سي آءِ سي سيرامڪ ٽري اينڊ ايفيڪٽر ويفر هينڊلنگ ڪسٽم ميڊ اجزاء
سي آءِ سي سيرامڪ ۽ ايلومينا سيرامڪ ڪسٽم اجزاء جو مختصر تعارف
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سيرامڪ ڪسٽم اجزاء
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سيرامڪ ڪسٽم جزا اعليٰ ڪارڪردگي وارا صنعتي سيرامڪ مواد آهن جيڪي انهن جي لاءِ مشهور آهنانتهائي تيز سختي، بهترين حرارتي استحڪام، غير معمولي سنکنرن جي مزاحمت، ۽ اعلي حرارتي چالکائي. سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سيرامڪ ڪسٽم جزا ساخت جي استحڪام کي برقرار رکڻ جي قابل بڻائين ٿامضبوط تيزاب، الڪليس، ۽ پگھليل ڌاتوءَ جي ڪٽائي جي مزاحمت ڪندي تيز گرمي پد واري ماحول ۾. SiC سيرامڪس اهڙين عملن ذريعي تيار ڪيا ويندا آهن جهڙوڪدٻاءُ کان سواءِ سنٽرنگ، رد عمل سنٽرنگ، يا گرم پريس سنٽرنگ۽ پيچيده شڪلن ۾ ترتيب ڏئي سگهجي ٿو، جنهن ۾ ميڪيڪل سيل رِنگز، شافٽ سليوز، نوزلز، فرنس ٽيوب، ويفر بوٽس، ۽ لباس مزاحمتي استر پليٽون شامل آهن.
ايلومينا سيرامڪ ڪسٽم اجزاء
ايلومينا (Al₂O₃) سيرامڪ ڪسٽم جزا زور ڏين ٿااعلي موصليت، سٺي مشيني طاقت، ۽ لباس مزاحمت. پاڪائي جي گريڊن جي لحاظ کان درجه بندي (مثال طور، 95٪، 99٪)، ايلومينا (Al₂O₃) سيرامڪ ڪسٽم حصن کي درست مشيننگ سان انهن کي انسولٽر، بيئرنگ، ڪٽڻ جا اوزار، ۽ طبي امپلانٽس ۾ تيار ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿي. ايلومينا سيرامڪس بنيادي طور تي ذريعي ٺاهيا ويندا آهنخشڪ پريسنگ، انجيڪشن مولڊنگ، يا آئوسٽيٽڪ پريسنگ جا عمل، مٿاڇري سان جيڪي آئيني ۾ پالش ڪري سگهجن ٿيون.
XKH آر اينڊ ڊي ۽ ڪسٽم پيداوار ۾ ماهر آهيسلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ۽ ايلومينا (Al₂O₃) سيرامڪس. SiC سيرامڪ پراڊڪٽس اعليٰ گرمي پد، اعليٰ لباس، ۽ corrosive ماحول تي ڌيان ڏين ٿا، جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر ايپليڪيشنن (مثال طور، ويفر بوٽس، ڪينٽيليور پيڊلز، فرنس ٽيوب) سان گڏوگڏ نئين توانائي شعبن لاءِ حرارتي فيلڊ اجزاء ۽ اعليٰ درجي جي سيلن کي ڍڪيندا آهن. ايلومينا سيرامڪ پراڊڪٽس موصليت، سيلنگ، ۽ بايوميڊيڪل ملڪيتن تي زور ڏين ٿا، جن ۾ اليڪٽرانڪ سبسٽريٽ، ميڪيڪل سيل رِنگ، ۽ طبي امپلانٽس شامل آهن. ٽيڪنالاجيون استعمال ڪرڻ جهڙوڪآئسوسٽٽڪ پريسنگ، پريشر ليس سينٽرنگ، ۽ پريسيشن مشيننگ، اسان صنعتن لاءِ اعليٰ ڪارڪردگي وارا ڪسٽمائيز حل فراهم ڪندا آهيون جن ۾ سيمي ڪنڊڪٽرز، فوٽووولٽيڪس، ايرو اسپيس، طبي، ۽ ڪيميڪل پروسيسنگ شامل آهن، انهي ڳالهه کي يقيني بڻائيندي ته اجزاء انتهائي حالتن ۾ درستگي، ڊگهي عمر ۽ اعتبار لاءِ سخت گهرجن کي پورو ڪن.
سي سي سيرامڪ فنڪشنل چڪس ۽ سي ايم پي گرائنڊنگ ڊسڪ جو تعارف
سي سي سيرامڪ ويڪيوم چڪس
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سيرامڪ ويڪيوم چڪس اعليٰ ڪارڪردگي واري سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سيرامڪ مواد مان ٺهيل اعليٰ درستگي واري جذب جا اوزار آهن. اهي خاص طور تي انتهائي صفائي ۽ استحڪام جي گهرج ڪندڙ ايپليڪيشنن لاءِ ٺاهيا ويا آهن، جهڙوڪ سيمي ڪنڊڪٽر، فوٽووولٽڪ، ۽ درستگي واري پيداوار جون صنعتون. انهن جي بنيادي فائدن ۾ شامل آهن: هڪ آئيني جي سطح تي پالش ٿيل مٿاڇري (0.3-0.5 μm اندر ڪنٽرول ٿيل فليٽنس)، الٽرا هاءِ سختي ۽ حرارتي توسيع جو گهٽ ڪوفيشيٽ (نانو ليول شڪل ۽ پوزيشن جي استحڪام کي يقيني بڻائڻ)، هڪ انتهائي هلڪو وزن وارو structure (حرڪت جي جڙت کي گهٽائي ٿو)، ۽ غير معمولي لباس مزاحمت (9.5 تائين Mohs سختي، ڌاتو چڪس جي عمر کان تمام گهڻو وڌيڪ). اهي خاصيتون متبادل اعليٰ ۽ گهٽ درجه حرارت، مضبوط سنکنرن، ۽ تيز رفتار هينڊلنگ سان ماحول ۾ مستحڪم آپريشن کي قابل بڻائين ٿيون، ويفرز ۽ آپٽيڪل عنصرن جهڙن درستگي وارن حصن لاءِ پروسيسنگ جي پيداوار ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي کي خاص طور تي بهتر بڻائين ٿيون.
ميٽرولوجي ۽ انسپيڪشن لاءِ سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) بمپ ويڪيوم چيڪ
ويفر ڊيفيڪٽ انسپيڪشن جي عملن لاءِ ٺهيل، هي اعليٰ درستگي وارو جذب ڪندڙ اوزار سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سيرامڪ مواد مان تيار ڪيو ويو آهي. ان جي منفرد مٿاڇري جي ٽڪري جي جوڙجڪ طاقتور ويڪيوم جذب ڪندڙ قوت فراهم ڪري ٿي جڏهن ته ويفر سان رابطي واري علائقي کي گهٽ ۾ گهٽ ڪري ٿي، ان ڪري ويفر جي مٿاڇري کي نقصان يا آلودگي کي روڪي ٿي ۽ معائني دوران استحڪام ۽ درستگي کي يقيني بڻائي ٿي. چيڪ ۾ غير معمولي فليٽنس (0.3-0.5 μm) ۽ آئيني سان پالش ٿيل مٿاڇري شامل آهي، جيڪا تيز رفتار حرڪت دوران استحڪام کي يقيني بڻائڻ لاءِ الٽرا-لائيٽ وزن ۽ اعليٰ سختي سان گڏ آهي. ان جو حرارتي توسيع جو انتهائي گهٽ ڪوئفيشينٽ گرمي پد جي اتار چڙهاؤ هيٺ طول و عرض جي استحڪام جي ضمانت ڏئي ٿو، جڏهن ته شاندار لباس مزاحمت سروس جي زندگي کي وڌائي ٿي. پراڊڪٽ مختلف ويفر سائزن جي معائني جي ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ 6، 8، ۽ 12 انچ وضاحتن ۾ ڪسٽمائيزيشن کي سپورٽ ڪري ٿي.
