2 انچ SiC انگوٽ Dia50.8mmx10mmt 4H-N monocrystal

سي سي ڪرسٽل ترقي ٽيڪنالاجي

سي سي جي خاصيتن کي اڪيلو ڪرسٽل وڌڻ ڏکيو بڻائي ٿو.اهو بنيادي طور تي ان حقيقت جو سبب آهي ته ماحول جي دٻاء تي Si: C = 1: 1 جي اسٽوچيوميٽرڪ تناسب سان ڪو به مائع مرحلو نه آهي، ۽ اهو ممڪن ناهي ته وڌيڪ پختو ترقي جي طريقن، جهڙوڪ سڌو ڊرائنگ جو طريقو ۽ سي سي سي کي وڌايو وڃي. گرڻ واري ڪرسيبل طريقو، جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جو بنيادي بنياد آهن.نظرياتي طور تي، Si: C = 1: 1 جي stoichiometric تناسب سان ھڪڙو حل صرف حاصل ڪري سگھجي ٿو جڏھن دٻاء 10E5atm کان وڌيڪ آھي ۽ گرمي پد 3200℃ کان وڌيڪ آھي.في الحال، مکيه اسٽريم طريقن ۾ شامل آهن PVT طريقو، مائع-مرحلي جو طريقو، ۽ اعلي درجه حرارت وانپ-مرحلي ڪيميائي جمع ڪرڻ جو طريقو.

اسان جي مهيا ڪيل سي سي ويفرز ۽ ڪرسٽل بنيادي طور تي جسماني بخار ٽرانسپورٽ (PVT) ذريعي پوکيا ويا آهن، ۽ هيٺ ڏنل PVT جو مختصر تعارف آهي:

فزيڪل واپر ٽرانسپورٽ (PVT) طريقو 1955 ۾ ليلي پاران ايجاد ڪيل گيس فيز سبليميشن ٽيڪنڪ مان پيدا ٿيو، جنهن ۾ سي سي پاؤڊر کي گريفائٽ ٽيوب ۾ رکيو ويندو آهي ۽ تيز گرمي پد تي گرم ڪيو ويندو آهي ته جيئن سي سي پاؤڊر کي سڙي وڃي، ۽ پوءِ گرافائٽ. ٽيوب کي ٿڌو ڪيو ويندو آهي، ۽ سي سي پاؤڊر جي سڙيل گئس-مرحلي اجزاء جمع ڪيا ويندا آهن ۽ گريفائٽ ٽيوب جي ڀرپاسي واري علائقي ۾ SiC ڪرسٽل وانگر ڪرسٽل ڪيو ويندو آهي.جيتوڻيڪ اهو طريقو وڏي سائيز جي سي سي سنگل ڪرسٽل حاصل ڪرڻ ڏکيو آهي ۽ گريفائٽ ٽيوب جي اندر جمع ٿيڻ واري عمل کي ڪنٽرول ڪرڻ ڏکيو آهي، اهو بعد ۾ تحقيق ڪندڙن لاء خيال مهيا ڪري ٿو.

YM Tairov et al.روس ۾ ان بنياد تي سيڊ ڪرسٽل جو تصور متعارف ڪرايو، جنهن اڻ ڪنٽرول ٿيل ڪرسٽل جي شڪل ۽ سي سي ڪرسٽل جي نيوڪليشن پوزيشن جو مسئلو حل ڪيو.بعد ۾ محققن کي بهتر ڪرڻ جاري آهي ۽ آخرڪار جسماني بخار جي منتقلي (PVT) طريقي سان ترقي ڪئي جيڪا اڄ صنعتي طور تي استعمال ڪئي ويندي آهي.

جيئن ته ابتدائي SiC ڪرسٽل جي ترقي جو طريقو، PVT هن وقت SiC ڪرسٽل لاء سڀ کان وڏو مکيه وهڪرو ترقي وارو طريقو آهي.ٻين طريقن جي مقابلي ۾، هن طريقي ۾ ترقي جي سامان، سادي ترقي جي عمل، مضبوط ڪنٽرول قابليت، مڪمل ترقي ۽ تحقيق لاء گهٽ گهربل آهن، ۽ اڳ ۾ ئي صنعتي ٿي چڪو آهي.