جيئن وڌايل نيلم بول انگوٽ ڪرسٽل ڪي طريقو
تفصيلي ڊاگرام
جائزو
A نيلم بُولايلومينيم آڪسائيڊ (Al₂O₃) جو هڪ وڏو، جيئن وڌايل سنگل ڪرسٽل آهي جيڪو نيلم ويفرز، آپٽيڪل ونڊوز، لباس مزاحمتي حصن، ۽ جواهر ڪٽڻ لاءِ اپ اسٽريم فيڊ اسٽاڪ طور ڪم ڪري ٿو. سانموهس 9 سختي, بهترين حرارتي استحڪام(پگھلڻ جو نقطو ~ 2050 °C)، ۽براڊبينڊ شفافيتUV کان وچ IR تائين، نيلم هڪ معيار وارو مواد آهي جتي استحڪام، صفائي، ۽ نظري معيار گڏ هجڻ گهرجن.
اسين صنعت جي ثابت ٿيل واڌ جي طريقن سان تيار ڪيل بي رنگ ۽ ڊوپڊ نيلم بول فراهم ڪندا آهيون، جن لاءِ بهتر ڪيل آهيGaN/AlGaN ايپيٽيڪسي, درست آپٽڪس، ۽اعليٰ اعتبار وارا صنعتي جزا.
اسان کان نيلم بول ڇو؟
-
ڪرسٽل معيار پهريون:گھٽ اندروني دٻاءُ، گھٽ بلبلا/اسٽريائي مواد، ڊائون اسٽريم سلائسنگ ۽ ايپيٽيڪسي لاءِ سخت رخ ڪنٽرول.
-
عمل جي لچڪ:توهان جي درخواست لاءِ سائيز، دٻاءُ، ۽ قيمت کي متوازن ڪرڻ لاءِ KY/HEM/CZ/Verneuil واڌ جا اختيار.
-
اسڪيلبل جاميٽري:سلنڈر نما، گاجر جي شڪل، يا بلاڪ بولز ڪسٽم فليٽ، ٻج/آخري علاج، ۽ ريفرنس پلن سان.
-
ڳولهي سگهجي ٿو ۽ ورجائي سگهجي ٿو:بيچ ريڪارڊ، ميٽرولوجي رپورٽون، ۽ قبوليت جا معيار توهان جي وضاحت سان ترتيب ڏنل آهن.
واڌ ٽيڪنالاجيون
-
ڪينٽ (ڪيروپولوس):وڏا قطر وارا، گهٽ دٻاءُ وارا بول؛ ايپي گريڊ ويفرز ۽ آپٽڪس لاءِ پسنديده آهن جتي بائيرفرنجنس يونيفارمي اهم آهي.
-
HEM (گرمي مٽائڻ جو طريقو):بهترين حرارتي گريڊينٽس ۽ دٻاءُ ڪنٽرول؛ ٿلهي آپٽڪس ۽ پريميئم ايپي فيڊ اسٽاڪ لاءِ پرڪشش.
-
سي زي (چزوڪرالسڪي):واقفيت ۽ پيداوار جي صلاحيت جو مضبوط ڪنٽرول؛ مسلسل، اعليٰ پيداوار واري سلائسنگ لاءِ سٺو انتخاب.
-
ورنيوئل (شعلا-فيوژن):قيمت-موثر، اعلي ٿرو پُٽ؛ عام آپٽڪس، ميڪيڪل حصن، ۽ جيم پريفارمز لاءِ موزون.
ڪرسٽل اورينٽيشن، جاميٽري ۽ سائيز
-
معياري رخ: سي-پلين (0001), هڪ-جهاز (11-20), آر-پلين (1-102), ايم-پلين (10-10)؛ ڪسٽم جهاز موجود آهن.
-
رخ جي درستگي:≤ ±0.1° لاؤ/ايڪس آر ڊي طرفان (درخواست تي سخت).
-
شڪلون:سلنڈر يا گاجر جي قسم جا بول، چورس/مستطيل بلاڪ، ۽ راڊ.
