مڪمل طور تي خودڪار ويفر رنگ ڪٽڻ جو سامان ڪم ڪندڙ سائيز 8 انچ/12 انچ ويفر رنگ ڪٽڻ

مختصر وضاحت:

XKH آزاديءَ سان هڪ مڪمل طور تي خودڪار ويفر ايج ٽرمنگ سسٽم تيار ڪيو آهي، جيڪو فرنٽ-اينڊ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عملن لاءِ ٺهيل هڪ جديد حل جي نمائندگي ڪري ٿو. هي سامان جديد ملٽي-ايڪسس سنڪرونس ڪنٽرول ٽيڪنالاجي کي شامل ڪري ٿو ۽ هڪ اعليٰ سختي واري اسپنڊل سسٽم (وڌ ۾ وڌ گردش جي رفتار: 60,000 RPM) جي خاصيت رکي ٿو، جيڪو ±5μm تائين ڪٽڻ جي درستگي سان درست ايج ٽرمنگ پهچائي ٿو. سسٽم مختلف سيمي ڪنڊڪٽر سبسٽريٽس سان بهترين مطابقت جو مظاهرو ڪري ٿو، جنهن ۾ شامل آهن پر محدود نه آهن:
1. سلڪون ويفرز (Si): 8-12 انچ ويفرز جي ايج پروسيسنگ لاءِ موزون؛
2. مرڪب سيمي ڪنڊڪٽر: ٽئين نسل جا سيمي ڪنڊڪٽر مواد جهڙوڪ GaAs ۽ SiC؛
3. خاص ذيلي ذخيرا: پيزو اليڪٽرڪ مواد ويفرز جن ۾ LT/LN شامل آهن؛

ماڊيولر ڊيزائن ڪيترن ئي استعمال ٿيندڙ شين جي تيزيءَ سان متبادل جي حمايت ڪري ٿو جن ۾ هيرا بليڊ ۽ ليزر ڪٽنگ هيڊ شامل آهن، مطابقت صنعت جي معيارن کان وڌيڪ آهي. خاص عمل جي گهرجن لاءِ، اسان جامع حل فراهم ڪندا آهيون جنهن ۾ شامل آهن:
· وقف ٿيل ڪٽڻ واري استعمال جي سامان جي فراهمي
· ڪسٽم پروسيسنگ سروسز
· پروسيس پيرا ميٽر اصلاح حل

اسان کي اي ميل موڪليو

خاصيتون

ٽيڪنيڪل پيراگراف

پيرا ميٽر	يونٽ	وضاحت
وڌ ۾ وڌ ورڪ پيس سائيز	mm	ø12"
اسپنڊل	ترتيب	سنگل اسپنڊل
	رفتار	3,000-60,000 آر پي ايم
	آئوٽ پُٽ پاور	1.8 ڪلوواٽ (2.4 اختياري) 30,000 منٽ تي⁻¹
	وڌ ۾ وڌ بليڊ ڊيا.	Ø58 ملي ميٽر
ايڪس محور	ڪٽڻ جي حد	310 ملي ميٽر
Y-محور	ڪٽڻ جي حد	310 ملي ميٽر
	قدم وڌائڻ	0.0001 ملي ميٽر
	پوزيشن جي درستگي	≤0.003 ملي ميٽر/310 ملي ميٽر، ≤0.002 ملي ميٽر/5 ملي ميٽر (هڪ غلطي)
زي-محور	تحريڪ جو حل	0.00005 ملي ميٽر
زي-محور	ورجائي سگهڻ	0.001 ملي ميٽر
θ-محور	وڌ ۾ وڌ گردش	380 درجا
اسپنڊل جو قسم		سنگل اسپنڊل، رنگ ڪٽڻ لاءِ سخت بليڊ سان ليس
انگوزي ڪٽڻ جي درستگي	مائڪرون	±50
ويفر پوزيشننگ جي درستگي	مائڪرون	±50
سنگل-ويفر ڪارڪردگي	منٽ/ويفر	8
ملٽي ويفر ڪارڪردگي		هڪ ئي وقت تي 4 ويفرز تائين پروسيس ٿيل
سامان جو وزن	kg	≈3,200
سامان جا طول و عرض (W×D×H)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

