8 انچ SiC پيداوار گريڊ ويفر 4H-N SiC سبسٽريٽ
هيٺ ڏنل جدول اسان جي 8 انچ SiC ويفرز جون وضاحتون ڏيکاري ٿو:
| 8 انچ اين-قسم سي آءِ سي ڊي ايس پي وضاحتون | |||||
| نمبر | شيءِ | يونٽ | پيداوار | تحقيق | ڊمي |
| 1: پيرا ميٽرز | |||||
| 1.1 | پولي ٽائپ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | مٿاڇري جي رخ | ° | <11-20> 4±0.5 | <11-20> 4±0.5 | <11-20> 4±0.5 |
| 2: بجلي جي پيرا ميٽر | |||||
| 2.1 | ڊوپنٽ | -- | ن-قسم نائٽروجن | ن-قسم نائٽروجن | ن-قسم نائٽروجن |
| 2.2 | مزاحمت | اوم · سينٽي ميٽر | 0.015~0.025 | 0.01 ~ 0.03 | NA |
| 3: مشيني پيرا ميٽر | |||||
| 3.1 | قطر | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ٿولهه | مائڪرون | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | نوچ اورينٽيشن | ° | [1- 100] ± 5 | [1- 100] ± 5 | [1- 100] ± 5 |
| 3.4 | نشان جي کوٽائي | mm | ۱ ~ ۱.۵ | ۱ ~ ۱.۵ | ۱ ~ ۱.۵ |
| 3.5 | ايل ٽي وي | مائڪرون | ≤5 (10 ملي ميٽر * 10 ملي ميٽر) | ≤5 (10 ملي ميٽر * 10 ملي ميٽر) | ≤10(10 ملي ميٽر*10 ملي ميٽر) |
| 3.6 | ٽي ٽي وي | مائڪرون | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | ڪمان | مائڪرون | -25 ~ 25 | -45 ~ 45 | -65 ~ 65 |
| 3.8 | وارپ | مائڪرون | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | اي ايف ايم | nm | را≤0.2 | را≤0.2 | را≤0.2 |
| 4: بناوت | |||||
| 4.1 | مائڪرو پائپ کثافت | اي اي/سي ايم 2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | ڌاتو جو مواد | ايٽم/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ٽي ايس ڊي | اي اي/سي ايم 2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | بي پي ڊي | اي اي/سي ايم 2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | ٽيڊ | اي اي/سي ايم 2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. سامهون معيار | |||||
| 5.1 | اڳيان | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | مٿاڇري ختم | -- | سائ-فيس سي ايم پي | سائ-فيس سي ايم پي | سائ-فيس سي ايم پي |
| 5.3 | ذرڙو | اي اي/ويفر | ≤100 (سائيز≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | ڇڪڻ | اي اي/ويفر | ≤5، ڪل ڊيگهه ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | ڪنڊ چپس/انڊينٽ/ڦاٽ/داغ/آلودگي | -- | ڪو به نه | ڪو به نه | NA |
| 5.6 | پولي ٽائپ وارا علائقا | -- | ڪو به نه | ايراضي ≤10٪ | ايراضي ≤30٪ |
| 5.7 | اڳيان نشان لڳائڻ | -- | ڪو به نه | ڪو به نه | ڪو به نه |
| 6: پوئتي معيار | |||||
| 6.1 | پوئتي ختم ڪرڻ | -- | سي-فيس ايم پي | سي-فيس ايم پي | سي-فيس ايم پي |
| 6.2 | ڇڪڻ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | پوئتي خرابي وارو ڪنارو چپس/انڊينٽس | -- | ڪو به نه | ڪو به نه | NA |
| 6.4 | پوئتي سختي | nm | را≤5 | را≤5 | را≤5 |
| 6.5 | پوئتي نشان لڳائڻ | -- | نشان | نشان | نشان |
| 7: ڪنارو | |||||
| 7.1 | ڪنڊ | -- | چمفر | چمفر | چمفر |
| 8: پيڪيج | |||||
| 8.1 | پيڪنگنگ | -- | ويڪيوم سان ايپي تيار پيڪنگنگ | ويڪيوم سان ايپي تيار پيڪنگنگ | ويڪيوم سان ايپي تيار پيڪنگنگ |
| 8.2 | پيڪنگنگ | -- | ملٽي ويفر ڪيسٽ پيڪنگنگ | ملٽي ويفر ڪيسٽ پيڪنگنگ | ملٽي ويفر ڪيسٽ پيڪنگنگ |
تفصيلي ڊاگرام
پنهنجو پيغام هتي لکو ۽ اسان ڏانهن موڪليو