-
عام سائيز جو لفافو: Ø30–220 ملي ميٽر, ڊيگهه 50-400 ملي ميٽر(آرڊر تي وڏو/ ننڍو ٺهيل).
-
اختتام/حوالو خاصيتون:ٻج/آخري منهن جي مشيننگ، ريفرنس فليٽ/ناچ، ۽ ڊائون اسٽريم الائنمينٽ لاءِ فيڊيوشيل.
مواد ۽ بصري خاصيتون
-
مرکب:سنگل-ڪرسٽل Al₂O₃، خام مال جي پاڪائي ≥ 99.99%.
-
کثافت:~3.98 گرام/سينٽي ميٽر³
-
سختي:موهس 9
-
ريفريڪٽو انڊيڪس (589 nm): نₒ≈ 1.768،نₑ≈ 1.760 (منفي غير محوري؛ Δn ≈ 0.008)
-
ٽرانسميشن ونڊو: UV کان ~5 µm تائين(ٿلهائي ۽ نجاست تي منحصر)
-
حرارتي چالکائي (300 ڪلو):~25 ڊبليو · ميٽر · ڪ
-
سي ٽي اي (20-300 °سي):~5–8 × 10⁻⁶ /K (واقفيت تي منحصر)
-
ينگ جو ماڊيولس:~345 جي پي اي
-
بجلي:تمام گهڻي موصليت (حجم مزاحمت عام طور تي ≥ 10¹⁴ Ω·cm)
گريڊ ۽ آپشنز
-
ايپيٽيڪسي گريڊ:اعليٰ پيداوار واري GaN/AlGaN MOCVD ويفرز (2-8 انچ ۽ مٿي ڊائون اسٽريم) لاءِ الٽرا لو بلبلز/اسٽريا ۽ گھٽ ۾ گھٽ اسٽريس بائير فرينجنس.
-
آپٽيڪل گريڊ:ونڊوز، لينس، ۽ آئي آر ويو پورٽس لاءِ اعليٰ اندروني ٽرانسميشن ۽ هڪجهڙائي.
-
جنرل/مڪينيڪل گريڊ:واچ ڪرسٽل، بٽڻ، لباس جي حصن، ۽ هائوسنگ لاءِ پائيدار، قيمت جي لحاظ کان بهتر ڪيل فيڊ اسٽاڪ.
-
ڊوپنگ/رنگ:
-
بي رنگ(معياري)
ڪري: ال₂ او₃(روبي)،ٽي: آل₂ او₃(ٽي: نيلم) پرفارمس
درخواست تي ٻيا ڪروموفورس (Fe/Ti)
-
درخواستون
سيمي ڪنڊڪٽر: GaN LEDs، مائڪرو-LEDs، پاور HEMTs، RF ڊوائيسز (نيلم ويفر فيڊ اسٽاڪ) لاءِ سبسٽريٽ.
آپٽڪس ۽ فوٽونڪس: هاءِ-ٽيمپريچر/پريشر ونڊوز، آئي آر ويو پورٽس، ليزر ڪيوٽي ونڊوز، ڊيٽيڪٽر ڪَورز.
صارف ۽ پائڻ لائق شيون: واچ ڪرسٽل، ڪئميرا لينس ڪَوَر، فنگر پرنٽ سينسر ڪَوَر، پريميئم ٻاهرين حصا.
صنعتي ۽ هوائي جهاز: نوزل، والو سيٽون، سيل رِنگ، حفاظتي ونڊوز، ۽ مشاهدي بندرگاهن.
ليزر/ڪرسٽل واڌ: ڊوپڊ بولز مان ٽائي: نيلم ۽ روبي هوسٽ.
