ پريزين هيرا يا تار آري استعمال ڪيا ويندا آهن. -
ليپنگ ۽ پالش ڪرڻ
ٻنهي مٿاڇري کي صحيح آپٽيڪل، ٿولهه، ۽ ڪڙڇيءَ جي وضاحتن کي پورو ڪرڻ لاءِ برابر ۽ پالش ڪيو ويو آهي. -
صفائي ۽ چڪاس
ويفرز کي ISO ڪلاس 100/1000 ڪلين رومز ۾ صاف ڪيو ويندو آهي ۽ خرابين ۽ طول و عرض جي مطابقت لاءِ سخت معائنو ڪيو ويندو آهي.
ڪوارٽز گلاس ويفر جون خاصيتون
| وضاحت | يونٽ | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| قطر / سائيز (يا چورس) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| رواداري (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| ٿولهه | mm | 0.10 يا وڌيڪ | 0.30 يا وڌيڪ | 0.40 يا وڌيڪ | 0.50 يا وڌيڪ | 0.50 يا وڌيڪ |
| پرائمري ريفرنس فليٽ | mm | 32.5 | 57.5 | نيم نشان وارو | نيم نشان وارو | نيم نشان وارو |
| ايل ٽي وي (5 ملي ميٽر × 5 ملي ميٽر) | مائڪرون | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| ٽي ٽي وي | مائڪرون | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| ڪمان | مائڪرون | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| وارپ | مائڪرون | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| پي ايل ٽي وي (5 ملي ميٽر × 5 ملي ميٽر) < 0.4μm | % | ≥95٪ | ≥95٪ | ≥95٪ | ≥95٪ | ≥95٪ |
| ڪنڊ گول ڪرڻ | mm | SEMI M1.2 معيار سان مطابقت رکندڙ / IEC62276 جو حوالو ڏيو | ||||
| مٿاڇري جو قسم | سنگل سائڊ پالش ٿيل / ڊبل سائڊ پالش ٿيل | |||||
| پالش ٿيل پاسو را | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| پوئين پاسي جو معيار | مائڪرون | عام 0.2-0.7 يا ترتيب ڏنل | ||||
ڪوارٽز بمقابله ٻيا شفاف مواد
| ملڪيت | کوارٽز گلاس | بوروسيليڪٽ گلاس | نيلم | معياري شيشو |
|---|---|---|---|---|
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد | ~1100°C | ~ 500 ° سي | ~2000 °C | ~200 °C |
| يو وي ٽرانسميشن | بهترين (JGS1) | غريب | سٺو | تمام خراب |
| ڪيميائي مزاحمت | بهترين | وچولي | بهترين | غريب |
| پاڪائي | انتهائي اعليٰ | گھٽ کان وچولي | هاءِ | گهٽ |
| حرارتي واڌارو | تمام گهٽ | وچولي | گهٽ | هاءِ |
| قيمت | وچولي کان وڌيڪ | گهٽ | هاءِ | تمام گهٽ |
ڪوارٽز گلاس ويفر جا سوال
سوال 1: فيوز ٿيل ڪوارٽز ۽ فيوز ٿيل سليڪا ۾ ڇا فرق آهي؟
جڏهن ته ٻئي SiO₂ جون بي شڪل شڪلون آهن، فيوز ٿيل ڪوارٽز عام طور تي قدرتي ڪوارٽز ذريعن مان نڪرندو آهي، جڏهن ته فيوز ٿيل سليڪا مصنوعي طور تي پيدا ڪئي ويندي آهي. فنڪشنل طور تي، اهي ساڳي ڪارڪردگي پيش ڪن ٿا، پر فيوز ٿيل سليڪا ۾ ٿوري وڌيڪ پاڪائي ۽ هڪجهڙائي ٿي سگهي ٿي.
سوال 2: ڇا فيوز ٿيل ڪوارٽز ويفرز کي هاءِ ويڪيوم ماحول ۾ استعمال ڪري سگهجي ٿو؟
ها. انهن جي گهٽ گيسنگ خاصيتن ۽ اعلي حرارتي مزاحمت جي ڪري، فيوز ٿيل ڪوارٽز ويفر ويڪيوم سسٽم ۽ ايرو اسپيس ايپليڪيشنن لاءِ بهترين آهن.
سوال 3: ڇا اهي ويفر ڊيپ-يو وي ليزر ايپليڪيشنن لاءِ موزون آهن؟
بلڪل. فيوز ٿيل ڪوارٽز ۾ ~185 nm تائين اعليٰ ٽرانسميشن آهي، جيڪا ان کي DUV آپٽڪس، لٿوگرافي ماسڪ، ۽ ايڪسائيمر ليزر سسٽم لاءِ مثالي بڻائي ٿي.
سوال 4: ڇا توهان ڪسٽم ويفر ٺاھڻ جي حمايت ڪريو ٿا؟
ها. اسان توهان جي مخصوص ايپليڪيشن گهرجن جي بنياد تي قطر، ٿولهه، مٿاڇري جي معيار، فليٽ/ناچ، ۽ ليزر پيٽرننگ سميت مڪمل ڪسٽمائيزيشن پيش ڪندا آهيون.
اسان جي باري ۾
XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوج جي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز بڻجڻ جو مقصد.