آپريٽنگ اصول

هي نظام انهن بنيادي ٽيڪنالاجين ذريعي غير معمولي ٽرمنگ ڪارڪردگي حاصل ڪري ٿو:

1. ذهين حرڪت ڪنٽرول سسٽم:
· اعليٰ درستگي واري لڪير موٽر ڊرائيو (پوزيشن جي درستگي کي ورجايو: ±0.5μm)
· ڇهن محورن جو هم وقت ساز ڪنٽرول پيچيده رفتار جي منصوبابندي جي حمايت ڪري ٿو.
· ريئل ٽائيم وائبريشن سپپريشن الگورتھم جيڪي ڪٽڻ جي استحڪام کي يقيني بڻائين ٿا

2. ترقي يافته ڳولا وارو نظام:
· مربوط 3D ليزر اوچائي سينسر (درستگي: 0.1μm)
· هاءِ ريزوليوشن سي سي ڊي بصري پوزيشننگ (5 ميگا پڪسل)
· آن لائن معيار جي چڪاس جو ماڊيول

3. مڪمل طور تي خودڪار عمل:
· خودڪار لوڊنگ/ان لوڊنگ (FOUP معياري انٽرفيس سان مطابقت رکندڙ)
· ذهين ترتيب ڏيڻ وارو نظام
· بند لوپ صفائي يونٽ (صفائي: ڪلاس 10)

عام ايپليڪيشنون

هي سامان سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي ايپليڪيشنن ۾ اهم قدر فراهم ڪري ٿو:

ايپليڪيشن فيلڊ	پروسيس مواد	ٽيڪنيڪل فائدا
آئي سي جي پيداوار	8/12" سلڪون ويفرز	لٿوگرافي جي ترتيب کي بهتر بڻائي ٿو
بجلي جا آلات	سي سي/گي اين ويفرز	ڪنارن جي خرابين کي روڪي ٿو
ايم اي ايم ايس سينسرز	ايس او آءِ ويفرز	ڊوائيس جي اعتبار کي يقيني بڻائي ٿو
آر ايف ڊوائيسز	GaAs ويفرز	اعليٰ تعدد جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿو
ترقي يافته پيڪنگنگ	ٻيهر ٺهيل ويفرز	پيڪنگ جي پيداوار وڌائي ٿو

خاصيتون

1. اعليٰ پروسيسنگ ڪارڪردگي لاءِ چار اسٽيشن جي ترتيب؛
2. مستحڪم TAIKO رنگ ڊيبانڊنگ ۽ هٽائڻ؛
3. اهم استعمال جي شين سان اعليٰ مطابقت؛
4. ملٽي محور هم وقت ساز ٽرمنگ ٽيڪنالاجي درست ڪنڊ ڪٽڻ کي يقيني بڻائي ٿي؛
5. مڪمل طور تي خودڪار عمل جي وهڪري مزدوري جي قيمتن کي گهٽائي ٿي؛
6. ڪسٽمائيز ورڪ ٽيبل ڊيزائن خاص ڍانچي جي مستحڪم پروسيسنگ کي قابل بڻائي ٿو؛

ڪم

1. رنگ-ڊراپ ڳولڻ وارو نظام؛
2. خودڪار ڪم جي ٽيبل جي صفائي؛
3. ذهين UV ڊيبانڊنگ سسٽم؛
4. آپريشن لاگ رڪارڊنگ؛
5. فيڪٽري آٽوميشن ماڊيول انٽيگريشن؛