فلپ چپ بانڊنگ چڪ
فلپ چپ بانڊنگ چڪ چپ فلپ-چپ بانڊنگ عملن ۾ هڪ بنيادي جزو آهي، خاص طور تي تيز رفتار، اعليٰ درستگي واري بانڊنگ آپريشن دوران استحڪام کي يقيني بڻائڻ لاءِ ويفرز کي صحيح طور تي جذب ڪرڻ لاءِ ٺهيل آهي. ان ۾ آئيني سان پالش ٿيل مٿاڇري (چپٽي/متوازي ≤1 μm) ۽ درستگي واري گيس چينل گرووز شامل آهن جيڪي هڪجهڙائي ويڪيوم جذب قوت حاصل ڪن ٿا، ويفر جي بي گھرڻ يا نقصان کي روڪين ٿا. ان جي اعلي سختي ۽ حرارتي توسيع جو الٽرا-لو ڪوفيشينٽ (سلڪون مواد جي ويجهو) اعلي درجه حرارت جي بانڊنگ ماحول ۾ طول و عرض جي استحڪام کي يقيني بڻائي ٿو، جڏهن ته اعلي کثافت وارو مواد (مثال طور، سلڪون ڪاربائڊ يا خاص سيرامڪس) مؤثر طريقي سان گئس جي منتقلي کي روڪي ٿو، ڊگهي مدت جي ويڪيوم اعتبار کي برقرار رکي ٿو. اهي خاصيتون مجموعي طور تي مائڪرون-سطح جي بانڊنگ جي درستگي کي سپورٽ ڪن ٿيون ۽ چپ پيڪنگنگ جي پيداوار کي خاص طور تي وڌائين ٿيون.
سي سي بانڊنگ چڪ
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) بانڊنگ چڪ چپ بانڊنگ جي عملن ۾ هڪ بنيادي فڪسچر آهي، خاص طور تي ويفرز کي صحيح طور تي جذب ڪرڻ ۽ محفوظ ڪرڻ لاءِ ٺهيل آهي، اعليٰ درجه حرارت ۽ اعليٰ دٻاءُ واري بانڊنگ حالتن ۾ الٽرا مستحڪم ڪارڪردگي کي يقيني بڻائي ٿو. اعليٰ کثافت واري سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ (پوروسيٽي <0.1%) مان ٺهيل، اهو نانو ميٽر-سطح جي آئيني پالشنگ (مٿاڇري جي خرابي Ra <0.1 μm) ۽ درست گيس چينل گرووز (پور قطر: 5-50 μm) ذريعي يونيفارم جذب قوت جي تقسيم (انحراف <5%) حاصل ڪري ٿو، ويفر جي بي گھرڻ يا مٿاڇري جي نقصان کي روڪي ٿو. ان جو حرارتي توسيع جو الٽرا-لو ڪوفيشينٽ (4.5×10⁻⁶/℃) سلڪون ويفرز سان ويجهڙائي سان ملندو آهي، حرارتي دٻاءُ جي ڪري پيدا ٿيندڙ وار پيج کي گهٽ ۾ گهٽ ڪندو آهي. اعليٰ سختي (لچڪدار ماڊيولس >400 GPa) ۽ ≤1 μm فليٽ/متوازي سان گڏ، اهو بانڊنگ الائنمينٽ جي درستگي جي ضمانت ڏئي ٿو. سيمي ڪنڊڪٽر پيڪنگنگ، 3D اسٽيڪنگ، ۽ چپليٽ انٽيگريشن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندڙ، اهو اعليٰ درجي جي پيداوار واري ايپليڪيشنن کي سپورٽ ڪري ٿو جن کي نانو اسڪيل جي درستگي ۽ حرارتي استحڪام جي ضرورت آهي.
سي ايم پي پيسڻ واري ڊسڪ
سي ايم پي گرائنڊنگ ڊسڪ ڪيميڪل ميڪيڪل پالشنگ (سي ايم پي) سامان جو هڪ بنيادي جزو آهي، خاص طور تي تيز رفتار پالشنگ دوران ويفرز کي محفوظ طور تي رکڻ ۽ مستحڪم ڪرڻ لاءِ ٺهيل آهي، نانو ميٽر-سطح جي عالمي پلانرائيزيشن کي فعال بڻائي ٿو. اعليٰ سختي، اعليٰ کثافت واري مواد (مثال طور، سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس يا خاص مصر) مان ٺهيل، اهو درستگي-انجنيئر ٿيل گيس چينل گرووز ذريعي يونيفارم ويڪيوم جذب کي يقيني بڻائي ٿو. ان جي آئيني-پالش ٿيل مٿاڇري (چپٽي/متوازيت ≤3 μm) ويفرز سان دٻاءُ کان پاڪ رابطي جي ضمانت ڏئي ٿي، جڏهن ته حرارتي توسيع جو هڪ الٽرا-لو ڪوفيشينٽ (سلڪون سان ملائي) ۽ اندروني کولنگ چينلز مؤثر طريقي سان حرارتي خرابي کي دٻائي ٿو. 12 انچ (750 ملي ميٽر قطر) ويفرز سان مطابقت رکندڙ، ڊسڪ ڊفيوژن بانڊنگ ٽيڪنالاجي کي استعمال ڪري ٿو ته جيئن اعليٰ درجه حرارت ۽ دٻاءُ هيٺ ملٽي ليئر ڍانچي جي بيحد انضمام ۽ ڊگهي مدت جي اعتبار کي يقيني بڻائي سگهجي، خاص طور تي سي ايم پي عمل جي هڪجهڙائي ۽ پيداوار کي وڌائي ٿي.
ڪسٽمائيز ٿيل مختلف سي سي سيرامڪس حصن جو تعارف
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) چورس آئينو
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) اسڪوائر مرر هڪ اعليٰ درستي وارو آپٽيڪل جزو آهي جيڪو ترقي يافته سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ مان ٺاهيو ويندو آهي، خاص طور تي اعليٰ درجي جي سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ واري سامان جهڙوڪ لٿوگرافي مشينن لاءِ ٺهيل آهي. اهو الٽرا-لائيٽ وزن ۽ اعليٰ سختي (لچڪدار ماڊيولس >400 GPa) کي عقلي هلڪو وزن جي جوڙجڪ ڊيزائن ذريعي حاصل ڪري ٿو (مثال طور، پٺئين پاسي واري هني ڪومب هولوئنگ)، جڏهن ته ان جو انتهائي گهٽ حرارتي توسيع ڪوفيشيٽ (≈4.5×10⁻⁶/℃) گرمي پد جي اتار چڙهاؤ هيٺ طول و عرض جي استحڪام کي يقيني بڻائي ٿو. آئيني جي مٿاڇري، درستي پالش ڪرڻ کان پوءِ، ≤1 μm فليٽ/متوازي حاصل ڪري ٿي، ۽ ان جي غير معمولي لباس مزاحمت (Mohs سختي 9.5) سروس جي زندگي کي وڌائي ٿي. اهو وڏي پيماني تي لٿوگرافي مشين ورڪ اسٽيشنز، ليزر ريفلڪٽرز، ۽ خلائي دوربين ۾ استعمال ٿيندو آهي جتي الٽرا-هاءِ درستگي ۽ استحڪام اهم آهن.