هڪ نظر ۾ ڊيٽا (عام، حوالي لاءِ)
| پيرا ميٽر | قدر (عام) |
|---|---|
| بناوت | سنگل-ڪرسٽل Al₂O₃ (≥ 99.99% پاڪائي) |
| رخ ڏيڻ | سي / اي / آر / ايم (درخواست تي ترتيب ڏنل) |
| انڊيڪس @ 589 nm | نₒ≈ 1.768،نₑ≈ 1.760 |
| ٽرانسميشن رينج | ~0.2–5 µm (ٿلهائي تي منحصر) |
| حرارتي چالکائي | ~25 ڊبليو · ميٽر · ڪ (300 ڪلو) |
| سي ٽي اي (20-300 °سي) | ~5–8 × 10⁻⁶/ڪلو ميٽر |
| ينگ جو ماڊيولس | ~345 جي پي اي |
| کثافت | ~3.98 گرام/سينٽي ميٽر³ |
| سختي | موهس 9 |
| بجلي | موصليت؛ حجم مزاحمت ≥ 10¹⁴ Ω·cm |
نيلم ويفر ٺاهڻ جو عمل
-
ڪرسٽل واڌ
اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا (Al₂O₃) کي ڳاريو ويندو آهي ۽ هڪ واحد نيلم ڪرسٽل انگوٽ ۾ وڌو ويندو آهيڪيوروپولوس (ڪينٽڪي) or چزوڪرالسڪي (CZ)طريقو. -
پِنگٽ پروسيسنگ
انٽ کي معياري شڪل ۾ مشين ڪيو ويندو آهي - ٽرمنگ، قطر جي شڪل ڏيڻ، ۽ آخر جي منهن جي پروسيسنگ. -
ڪٽڻ
نيلم جي انگوٽ کي پتلي ويفرن ۾ ڪٽيو ويندو آهي a استعمال ڪنديهيرن جي تار جو آرو. -
ٻه طرفي ليپنگ
ويفر جي ٻنهي پاسن کي آري جي نشانن کي هٽائڻ ۽ هڪجهڙي ٿولهه حاصل ڪرڻ لاءِ لپ ڪيو ويندو آهي. -
اينيلنگ
ويفرز کي گرمي سان علاج ڪيو ويندو آهي ته جيئناندروني دٻاءُ ڇڏڻ۽ ڪرسٽل جي معيار ۽ شفافيت کي بهتر بڻائي ٿو. -
ڪنڊ پيسڻ
وڌيڪ پروسيسنگ دوران چپنگ ۽ ٽٽڻ کان بچڻ لاءِ ويفر جي ڪنارن کي بيول ڪيو ويو آهي. -
وڇي
ويفرز کي ڪيريئرز يا هولڊرز تي صحيح پالش ڪرڻ ۽ چڪاس لاءِ لڳايو ويندو آهي. -
ڊي ايم پي (ڊبل سائڊڊ ميڪيڪل پالشنگ)
مٿاڇري جي همواري کي بهتر بڻائڻ لاءِ ويفر جي مٿاڇري کي ميڪانياتي طور تي پالش ڪيو ويندو آهي. -
سي ايم پي (ڪيميڪل ميڪيڪل پالشنگ)
ڪيميائي ۽ مشيني عملن کي گڏ ڪندي هڪ نفيس پالش ڪرڻ وارو قدمآئيني جهڙي مٿاڇري. -
بصري معائنو
آپريٽر يا خودڪار نظام نظر ايندڙ مٿاڇري جي خرابين جي جانچ ڪن ٿا. -
فليٽنس جو معائنو
طول و عرض جي درستگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ برابري ۽ ٿلهي جي هڪجهڙائي ماپي ويندي آهي. -
آر سي اي صفائي
معياري ڪيميائي صفائي نامياتي، ڌاتو، ۽ ذرات جي آلودگي کي ختم ڪري ٿي. -
اسڪربر جي صفائي
مشيني اسڪربنگ باقي خوردبيني ذرات کي هٽائي ٿي. -
مٿاڇري جي خرابي جو معائنو
خودڪار آپٽيڪل معائنو مائڪرو نقصن جهڙوڪ خراشون، کڏا، يا آلودگي کي ڳولي ٿو.