خدمت جي وابستگي

XKH جامع، مڪمل لائف سائيڪل سپورٽ سروسز فراهم ڪري ٿو جيڪي توهان جي پيداوار جي سفر دوران سامان جي ڪارڪردگي ۽ آپريشنل ڪارڪردگي کي وڌائڻ لاءِ ٺهيل آهن.
1. ڪسٽمائيزيشن خدمتون
· ترتيب ڏنل سامان جي ترتيب: اسان جي انجنيئرنگ ٽيم گراهڪن سان ويجهي تعاون ڪري ٿي ته جيئن مخصوص مواد جي خاصيتن (Si/SiC/GaAs) ۽ عمل جي گهرجن جي بنياد تي سسٽم پيرا ميٽرز (ڪٽڻ جي رفتار، بليڊ جي چونڊ، وغيره) کي بهتر بڻائي سگهجي.
· پروسيس ڊولپمينٽ سپورٽ: اسان تفصيلي تجزياتي رپورٽن سان نموني پروسيسنگ پيش ڪندا آهيون جنهن ۾ ڪنڊ جي خرابي جي ماپ ۽ خرابي جي نقشي شامل آهي.
· استعمال ٿيندڙ شين جي گڏيل ترقي: نئين مواد لاءِ (مثال طور، Ga₂O₃)، اسان معروف استعمال ٿيندڙ ٺاهيندڙن سان ڀائيواري ڪريون ٿا ته جيئن ايپليڪيشن-مخصوص بليڊ/ليزر آپٽڪس تيار ڪري سگهجن.

2. پيشيورانه ٽيڪنيڪل سپورٽ
· وقف ٿيل آن سائيٽ سپورٽ: تصديق ٿيل انجنيئرن کي نازڪ ريمپ اپ مرحلن (عام طور تي 2-4 هفتا) لاءِ مقرر ڪريو، جنهن ۾ شامل آهن:
سامان جي ڪيليبريشن ۽ عمل جي فائن ٽيوننگ
آپريٽر جي صلاحيت جي تربيت
ISO ڪلاس 5 ڪلين روم انٽيگريشن گائيڊنس
· اڳڪٿي واري سار سنڀال: غير منصوبابندي ڪيل بند وقت کي روڪڻ لاءِ وائبريشن تجزيي ۽ سروو موٽر تشخيص سان ٽه ماهي صحت جي چڪاس.
· ريموٽ مانيٽرنگ: اسان جي IoT پليٽ فارم (JCFront Connect®) ذريعي خودڪار انوملي الرٽس سان ريئل ٽائيم سامان جي ڪارڪردگي ٽريڪنگ.

3. ويليو ايڊڊ سروسز
· عمل جي ڄاڻ جو بنياد: مختلف مواد لاءِ 300+ تصديق ٿيل ڪٽڻ جي ترڪيبون تائين رسائي حاصل ڪريو (ٽه ماهي اپڊيٽ ٿيل).
· ٽيڪنالاجي روڊ ميپ الائنمينٽ: هارڊويئر/سافٽ ويئر اپ گريڊ رستن (مثال طور، AI تي ٻڌل خرابي جي سڃاڻپ ماڊل) سان پنهنجي سيڙپڪاري کي مستقبل لاءِ محفوظ بڻايو.
· ايمرجنسي رسپانس: 4 ڪلاڪ ريموٽ تشخيص ۽ 48 ڪلاڪ آن سائيٽ مداخلت جي ضمانت (عالمي ڪوريج).

4. سروس انفراسٽرڪچر
· ڪارڪردگي جي ضمانت: SLA جي مدد سان جوابي وقتن سان ≥98٪ سامان جي اپ ٽائم لاءِ معاهدي جي وابستگي.

مسلسل بهتري

اسين هر ٻن سالن ۾ گراهڪ جي اطمينان جي سروي ڪندا آهيون ۽ سروس ڊليوري کي وڌائڻ لاءِ ڪائيزن جي شروعاتن کي لاڳو ڪندا آهيون. اسان جي آر اينڊ ڊي ٽيم فيلڊ بصيرت کي سامان جي اپ گريڊ ۾ ترجمو ڪري ٿي - فرم ويئر جي بهتري جو 30٪ ڪلائنٽ جي موٽ مان نڪرندو آهي.