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ايئر فلوٽيشن گائيڊ
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ايئر فلوٽيشن گائيڊ غير رابطي واري ايروسٽٽڪ بيئرنگ ٽيڪنالاجي استعمال ڪن ٿا، جتي دٻيل گئس هڪ مائڪرون-سطح ايئر فلم (عام طور تي 3-20μm) ٺاهيندي آهي ته جيئن رگڙ کان سواءِ ۽ وائبريشن کان سواءِ هموار حرڪت حاصل ڪري سگهجي. اهي نانوميٽرڪ حرڪت جي درستگي (±75nm تائين بار بار پوزيشننگ جي درستگي) ۽ ذيلي مائڪرون جاميٽري درستگي (سڌي ±0.1-0.5μm، فليٽنس ≤1μm) پيش ڪن ٿا، جيڪو پريسيشن گريٽنگ اسڪيل يا ليزر انٽرفيروميٽر سان بند لوپ فيڊ بيڪ ڪنٽرول ذريعي فعال ڪيو ويو آهي. ڪور سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ مواد (اختيارن ۾ ڪوريسڪ® ايس پي/مارول سيڪ سيريز شامل آهن) الٽرا هاءِ سختي (لچڪدار ماڊيولس >400 GPa)، الٽرا لو ٿرمل ايڪسپينشن ڪوفيشينٽ (4.0–4.5×10⁻⁶/K، ميچنگ سلڪون)، ۽ هاءِ ڊينسٽي (پوروسيٽي <0.1%) مهيا ڪري ٿو. ان جي هلڪي وزن واري ڊيزائن (کثافت 3.1g/cm³، ايلومينيم کان پوءِ ٻئي نمبر تي) حرڪت جي جڙت کي گھٽائي ٿي، جڏهن ته غير معمولي لباس مزاحمت (Mohs سختي 9.5) ۽ حرارتي استحڪام تيز رفتار (1m/s) ۽ تيز رفتاري (4G) حالتن ۾ ڊگهي مدت جي اعتبار کي يقيني بڻائي ٿي. اهي گائيڊ سيمي ڪنڊڪٽر لٿوگرافي، ويفر انسپيڪشن، ۽ الٽرا پريسيشن مشيننگ ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿين ٿا.
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ڪراس بيم
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ڪراس-بيم بنيادي حرڪت جا حصا آهن جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر سامان ۽ اعليٰ درجي جي صنعتي ايپليڪيشنن لاءِ ٺهيل آهن، بنيادي طور تي ويفر مرحلن کي کڻڻ ۽ انهن کي تيز رفتار، الٽرا-پريزيشن حرڪت لاءِ مخصوص ٽريجڪٽريز تي رهنمائي ڪرڻ لاءِ ڪم ڪن ٿا. اعليٰ ڪارڪردگي واري سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ (اختيارن ۾ ڪوريسڪ® ايس پي يا مارول سِڪ سيريز شامل آهن) ۽ هلڪو وزن واري ساخت جي ڊيزائن کي استعمال ڪندي، اهي تيز سختي (لچڪدار ماڊيولس> 400 GPa) سان گڏ الٽرا-لائيٽ وزن حاصل ڪن ٿا، ان سان گڏ حرارتي توسيع جي هڪ الٽرا-لو ڪوفيشينٽ (≈4.5×10⁻⁶/℃) ۽ اعليٰ کثافت (پوروسيٽي <0.1%)، نانوميٽرڪ استحڪام (چپٽي/متوازي ≤1μm) کي يقيني بڻائي ٿي حرارتي ۽ مشيني دٻاءُ هيٺ. انهن جون مربوط خاصيتون تيز رفتار ۽ تيز رفتاري جي عملن جي حمايت ڪن ٿيون (مثال طور، 1m/s، 4G)، انهن کي لٿوگرافي مشينن، ويفر انسپيڪشن سسٽم، ۽ درستگي جي پيداوار لاءِ مثالي بڻائين ٿيون، خاص طور تي حرڪت جي درستگي ۽ متحرڪ جوابي ڪارڪردگي کي وڌائين ٿيون.
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) موشن اجزاء
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) موشن ڪمپونينٽ اهم حصا آهن جيڪي اعليٰ درستگي واري سيمي ڪنڊڪٽر موشن سسٽم لاءِ ٺاهيا ويا آهن، جيڪي اعليٰ کثافت واري SiC مواد (مثال طور، Coresic® SP يا Marvel Sic سيريز، porosity <0.1%) ۽ هلڪو وزن واري structural ڊيزائن کي استعمال ڪن ٿا ته جيئن اعليٰ سختي (لچڪدار ماڊيولس >400 GPa) سان الٽرا هلڪو وزن حاصل ڪري سگهجي. حرارتي توسيع جي الٽرا لو ڪوفيشينٽ (≈4.5×10⁻⁶/℃) سان، اهي حرارتي اتار چڙهاؤ هيٺ نانوميٽرڪ استحڪام (چپٽي/متوازي ≤1μm) کي يقيني بڻائين ٿا. اهي مربوط خاصيتون تيز رفتار ۽ تيز رفتار آپريشن (مثال طور، 1m/s، 4G) جي حمايت ڪن ٿيون، انهن کي لٿوگرافي مشينن، ويفر انسپيڪشن سسٽم، ۽ درستگي جي پيداوار لاءِ مثالي بڻائين ٿيون، خاص طور تي حرڪت جي درستگي ۽ متحرڪ جوابي ڪارڪردگي کي وڌائين ٿيون.
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) آپٽيڪل پاٿ پليٽ
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) آپٽيڪل پاٿ پليٽ هڪ ڪور بيس پليٽ فارم آهي جيڪو ويفر انسپيڪشن سامان ۾ ڊبل آپٽيڪل پاٿ سسٽم لاءِ ٺهيل آهي. اعليٰ ڪارڪردگي واري سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ مان ٺهيل، اهو هلڪو وزن (کثافت ≈3.1 g/cm³) ۽ اعليٰ سختي (لچڪدار ماڊيولس >400 GPa) کي هلڪو وزن جي جوڙجڪ ڊيزائن ذريعي حاصل ڪري ٿو، جڏهن ته حرارتي توسيع جي الٽرا گهٽ ڪوفيشينٽ (≈4.5×10⁻⁶/℃) ۽ اعليٰ کثافت (پوروسيٽي <0.1%) جي خاصيت رکي ٿو، جيڪو حرارتي ۽ ميڪيڪل اتار چڙهاؤ هيٺ نانوميٽرڪ استحڪام (چپٽي/متوازي ≤0.02mm) کي يقيني بڻائي ٿو. ان جي وڏي وڌ ۾ وڌ سائيز (900×900mm) ۽ غير معمولي جامع ڪارڪردگي سان، اهو آپٽيڪل سسٽم لاءِ هڪ ڊگهي مدت جي مستحڪم ماؤنٽنگ بيس لائين فراهم ڪري ٿو، خاص طور تي معائني جي درستگي ۽ اعتبار کي وڌائي ٿو. اهو سيمي ڪنڊڪٽر ميٽرولوجي، آپٽيڪل الائنمينٽ، ۽ اعليٰ صحت واري اميجنگ سسٽم ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندو آهي.