-
ڪرسٽل واڌ
اعليٰ پاڪائي واري ايلومينا (Al₂O₃) کي ڳاريو ويندو آهي ۽ هڪ واحد نيلم ڪرسٽل انگوٽ ۾ وڌو ويندو آهيڪيوروپولوس (ڪينٽڪي) or چزوڪرالسڪي (CZ)طريقو. -
پِنگٽ پروسيسنگ
انٽ کي معياري شڪل ۾ مشين ڪيو ويندو آهي - ٽرمنگ، قطر جي شڪل ڏيڻ، ۽ آخر جي منهن جي پروسيسنگ. -
ڪٽڻ
نيلم جي انگوٽ کي پتلي ويفرن ۾ ڪٽيو ويندو آهي a استعمال ڪنديهيرن جي تار جو آرو. -
ٻه طرفي ليپنگ
ويفر جي ٻنهي پاسن کي آري جي نشانن کي هٽائڻ ۽ هڪجهڙي ٿولهه حاصل ڪرڻ لاءِ لپ ڪيو ويندو آهي. -
اينيلنگ
ويفرز کي گرمي سان علاج ڪيو ويندو آهي ته جيئناندروني دٻاءُ ڇڏڻ۽ ڪرسٽل جي معيار ۽ شفافيت کي بهتر بڻائي ٿو. -
ڪنڊ پيسڻ
وڌيڪ پروسيسنگ دوران چپنگ ۽ ٽٽڻ کان بچڻ لاءِ ويفر جي ڪنارن کي بيول ڪيو ويو آهي. -
وڇي
ويفرز کي ڪيريئرز يا هولڊرز تي صحيح پالش ڪرڻ ۽ چڪاس لاءِ لڳايو ويندو آهي. -
ڊي ايم پي (ڊبل سائڊڊ ميڪيڪل پالشنگ)
مٿاڇري جي همواري کي بهتر بڻائڻ لاءِ ويفر جي مٿاڇري کي ميڪانياتي طور تي پالش ڪيو ويندو آهي. -
سي ايم پي (ڪيميڪل ميڪيڪل پالشنگ)
ڪيميائي ۽ مشيني عملن کي گڏ ڪندي هڪ نفيس پالش ڪرڻ وارو قدمآئيني جهڙي مٿاڇري. -
بصري معائنو
آپريٽر يا خودڪار نظام نظر ايندڙ مٿاڇري جي خرابين جي جانچ ڪن ٿا. -
فليٽنس جو معائنو
طول و عرض جي درستگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ برابري ۽ ٿلهي جي هڪجهڙائي ماپي ويندي آهي. -
آر سي اي صفائي
معياري ڪيميائي صفائي نامياتي، ڌاتو، ۽ ذرات جي آلودگي کي ختم ڪري ٿي. -
اسڪربر جي صفائي
مشيني اسڪربنگ باقي خوردبيني ذرات کي هٽائي ٿي. -
مٿاڇري جي خرابي جو معائنو
خودڪار آپٽيڪل معائنو مائڪرو نقصن جهڙوڪ خراشون، کڏا، يا آلودگي کي ڳولي ٿو.
نيلم بول (سنگل-ڪرسٽل Al₂O₃) — اڪثر پڇيا ويندڙ سوال
سوال 1: نيلم بول ڇا آهي؟
الف: ايلومينيم آڪسائيڊ (Al₂O₃) جو هڪ وڌايل سنگل ڪرسٽل. اهو اپ اسٽريم "انگوٽ" آهي جيڪو نيلم ويفرز، آپٽيڪل ونڊوز، ۽ هاءِ وير حصن ٺاهڻ لاءِ استعمال ٿيندو آهي.
سوال 2: هڪ بول ويفرز يا ونڊوز سان ڪيئن لاڳاپيل آهي؟
الف: بولي کي اورينٽيڊ → ڪٽيل → ليپ ٿيل → پالش ڪيو ويو آهي ته جيئن ايپي گريڊ ويفرز يا آپٽيڪل/مڪينيڪل حصا پيدا ٿين. سورس بولي جي هڪجهڙائي هيٺئين وهڪري جي پيداوار کي سخت متاثر ڪري ٿي.
