8 انچ سي سي پروڊڪشن گريڊ ويفر 4H-N SiC سبسٽريٽ
هيٺ ڏنل جدول اسان جي 8 انچ سي سي ويفرز جي وضاحتن کي ڏيکاري ٿو:
| 8 انچ اين قسم جي سي سي ڊي ايس پي اسپيڪس | |||||
| نمبر | شيءِ | يونٽ | پيداوار | تحقيق | ڊمي |
| 1: پيرا ميٽر | |||||
| 1.1 | پوليٽائپ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | سطح جي رخ | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: اليڪٽرڪ پيٽرول | |||||
| 2.1 | ڊاپنٽ | -- | n-نائيٽروجن جو قسم | n-نائيٽروجن جو قسم | n-نائيٽروجن جو قسم |
| 2.2 | مزاحمت | ohm ·cm | 0.015 ~ 0.025 | 0.01 ~ 0.03 | NA |
| 3: مشيني پيٽرول | |||||
| 3.1 | قطر | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ٿولهه | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | نقطه نظر | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | کوٽائي جي کوٽائي | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | ٽي وي | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | ڪنڌ | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | وارپ | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | اي ايف ايم | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: ساخت | |||||
| 4.1 | مائڪرو پائپ جي کثافت | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | ڌاتو مواد | ائٽم/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ٽي ايس ڊي | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | بي پي ڊي | ea/cm2 | ≤ 2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | ٽيڊ | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. فرنٽ معيار | |||||
| 5.1 | سامهون | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | مٿاڇري ختم | -- | سي ايم پي جو منهن | سي ايم پي جو منهن | سي ايم پي جو منهن |
| 5.3 | ذرو | ea/wafer | ≤100(سائز≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | ڇڪڻ | ea/wafer | ≤5، ڪل ڊگھائي≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | کنڊ چپس/انڊينٽ/ درگاه/ داغ/ آلودگي | -- | ڪو به | ڪو به | NA |
| 5.6 | Polytype علائقن | -- | ڪو به | ايراضي ≤ 10٪ | ايراضي ≤30% |
| 5.7 | سامهون نشان لڳائڻ | -- | ڪو به | ڪو به | ڪو به |
| 6: پوئتي معيار | |||||
| 6.1 | واپس ختم | -- | سي منهن ايم پي | سي منهن ايم پي | سي منهن ايم پي |
| 6.2 | ڇڪڻ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | پٺيءَ جي خرابين جي ڪنڊ چپس / اشارا | -- | ڪو به | ڪو به | NA |
| 6.4 | پٺيءَ جي خرابي | nm | را≤5 | را≤5 | را≤5 |
| 6.5 | پوئتي نشان ھڻڻ | -- | نشان | نشان | نشان |
| 7: ڪنارا | |||||
| 7.1 | ڪنڊ | -- | چمفر | چمفر | چمفر |
| 8: پيڪيج | |||||
| 8.1 | پيڪنگنگ | -- | Epi-تيار ويڪيوم سان پيڪنگنگ | Epi-تيار ويڪيوم سان پيڪنگنگ | Epi-تيار ويڪيوم سان پيڪنگنگ |
| 8.2 | پيڪنگنگ | -- | گھڻائي وارو ڪيسٽ پيڪنگنگ | گھڻائي وارو ڪيسٽ پيڪنگنگ | گھڻائي وارو ڪيسٽ پيڪنگنگ |
تفصيلي خاڪو
پنهنجو پيغام هتي لکو ۽ اسان ڏانهن موڪليو