گريفائيٽ + ٽينٽلم ڪاربائيڊ ڪوٽيڊ گائيڊ رنگ
گريفائيٽ + ٽينٽلم ڪاربائيڊ ڪوٽيڊ گائيڊ رنگ هڪ اهم جزو آهي جيڪو خاص طور تي سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سنگل ڪرسٽل واڌ جي سامان لاءِ ٺهيل آهي. ان جو بنيادي ڪم تيز گرمي پد واري گئس جي وهڪري کي صحيح طور تي هدايت ڪرڻ آهي، رد عمل چيمبر اندر گرمي پد ۽ وهڪري جي شعبن جي هڪجهڙائي ۽ استحڪام کي يقيني بڻائڻ. اعليٰ پاڪائي واري گريفائيٽ سبسٽريٽ (پاڪائي> 99.99٪) مان ٺهيل هڪ CVD-جمع ٿيل ٽينٽلم ڪاربائيڊ (TaC) پرت (ناپاڪي جي مواد کي ڪوٽنگ <5 ppm) سان ڍڪيل، اهو غير معمولي حرارتي چالکائي (≈120 W/m·K) ۽ انتهائي گرمي پد هيٺ ڪيميائي جڙت (2200°C تائين برداشت ڪندي) ڏيکاري ٿو، مؤثر طريقي سان سلڪون بخار جي سنکنرن کي روڪي ٿو ۽ نجاست جي پکيڙ کي دٻائي ٿو. ڪوٽنگ جي اعليٰ هڪجهڙائي (انحراف <3٪، مڪمل علائقي جي ڪوريج) مسلسل گئس جي رهنمائي ۽ ڊگهي مدت جي خدمت جي اعتبار کي يقيني بڻائي ٿي، خاص طور تي SiC سنگل ڪرسٽل واڌ جي معيار ۽ پيداوار کي وڌائي ٿي.
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) فرنس ٽيوب خلاصو
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) عمودي فرنس ٽيوب
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) عمودي فرنس ٽيوب هڪ اهم جزو آهي جيڪو اعليٰ درجه حرارت واري صنعتي سامان لاءِ ٺهيل آهي، بنيادي طور تي هڪ ٻاهرين حفاظتي ٽيوب طور ڪم ڪري ٿو ته جيئن هوائي ماحول هيٺ فرنس اندر هڪجهڙائي واري حرارتي ورڇ کي يقيني بڻائي سگهجي، جنهن جو عام آپريٽنگ گرمي پد تقريباً 1200 ° C آهي. 3D پرنٽنگ انٽيگريٽڊ فارمنگ ٽيڪنالاجي ذريعي تيار ڪيل، ان ۾ بنيادي مواد جي نجاست جو مواد <300 ppm آهي، ۽ اختياري طور تي CVD سلڪون ڪاربائيڊ ڪوٽنگ (ڪوٽنگ نجاست <5 ppm) سان ليس ٿي سگهي ٿو. اعليٰ حرارتي چالکائي (≈20 W/m·K) ۽ غير معمولي حرارتي جھٽڪي جي استحڪام (حرارتي گريڊينٽس جي مزاحمت >800 ° C) کي گڏ ڪندي، اهو وڏي پيماني تي اعليٰ درجه حرارت جي عملن ۾ استعمال ٿيندو آهي جهڙوڪ سيمي ڪنڊڪٽر گرمي علاج، فوٽووولٽڪ مواد جي سنٽرنگ، ۽ درستگي سيرامڪ پيداوار، خاص طور تي حرارتي هڪجهڙائي ۽ سامان جي ڊگهي مدت جي اعتبار کي وڌائيندي.
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) افقي فرنس ٽيوب
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) افقي فرنس ٽيوب هڪ بنيادي جزو آهي جيڪو اعليٰ درجه حرارت جي عملن لاءِ ٺهيل آهي، جيڪو آڪسيجن (رد عمل گيس)، نائٽروجن (حفاظتي گيس)، ۽ ٽريس هائيڊروجن ڪلورائڊ تي مشتمل ماحول ۾ ڪم ڪندڙ پروسيس ٽيوب طور ڪم ڪري ٿو، جنهن جو عام آپريٽنگ گرمي پد تقريباً 1250 °C آهي. 3D پرنٽنگ انٽيگريٽڊ فارمنگ ٽيڪنالاجي ذريعي تيار ڪيل، ان ۾ بنيادي مواد جي نجاست جو مواد <300 ppm آهي، ۽ اختياري طور تي CVD سلڪون ڪاربائيڊ ڪوٽنگ (ڪوٽنگ نجاست <5 ppm) سان ليس ٿي سگهي ٿو. اعليٰ حرارتي چالکائي (≈20 W/m·K) ۽ غير معمولي حرارتي جھٽڪي جي استحڪام (حرارتي گريڊينٽس جي مزاحمت >800 °C) کي گڏ ڪندي، اهو سيمي ڪنڊڪٽر ايپليڪيشنن جي مطالبي لاءِ مثالي آهي جهڙوڪ آڪسائيڊشن، ڊفيوژن، ۽ پتلي فلم جمع ڪرڻ، ساخت جي سالميت، ماحول جي پاڪائي، ۽ انتهائي حالتن ۾ ڊگهي مدت جي حرارتي استحڪام کي يقيني بڻائڻ.
سي سي سيرامڪ فورڪ آرمز جو تعارف
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار
سيمي ڪنڊڪٽر ويفر جي پيداوار ۾، SiC سيرامڪ فورڪ آرمز بنيادي طور تي ويفرز جي منتقلي ۽ پوزيشن لاءِ استعمال ٿيندا آهن، عام طور تي هيٺ ڏنل علائقن ۾ مليا آهن:
- ويفر پروسيسنگ جو سامان: جهڙوڪ ويفر ڪيسٽ ۽ پروسيس بوٽ، جيڪي تيز گرمي پد ۽ corrosive عمل جي ماحول ۾ مستحڪم طور تي هلن ٿا.
- لٿوگرافي مشينون: اسٽيجز، گائيڊز، ۽ روبوٽڪ آرمز جهڙن درست حصن ۾ استعمال ٿينديون آهن، جتي انهن جي اعليٰ سختي ۽ گهٽ حرارتي خرابي نانو ميٽر جي سطح جي حرڪت جي درستگي کي يقيني بڻائي ٿي.
- ايچنگ ۽ ڊفيوژن جا عمل: سيمي ڪنڊڪٽر ڊفيوژن جي عملن لاءِ ICP ايچنگ ٽري ۽ حصن جي طور تي ڪم ڪندي، انهن جي اعليٰ پاڪائي ۽ سنکنرن جي مزاحمت پروسيس چيمبرن ۾ آلودگي کي روڪي ٿي.
