8 انچ سلڪون ويفر پي/اين-قسم (100) 1-100Ω ڊمي ري ڪليم سبسٽريٽ
ويفر باڪس جو تعارف
8 انچ سلڪون ويفر هڪ عام طور تي استعمال ٿيندڙ سلڪون سبسٽريٽ مواد آهي ۽ انٽيگريٽڊ سرڪٽس جي پيداوار جي عمل ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندو آهي. اهڙا سلڪون ويفر عام طور تي مختلف قسمن جا انٽيگريٽڊ سرڪٽ ٺاهڻ لاءِ استعمال ٿيندا آهن، جن ۾ مائڪرو پروسيسر، ميموري چپس، سينسر ۽ ٻيا اليڪٽرانڪ ڊوائيسز شامل آهن. 8 انچ سلڪون ويفر عام طور تي نسبتاً وڏي سائيز جا چپس ٺاهڻ لاءِ استعمال ٿيندا آهن، جن ۾ فائدن ۾ وڏي مٿاڇري واري ايراضي ۽ هڪ سلڪون ويفر تي وڌيڪ چپس ٺاهڻ جي صلاحيت شامل آهي، جنهن جي ڪري پيداوار جي ڪارڪردگي ۾ اضافو ٿئي ٿو. 8 انچ سلڪون ويفر ۾ سٺيون ميڪيڪل ۽ ڪيميائي خاصيتون پڻ آهن، جيڪي وڏي پيماني تي انٽيگريٽڊ سرڪٽ جي پيداوار لاءِ موزون آهن.
پيداوار جون خاصيتون
8" پي/اين قسم، پالش ٿيل سلڪون ويفر (25 پي سيز)
واقفيت: 200
مزاحمت: 0.1 - 40 اوهم سينٽي ميٽر (اهو بيچ کان بيچ تائين مختلف ٿي سگهي ٿو)
ٿولهه: 725+/-20um
پرائم/مانيٽر/ٽيسٽ گريڊ
مادي خاصيتون
| پيرا ميٽر | خاصيت |
| قسم/ڊوپينٽ | پي، بوران اين، فاسفورس اين، اينٽيموني اين، آرسينڪ |
| اورينٽيشنز | <100>، <111> گراهڪ جي وضاحتن مطابق سلائس آف اورينٽيشن |
| آڪسيجن جو مقدار | 1019ppmA گراهڪ جي وضاحتن مطابق ڪسٽم رواداري |
| ڪاربن جو مواد | < 0.6 پي پي ايم اي |
مشيني خاصيتون
| پيرا ميٽر | وزيراعظم | مانيٽر/ ٽيسٽ اي | ٽيسٽ |
| قطر | 200±0.2 ملي ميٽر | 200 ± 0.2 ملي ميٽر | 200 ± 0.5 ملي ميٽر |
| ٿولهه | 725±20µm (معياري) | 725±25µm(معياري) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (معياري) |
| ٽي ٽي وي | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
| ڪمان | < 30 µm | < 30 µm | < 50 μm |
| لپيٽڻ | < 30 µm | < 30 µm | < 50 μm |
| ڪنڊ گول ڪرڻ | سيمي-ايس ٽي ڊي | ||
| نشان لڳائڻ | صرف پرائمري سيمي-فليٽ، سيمي-ايس ٽي ڊي فليٽ جيدا فليٽ، نوچ | ||
| پيرا ميٽر | وزيراعظم | مانيٽر/ ٽيسٽ اي | ٽيسٽ |
| سامهون واري پاسي جو معيار | |||
| مٿاڇري جي حالت | ڪيميائي ميڪيڪل پالش ٿيل | ڪيميائي ميڪيڪل پالش ٿيل | ڪيميائي ميڪيڪل پالش ٿيل |
| مٿاڇري جي خرابي | < 2 الف° | < 2 الف° | < 2 الف° |
| آلودگي ذرڙا @ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
| ڌوڙ، کڏ نارنگي جو ڇلڪو | ڪو به نه | ڪو به نه | ڪو به نه |
| آرو، مارڪس پٽيون | ڪو به نه | ڪو به نه | ڪو به نه |
| پوئين پاسي جو معيار | |||
| دراڙ، ڪانگن جا پير، آري جا نشان، داغ | ڪو به نه | ڪو به نه | ڪو به نه |
| مٿاڇري جي حالت | ڪاسٽڪ ايچڊ | ||
تفصيلي ڊاگرام