سوال 3: ڪهڙا واڌ ويجهه جا طريقا موجود آهن ۽ اهي ڪيئن مختلف آهن؟
A: ڪي وائي (ڪيروپولوس)۽هيموڏي پيداوار،گهٽ دٻاءُ واروبولس - ايپيٽيڪسي ۽ اعليٰ درجي جي آپٽڪس لاءِ ترجيح ڏني وئي آهي.سي زي (چزوڪرالسڪي)شاندار پيش ڪري ٿواورينٽيشن ڪنٽرول۽ گهڻي کان گهڻي تسلسل.ورنيوئل (شعلي جو ميلاپ) is خرچ ۾ ڪارآمدعام آپٽڪس ۽ جواهر جي پرفارمس لاءِ.
سوال 4: توهان ڪهڙيون هدايتون فراهم ڪندا آهيو؟ ڪهڙي درستگي عام آهي؟
A: سي-پلين (0001)، اي-پلين (11-20)، آر-پلين (1-102)، ايم-پلين (10-10)، ۽ رواج. عام طور تي رخ جي درستگي≤ ± 0.1°لاؤ/ايڪس آر ڊي پاران تصديق ٿيل (درخواست تي سخت).
آپٽيڪل گريڊ ڪرسٽل ذميوار ان-هاؤس اسڪريپ مئنيجمينٽ سان
اسان جا سڀئي نيلم بول تيار ڪيا ويا آهنآپٽيڪل گريڊ، اعلي ٽرانسميشن، تنگ هڪجهڙائي، ۽ گهٽ شموليت/بلبل ۽ ڊسپلوڪيشن کثافت کي يقيني بڻائي آپٽڪس ۽ اليڪٽرانڪس جي مطالبي لاءِ. اسان ٻج کان بول تائين ڪرسٽل اورينٽيشن ۽ بائير فرينجنس کي ڪنٽرول ڪريون ٿا، مڪمل لاٽ ٽريسيبلٽي ۽ رن ۾ تسلسل سان. طول و عرض، اورينٽيشن (سي-، اي-، آر-پلين)، ۽ رواداري توهان جي ڊائون اسٽريم سلائسنگ/پالشنگ جي ضرورتن مطابق ترتيب ڏئي سگهجن ٿيون.
اهم طور تي، ڪو به مواد جيڪو وضاحتن کان گهٽ ٿئي ٿو اهو آهيمڪمل طور تي گهر ۾ پروسيس ٿيلهڪ بند لوپ ورڪ فلو ذريعي - ترتيب ڏنل، ري سائيڪل ٿيل، ۽ ذميواري سان نيڪال ڪيو ويو - ته جيئن توهان کي سنڀالڻ يا تعميل جي بارن کان سواءِ قابل اعتماد معيار ملي. هي طريقو خطري کي گھٽائي ٿو، ليڊ ٽائيم کي گھٽائي ٿو، ۽ توهان جي پائيداري جي مقصدن جي حمايت ڪري ٿو.
| انگٽ وزن بينڊ (ڪلوگرام) | 2″ | 4″ | 6″ | 8″ | 12″ | نوٽس |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 10-30 | مناسب | مناسب | محدود/ممڪن | عام نه آهي | استعمال نه ٿيل | ننڍي شڪل واري ڪٽائي؛ 6 انچ استعمال لائق قطر/ڊيگهه تي منحصر آهي. |
| 30-80 | مناسب | مناسب | مناسب | محدود/ممڪن | عام نه آهي | وسيع افاديت؛ ڪڏهن ڪڏهن 8 انچ پائلٽ لاٽ. |
| 80-150 | مناسب | مناسب | مناسب | مناسب | عام نه آهي | 6-8 انچ جي پيداوار لاءِ سٺو توازن. |
| 150-250 | مناسب | مناسب | مناسب | مناسب | محدود/آر اينڊ ڊي | سخت وضاحتن سان شروعاتي 12 انچ جي آزمائشن کي سپورٽ ڪري ٿو. |
| 250-300 | مناسب | مناسب | مناسب | مناسب | محدود/سختي سان بيان ڪيل | هاءِ واليوم 8 انچ؛ چونڊيل 12 انچ رن. |
| > 300 | مناسب | مناسب | مناسب | مناسب | مناسب | فرنٽيئر اسڪيل؛ 12 انچ سخت هڪجهڙائي/پيداوار ڪنٽرول سان ممڪن. |