صنعتي خودڪار ۽ روبوٽڪس
سي آءِ سي سيرامڪ فورڪ آرمز اعليٰ ڪارڪردگي وارن صنعتي روبوٽس ۽ خودڪار سامان ۾ اهم جزا آهن:
- روبوٽڪ اينڊ ايفيڪٽرز: هينڊلنگ، اسيمبلي، ۽ درست آپريشن لاءِ استعمال ٿيندا آهن. انهن جي هلڪي وزن جون خاصيتون (کثافت ~3.21 g/cm³) روبوٽ جي رفتار ۽ ڪارڪردگي کي وڌائين ٿيون، جڏهن ته انهن جي اعليٰ سختي (وِڪرز سختي ~2500) غير معمولي لباس مزاحمت کي يقيني بڻائي ٿي.
- خودڪار پيداوار جون لائينون: اهڙين حالتن ۾ جن ۾ اعليٰ تعدد، اعليٰ درستگي واري هينڊلنگ جي ضرورت هوندي آهي (مثال طور، اي ڪامرس گودام، ڪارخاني جي اسٽوريج)، سي آءِ سي فورڪ آرمز ڊگهي مدت جي مستحڪم ڪارڪردگي جي ضمانت ڏين ٿا.
خلائي ۽ نئين توانائي
انتهائي ماحول ۾، SiC سيرامڪ فورڪ هٿيار پنهنجي اعليٰ درجه حرارت جي مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، ۽ حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت کي استعمال ڪن ٿا:
- خلائي جهاز: خلائي جهازن ۽ ڊرونز جي اهم حصن ۾ استعمال ٿيندو آهي، جتي انهن جي هلڪي وزن ۽ اعليٰ طاقت واري ملڪيت وزن گهٽائڻ ۽ ڪارڪردگي وڌائڻ ۾ مدد ڪندي آهي.
- نئين توانائي: فوٽووولٽڪ صنعت لاءِ پيداواري سامان ۾ لاڳو ڪيو ويو (مثال طور، ڊفيوژن فرنس) ۽ ليٿيم-آئن بيٽري جي پيداوار ۾ درست ساخت جي اجزاء جي طور تي.
تيز گرمي پد جي صنعتي پروسيسنگ
SiC سيرامڪ فورڪ آرمز 1600 ° C کان وڌيڪ گرمي پد کي برداشت ڪري سگهن ٿا، انهن کي مناسب بڻائي ٿو:
- ڌاتو، سيرامڪس، ۽ شيشي جون صنعتون: اعليٰ درجه حرارت جي مينپوليٽر، سيٽر پليٽس، ۽ پش پليٽس ۾ استعمال ٿيندڙ.
- نيوڪليئر توانائي: انهن جي تابڪاري مزاحمت جي ڪري، اهي نيوڪليئر ري ايڪٽرن ۾ ڪجهه حصن لاءِ موزون آهن.
طبي سامان
طبي ميدان ۾، SiC سيرامڪ فورڪ هٿيار بنيادي طور تي استعمال ڪيا ويندا آهن:
- طبي روبوٽ ۽ جراحي آلات: انهن جي بايو مطابقت، سنکنرن جي مزاحمت، ۽ نسبندي واري ماحول ۾ استحڪام لاءِ قابل قدر.
سي سي ڪوٽنگ جو جائزو
| عام خاصيتون | يونٽس | قدر |
| بناوت |
| ايف سي سي β مرحلو |
| رخ ڏيڻ | حصو (٪) | 111 ترجيح ڏني وئي |
| گھڻي کثافت | گرام/سينٽي ميٽر³ | 3.21 |
| سختي | وِڪرز جي سختي | 2500 |
| گرمي جي گنجائش | ج·ڪلوگرام-1 ·ڪ-1 | 640 |
| حرارتي توسيع 100–600 °C (212–1112 °F) | 10-6K-1 | 4.5 |
| ينگ جو ماڊيولس | جي پي اي (4 پوائنٽ موڙ، 1300 ℃) | 430 |
| اناج جي ماپ | مائڪرون | 2 ~ 10 |
| ٻاڦڪاري جي درجه حرارت | ℃ | 2700 |
| فيليڪسورل طاقت | ايم پي اي (آر ٽي 4 پوائنٽ) | 415 |
| حرارتي چالکائي | (ڊبليو/ميلو ڪلو) | 300 |
سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ اسٽرڪچرل حصن جو جائزو
سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ جي بناوت جا جزا سلڪون ڪاربائيڊ جي ذرڙن مان حاصل ڪيا ويندا آهن جيڪي سنٽرنگ ذريعي هڪٻئي سان ڳنڍيل هوندا آهن. اهي آٽوميٽو، مشينري، ڪيميڪل، سيمي ڪنڊڪٽر، خلائي ٽيڪنالاجي، مائڪرو اليڪٽرانڪس ۽ توانائي جي شعبن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندا آهن، انهن صنعتن ۾ مختلف ايپليڪيشنن ۾ اهم ڪردار ادا ڪندا آهن. انهن جي غير معمولي خاصيتن جي ڪري، سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ جي بناوت جا جزا سخت حالتن لاءِ هڪ مثالي مواد بڻجي ويا آهن جن ۾ اعليٰ درجه حرارت، اعليٰ دٻاءُ، سنکنرن ۽ لباس شامل آهن، جيڪي مشڪل آپريٽنگ ماحول ۾ قابل اعتماد ڪارڪردگي ۽ ڊگهي عمر فراهم ڪن ٿا.سي آءِ سي سيل حصن جو جائزو
SiC سيل سخت ماحول (جهڙوڪ تيز گرمي پد، تيز دٻاءُ، corrosive ميڊيا، ۽ تيز رفتار لباس) لاءِ هڪ مثالي انتخاب آهن ڇاڪاڻ ته انهن جي غير معمولي سختي، لباس مزاحمت، تيز گرمي پد مزاحمت (1600 ° C يا اڃا 2000 ° C تائين گرمي پد برداشت ڪرڻ)، ۽ سنکنرن مزاحمت جي ڪري. انهن جي اعلي حرارتي چالکائي موثر گرمي جي ضايع ڪرڻ کي آسان بڻائي ٿي، جڏهن ته انهن جي گهٽ رگڙ جي کوٽائي ۽ خود چکڻ واري ملڪيت انتهائي آپريٽنگ حالتن ۾ سيلنگ جي اعتبار ۽ ڊگهي سروس جي زندگي کي يقيني بڻائي ٿي. اهي خاصيتون SiC سيل کي پيٽروڪيميڪل، کان کني، سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار، گندي پاڻي جي علاج، ۽ توانائي جهڙين صنعتن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ڪن ٿيون، سار سنڀال جي خرچن کي گهٽائي، ڊائون ٽائيم کي گهٽائي، ۽ سامان جي آپريشنل ڪارڪردگي ۽ حفاظت کي وڌائين ٿيون.
