6 انچ SiC Epitaxy ويفر N/P قسم ڪسٽمائيز قبول ڪيو ويو

سلڪون ڪاربائيڊ ايپيٽيڪسيل ويفر جي تياري جو عمل ڪيميڪل وانپ ڊيپوزيشن (سي وي ڊي) ٽيڪنالاجي استعمال ڪندي هڪ طريقو آهي. هيٺ ڏنل لاڳاپيل ٽيڪنيڪل اصول ۽ تياري جي عمل جا مرحلا آهن:

ٽيڪنيڪل اصول:

ڪيميائي بخارات جو جمع: خام مال جي گئس کي گئس جي مرحلي ۾ استعمال ڪندي، مخصوص رد عمل جي حالتن ۾، ان کي سڙيو ويندو آهي ۽ گهربل پتلي فلم ٺاهڻ لاءِ سبسٽريٽ تي جمع ڪيو ويندو آهي.

گيس-فيز ري ايڪشن: پائروليسس يا ڪريڪنگ ري ايڪشن ذريعي، گيس فيز ۾ مختلف خام مال گيسن کي ڪيميائي طور تي ري ايڪشن چيمبر ۾ تبديل ڪيو ويندو آهي.

تياري جي عمل جا مرحلا:

سبسٽريٽ علاج: سبسٽريٽ کي مٿاڇري جي صفائي ۽ پري ٽريٽمينٽ ڪيو ويندو آهي ته جيئن ايپيٽيڪسيل ويفر جي معيار ۽ ڪرسٽلينٽي کي يقيني بڻائي سگهجي.

رد عمل چيمبر ڊيبگنگ: رد عمل چيمبر جي درجه حرارت، دٻاءُ ۽ وهڪري جي شرح ۽ ٻين پيرا ميٽرز کي ترتيب ڏيو ته جيئن رد عمل جي حالتن جي استحڪام ۽ ڪنٽرول کي يقيني بڻائي سگهجي.

خام مال جي فراهمي: گهربل گئس خام مال کي رد عمل چيمبر ۾ فراهم ڪريو، ضرورت مطابق وهڪري جي شرح کي ملائي ۽ ڪنٽرول ڪريو.

رد عمل جو عمل: رد عمل چيمبر کي گرم ڪرڻ سان، گيس فيڊ اسٽاڪ چيمبر ۾ هڪ ڪيميائي رد عمل مان گذرندو آهي ته جيئن گهربل جمع پيدا ٿئي، يعني سلڪون ڪاربائيڊ فلم.

ٿڌي ڪرڻ ۽ ان لوڊ ڪرڻ: رد عمل جي آخر ۾، رد عمل چيمبر ۾ ذخيرن کي ٿڌو ۽ مضبوط ڪرڻ لاءِ گرمي پد بتدريج گهٽجي ويندو آهي.

ايپيٽيڪسيل ويفر اينيلنگ ۽ پوسٽ پروسيسنگ: جمع ٿيل ايپيٽيڪسيل ويفر کي انيل ڪيو ويندو آهي ۽ پوسٽ پروسيس ڪيو ويندو آهي ته جيئن ان جي برقي ۽ آپٽيڪل خاصيتن کي بهتر بڻائي سگهجي.

سلڪون ڪاربائيڊ ايپيٽيڪسيل ويفر تيار ڪرڻ جي عمل جا مخصوص مرحلا ۽ حالتون مخصوص سامان ۽ گهرجن جي لحاظ کان مختلف ٿي سگهن ٿيون. مٿي ڏنل صرف هڪ عام عمل جي وهڪري ۽ اصول آهي، مخصوص آپريشن کي اصل صورتحال جي مطابق ترتيب ڏيڻ ۽ بهتر ڪرڻ جي ضرورت آهي.