سي سي سيرامڪ پليٽس جو مختصر تعارف
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سيرامڪ پليٽون پنهنجي غير معمولي سختي (9.5 تائين Mohs سختي، هيرن کان پوءِ ٻئي نمبر تي)، شاندار حرارتي چالکائي (موثر گرمي جي انتظام لاءِ گهڻن سيرامڪس کان گهڻو وڌيڪ)، ۽ قابل ذڪر ڪيميائي جڙت ۽ حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت (مضبوط تيزاب، الڪليس، ۽ تيز گرمي پد جي اتار چڙهاؤ جي باوجود) لاءِ مشهور آهن. اهي خاصيتون انتهائي ماحول ۾ ساخت جي استحڪام ۽ قابل اعتماد ڪارڪردگي کي يقيني بڻائين ٿيون (مثال طور، تيز گرمي پد، رگڙ، ۽ سنکنرن)، جڏهن ته سروس جي زندگي کي وڌايو ۽ سار سنڀال جي ضرورتن کي گهٽايو.
سي سي سيرامڪ پليٽون وڏي پيماني تي اعليٰ ڪارڪردگي وارن شعبن ۾ استعمال ٿينديون آهن:
• رگڙ ۽ پيسڻ جا اوزار: پيسڻ واري ڦيٿي ۽ پالش ڪرڻ جا اوزار ٺاهڻ لاءِ انتهائي اعليٰ سختي جو فائدو وٺندي، رگڙ واري ماحول ۾ درستگي ۽ استحڪام کي وڌايو.
• ريفريڪٽري مواد: فرنس استر ۽ ڀُٽي جي حصن جي طور تي ڪم ڪندي، 1600 ° C کان مٿي استحڪام برقرار رکندي حرارتي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ ۽ سار سنڀال جي خرچن کي گهٽائڻ لاءِ.
•سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري: هاءِ پاور اليڪٽرانڪ ڊوائيسز (مثال طور، پاور ڊائيوڊ ۽ آر ايف ايمپليفائر) لاءِ سبسٽريٽ طور ڪم ڪندي، اعتبار ۽ توانائي جي ڪارڪردگي کي وڌائڻ لاءِ هاءِ وولٽيج ۽ هاءِ ٽمپريچر آپريشنز جي مدد ڪندي.
• ڪاسٽنگ ۽ سميلٽنگ: ڌاتو جي پروسيسنگ ۾ روايتي مواد کي تبديل ڪرڻ ته جيئن موثر گرمي جي منتقلي ۽ ڪيميائي سنکنرن جي مزاحمت کي يقيني بڻائي سگهجي، ڌاتو جي معيار ۽ قيمت جي اثرائتي کي وڌايو وڃي.
سي سي ويفر ٻيڙي جو خلاصو
XKH SiC سيرامڪ ٻيڙيون اعليٰ حرارتي استحڪام، ڪيميائي جڙت، درست انجنيئرنگ، ۽ اقتصادي ڪارڪردگي فراهم ڪن ٿيون، سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار لاءِ هڪ اعليٰ ڪارڪردگي وارو ڪيريئر حل فراهم ڪن ٿيون. اهي ويفر هينڊلنگ جي حفاظت، صفائي، ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي کي خاص طور تي وڌائين ٿيون، انهن کي ترقي يافته ويفر ٺاھڻ ۾ ناگزير جزو بڻائين ٿيون.
سي سي سيرامڪ ٻيڙيون ايپليڪيشنون:
سي آءِ سي سيرامڪ ٻيڙيون وڏي پيماني تي فرنٽ اينڊ سيمي ڪنڊڪٽر عملن ۾ استعمال ٿينديون آهن، جن ۾ شامل آهن:
• جمع ڪرڻ جا عمل: جهڙوڪ LPCVD (گهٽ دٻاءُ وارو ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ) ۽ PECVD (پلازما-بڑھايل ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ).
• اعليٰ درجه حرارت جا علاج: جنهن ۾ ٿرمل آڪسائيڊيشن، اينيلنگ، ڊفيوژن، ۽ آئن امپلانٽيشن شامل آهن.
• گلي ۽ صفائي جا عمل: ويفر جي صفائي ۽ ڪيميائي هٿ ڪرڻ جا مرحلا.
ٻنهي ماحولي ۽ ويڪيوم عمل جي ماحول سان مطابقت رکندڙ،
اهي انهن ڪارخانن لاءِ مثالي آهن جيڪي آلودگي جي خطرن کي گهٽائڻ ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ چاهين ٿا.
سي سي ويفر بوٽ جا پيرا ميٽر:
| ٽيڪنيڪل خاصيتون | ||||
| انڊيڪس | يونٽ | قدر | ||
| مواد جو نالو | رد عمل سينٽرڊ سلڪون ڪاربائيڊ | پريشر کان سواءِ سينٽرڊ سلڪون ڪاربائيڊ | ٻيهر ڪرسٽل ٿيل سلڪون ڪاربائيڊ | |
| بناوت | آر بي ايس آءِ سي | ايس ايس آءِ سي | آر-سي آءِ سي | |
| گھڻي کثافت | گرام/سينٽي ميٽر 3 | 3 | 3.15 ± 0.03 | 2.60-2.70 |
| لچڪدار طاقت | ايم پي اي (ڪي پي ايس آءِ) | 338 (49) | 380 (55) | 80-90 (20 ° سي) 90-100 (1400 ° سي) |
| دٻاءُ واري طاقت | ايم پي اي (ڪي پي ايس آءِ) | 1120 (158) | 3970 (560) | > 600 |
| سختي | نوپ | 2700 | 2800 | / |
| مضبوطي ٽوڙڻ | ايم پي اي ايم 1/2 | 4.5 | 4 | / |
| حرارتي چالکائي | اوچائي/ميڪ | 95 | 120 | 23 |
| حرارتي توسيع جو ڪوفيشينٽ | 10-6.1/°سي | 5 | 4 | 4.7 |
| مخصوص گرمي | جول/گرام 0 ڪلو | 0.8 | 0.67 | / |
| هوا ۾ وڌ ۾ وڌ گرمي پد | ℃ | 1200 | 1500 | 1600 |
| لچڪدار ماڊيولس | جي پي اي | 360 | 410 | 240 |
سي سي سيرامڪس مختلف ڪسٽم اجزاء ڊسپلي
سي سي سيرامڪ جھلي
SiC سيرامڪ جھلي هڪ جديد فلٽريشن حل آهي جيڪو خالص سلڪون ڪاربائيڊ مان تيار ڪيو ويو آهي، جنهن ۾ هڪ مضبوط ٽي-پرت جي جوڙجڪ (سپورٽ پرت، منتقلي پرت، ۽ الڳ ٿيڻ واري جھلي) شامل آهي جيڪا اعليٰ درجه حرارت جي سنٽرنگ عملن ذريعي انجنيئر ڪئي وئي آهي. هي ڊيزائن غير معمولي ميڪيڪل طاقت، صحيح سوراخ جي سائيز جي تقسيم، ۽ شاندار استحڪام کي يقيني بڻائي ٿي. اهو مختلف صنعتي ايپليڪيشنن ۾ موثر طريقي سان الڳ ڪرڻ، مرڪوز ڪرڻ، ۽ سيال صاف ڪرڻ سان شاندار آهي. اهم استعمال ۾ پاڻي ۽ گندي پاڻي جي علاج (معطل ٿيل جامد، بيڪٽيريا، ۽ نامياتي آلودگي کي هٽائڻ)، کاڌو ۽ مشروبات جي پروسيسنگ (جوس، ڊيري، ۽ خمير ٿيل مائع کي واضح ڪرڻ ۽ مرڪوز ڪرڻ)، دواسازي ۽ بايو ٽيڪنالاجي آپريشن (بائيو فلوئڊ ۽ انٽرميڊيٽ کي صاف ڪرڻ)، ڪيميائي پروسيسنگ (مرض ڪندڙ سيال ۽ ڪيٽالسٽ کي فلٽر ڪرڻ)، ۽ تيل ۽ گئس ايپليڪيشنون (پيدا ٿيل پاڻي جو علاج ۽ آلودگي کي ختم ڪرڻ) شامل آهن.
سي سي پائپ
SiC (سلڪون ڪاربائيڊ) ٽيوب اعليٰ ڪارڪردگي وارا سيرامڪ جزا آهن جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر فرنس سسٽم لاءِ ٺهيل آهن، جيڪي اعليٰ پاڪائي واري فائن گرين سلڪون ڪاربائيڊ مان جديد سنٽرنگ ٽيڪنڪ ذريعي ٺاهيا ويا آهن. اهي غير معمولي حرارتي چالکائي، اعليٰ درجه حرارت جي استحڪام (1600 ° C کان وڌيڪ جي باوجود)، ۽ ڪيميائي سنکنرن جي مزاحمت جو مظاهرو ڪن ٿا. انهن جي گهٽ حرارتي توسيع جي گنجائش ۽ اعليٰ ميڪيڪل طاقت انتهائي حرارتي سائيڪلنگ هيٺ طول و عرض جي استحڪام کي يقيني بڻائي ٿي، مؤثر طريقي سان حرارتي دٻاءُ جي خرابي ۽ لباس کي گهٽائي ٿي. SiC ٽيوب ڊفيوژن فرنس، آڪسائيڊيشن فرنس، ۽ LPCVD/PECVD سسٽم لاءِ موزون آهن، هڪجهڙائي گرمي پد جي ورڇ ۽ مستحڪم عمل جي حالتن کي فعال بڻائي ٿي ته جيئن ويفر جي خرابين کي گهٽ ڪري سگهجي ۽ پتلي فلم جمع ڪرڻ جي هڪجهڙائي کي بهتر بڻائي سگهجي. اضافي طور تي، SiC جي ٿلهي، غير پورس جوڙجڪ ۽ ڪيميائي جڙت آڪسيجن، هائيڊروجن، ۽ امونيا جهڙين رد عمل واري گيسن مان ڪٽاؤ جي مزاحمت ڪري ٿي، سروس جي زندگي کي وڌائي ٿي ۽ عمل جي صفائي کي يقيني بڻائي ٿي. SiC ٽيوب کي سائيز ۽ ڀت جي ٿولهه ۾ ترتيب ڏئي سگهجي ٿو، درست مشيننگ سان هموار اندروني سطحون ۽ ليمينر وهڪري ۽ متوازن حرارتي پروفائلز کي سپورٽ ڪرڻ لاءِ اعليٰ مرڪوزيت حاصل ڪري ٿي. مٿاڇري جي پالش ڪرڻ يا ڪوٽنگ جا آپشن ذرڙن جي پيداوار کي وڌيڪ گھٽ ڪن ٿا ۽ سنکنرن جي مزاحمت کي وڌائين ٿا، درستگي ۽ اعتبار لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي سخت ضرورتن کي پورو ڪن ٿا.
سي سي سيرامڪ ڪينٽيليور پيڊل
SiC ڪينٽيليور بليڊن جو سنگ بنياد ڊيزائن خاص طور تي ميڪيڪل مضبوطي ۽ حرارتي یکسانيت کي وڌائي ٿو جڏهن ته جامع مواد ۾ عام جوڑوں ۽ ڪمزور پوائنٽن کي ختم ڪري ٿو. انهن جي مٿاڇري کي آئيني جي ويجهو ختم ڪرڻ لاءِ درستگي سان پالش ڪيو ويو آهي، ذرات جي پيداوار کي گهٽ ۾ گهٽ ڪري ٿو ۽ صاف ڪمري جي معيارن کي پورو ڪري ٿو. SiC جي موروثي ڪيميائي جڙت رد عمل واري ماحول ۾ آئوٽ گيسنگ، سنکنرن، ۽ عمل جي آلودگي کي روڪي ٿي (مثال طور، آڪسيجن، ٻاڦ)، پکيڙ / آڪسائيڊشن جي عملن ۾ استحڪام ۽ اعتبار کي يقيني بڻائي ٿي. تيز حرارتي سائيڪلنگ جي باوجود، SiC ساخت جي سالميت کي برقرار رکي ٿو، سروس جي زندگي کي وڌائي ٿو ۽ سار سنڀال جي وقت کي گهٽائي ٿو. SiC جي هلڪي نوعيت تيز حرارتي ردعمل کي فعال ڪري ٿي، حرارتي / ٿڌي شرح کي تيز ڪري ٿي ۽ پيداوار ۽ توانائي جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿي. اهي بليڊ حسب ضرورت سائزن ۾ موجود آهن (100mm کان 300mm+ ويفرز سان مطابقت رکندڙ) ۽ مختلف فرنس ڊيزائنن سان مطابقت رکن ٿا، فرنٽ اينڊ ۽ بيڪ اينڊ سيمي ڪنڊڪٽر ٻنهي عملن ۾ مسلسل ڪارڪردگي فراهم ڪن ٿا.
ايلومينا ويڪيوم چڪ جو تعارف
Al₂O₃ ويڪيوم چڪس سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ اهم اوزار آهن، جيڪي ڪيترن ئي عملن ۾ مستحڪم ۽ صحيح مدد فراهم ڪن ٿا:•ٿننگ: ويفر ٿننگ دوران هڪجهڙائي واري مدد پيش ڪري ٿي، چپ جي گرمي جي ضايع ٿيڻ ۽ ڊوائيس جي ڪارڪردگي کي وڌائڻ لاءِ اعليٰ درستگي واري سبسٽريٽ جي گهٽتائي کي يقيني بڻائي ٿي.
• ڊائسنگ: ويفر ڊائسنگ دوران محفوظ جذب فراهم ڪري ٿو، نقصان جي خطرن کي گھٽائي ٿو ۽ انفرادي چپس لاءِ صاف ڪٽ کي يقيني بڻائي ٿو.
•صفائي: ان جي هموار، هڪجهڙائي جذب ڪندڙ مٿاڇري صفائي جي عملن دوران ويفرز کي نقصان پهچائڻ کان سواءِ آلودگي کي مؤثر طريقي سان هٽائڻ جي قابل بڻائي ٿي.
• ٽرانسپورٽ: ويفر هينڊلنگ ۽ ٽرانسپورٽ دوران قابل اعتماد ۽ محفوظ مدد فراهم ڪري ٿو، نقصان ۽ آلودگي جي خطرن کي گهٽائي ٿو.
1. يونيفارم مائڪرو پورس سيرامڪ ٽيڪنالاجي
• نانو پائوڊر استعمال ڪري ٿو ته جيئن هڪجهڙائي سان ورهايل ۽ هڪٻئي سان ڳنڍيل سوراخ ٺاهيا وڃن، جنهن جي نتيجي ۾ اعليٰ پورسيٽي ۽ هڪجهڙائي سان گهاٽي جوڙجڪ پيدا ٿئي ٿي جيڪا مسلسل ۽ قابل اعتماد ويفر سپورٽ لاءِ آهي.
2. غير معمولي مادي خاصيتون
-الٽرا پيور 99.99٪ ايلومينا (Al₂O₃) مان ٺهيل، اهو ڏيکاري ٿو:
• حرارتي خاصيتون: اعليٰ گرمي مزاحمت ۽ بهترين حرارتي چالکائي، اعليٰ درجه حرارت واري سيمي ڪنڊڪٽر ماحول لاءِ موزون.
• مشيني خاصيتون: اعليٰ طاقت ۽ سختي پائيداري، لباس جي مزاحمت، ۽ ڊگهي خدمت زندگي کي يقيني بڻائي ٿي.
• اضافي فائدا: اعليٰ بجلي جي موصليت ۽ سنکنرن جي مزاحمت، مختلف پيداوار جي حالتن سان مطابقت رکندڙ.
3. اعليٰ هموار ۽ متوازي•وڌيڪ هموار ۽ متوازي سان صحيح ۽ مستحڪم ويفر هينڊلنگ کي يقيني بڻائي ٿو، نقصان جي خطرن کي گهٽائي ٿو ۽ مسلسل پروسيسنگ نتيجن کي يقيني بڻائي ٿو. ان جي سٺي هوا جي پارگميتا ۽ هڪجهڙائي جذب قوت آپريشنل اعتبار کي وڌيڪ وڌائي ٿي.
Al₂O₃ ويڪيوم چڪ جديد مائڪرو پورس ٽيڪنالاجي، غير معمولي مادي خاصيتن، ۽ اعليٰ درستگي کي ضم ڪري ٿو ته جيئن نازڪ سيمي ڪنڊڪٽر عملن کي سپورٽ ڪري سگهجي، ڪارڪردگي، اعتبار، ۽ ٿلهي ڪرڻ، ڊائسنگ، صفائي، ۽ ٽرانسپورٽ مرحلن ۾ آلودگي ڪنٽرول کي يقيني بڻائي سگهجي.
ايلومينا روبوٽ بازو ۽ ايلومينا سيرامڪ اينڊ ايفيڪٽر بريف
ايلومينا (Al₂O₃) سيرامڪ روبوٽڪ هٿيار سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ويفر هينڊلنگ لاءِ اهم جزا آهن. اهي سڌو سنئون ويفر سان رابطو ڪن ٿا ۽ ويڪيوم يا اعليٰ درجه حرارت جي حالتن جهڙن سخت ماحول ۾ صحيح منتقلي ۽ پوزيشننگ جا ذميوار آهن. انهن جو بنيادي قدر ويفر جي حفاظت کي يقيني بڻائڻ، آلودگي کي روڪڻ، ۽ غير معمولي مادي خاصيتن ذريعي سامان جي آپريشنل ڪارڪردگي ۽ پيداوار کي بهتر بڻائڻ ۾ آهي.
| خصوصيت جي ماپ | تفصيلي وضاحت |
| مشيني خاصيتون | اعليٰ پاڪائي وارو ايلومينا (مثال طور، >99٪) اعليٰ سختي (9 تائين موهس سختي) ۽ لچڪدار طاقت (250-500 ايم پي اي تائين) فراهم ڪري ٿو، جيڪو لباس جي مزاحمت ۽ خرابي کان بچڻ کي يقيني بڻائي ٿو، ان ڪري سروس جي زندگي وڌائي ٿو.
|
| بجلي جي موصليت | ڪمري جي گرمي پد جي مزاحمت 10¹⁵ Ω·cm تائين ۽ 15 kV/mm جي موصليت جي طاقت مؤثر طريقي سان اليڪٽرو اسٽيٽڪ ڊسچارج (ESD) کي روڪي ٿي، حساس ويفرز کي برقي مداخلت ۽ نقصان کان بچائي ٿي.
|
| حرارتي استحڪام | 2050°C تائين پگھلڻ واري نقطي کي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ اعليٰ درجه حرارت جي عملن (مثال طور، RTA، CVD) کي برداشت ڪرڻ جي قابل بڻائي ٿو. گھٽ حرارتي توسيع ڪوئفيشنٽ وارپنگ کي گھٽ ڪري ٿو ۽ گرمي هيٺ طول و عرض جي استحڪام کي برقرار رکي ٿو.
|
| ڪيميائي غير فعالي (Chemical Inertness) | گھڻن تيزابن، الڪليس، پروسيس گيسن، ۽ صفائي جي ايجنٽن ۾ غير فعال، ذرات جي آلودگي يا ڌاتو آئن جي ڇڏڻ کي روڪي ٿو. هي هڪ انتهائي صاف پيداوار ماحول کي يقيني بڻائي ٿو ۽ ويفر سطح جي آلودگي کان بچي ٿو.
|
| ٻيا فائدا | پختو پروسيسنگ ٽيڪنالاجي اعليٰ قيمت جي اثرائتي پيش ڪري ٿي؛ مٿاڇري کي گهٽ کھردری تائين درستگي سان پالش ڪري سگهجي ٿو، ذرڙن جي پيداوار جي خطرن کي وڌيڪ گهٽائي ٿو.
|
ايلومينا سيرامڪ روبوٽڪ هٿيار بنيادي طور تي فرنٽ اينڊ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عملن ۾ استعمال ٿيندا آهن، جن ۾ شامل آهن:
• ويفر هينڊلنگ ۽ پوزيشننگ: ويفرز کي محفوظ ۽ صحيح طور تي منتقل ڪريو ۽ پوزيشن ڪريو (مثال طور، 100 ملي ميٽر کان 300 ملي ميٽر+ سائيز) ويڪيوم يا اعليٰ پاڪائي واري غير فعال گئس ماحول ۾، نقصان ۽ آلودگي جي خطرن کي گھٽ ۾ گھٽ.
•اعليٰ درجه حرارت جا عمل: جهڙوڪ تيز حرارتي اينيلنگ (RTA)، ڪيميائي بخارات جمع ڪرڻ (CVD)، ۽ پلازما ايچنگ، جتي اهي اعليٰ درجه حرارت هيٺ استحڪام برقرار رکندا آهن، عمل جي تسلسل ۽ پيداوار کي يقيني بڻائيندا آهن.
خودڪار ويفر هينڊلنگ سسٽم: ويفر هينڊلنگ روبوٽس ۾ اينڊ ايفيڪٽرز جي طور تي ضم ٿيل آهي ته جيئن سامان جي وچ ۾ ويفر جي منتقلي کي خودڪار بڻائي سگهجي، پيداوار جي ڪارڪردگي کي وڌايو وڃي.
ٿڪل
XKH ڪسٽمائيز سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ۽ ايلومينيا (Al₂O₃) سيرامڪ حصن جي آر اينڊ ڊي ۽ پيداوار ۾ ماهر آهي، جنهن ۾ روبوٽڪ آرمز، ڪينٽيليور پيڊلز، ويڪيوم چڪس، ويفر بوٽس، فرنس ٽيوب، ۽ ٻيا اعليٰ ڪارڪردگي وارا حصا، سيمي ڪنڊڪٽرز، نئين توانائي، ايرو اسپيس، ۽ اعليٰ درجه حرارت جون صنعتون شامل آهن. اسان درستگي جي پيداوار، سخت معيار جي ڪنٽرول، ۽ ٽيڪنالاجي جدت تي عمل ڪريون ٿا، جديد سنٽرنگ عملن (مثال طور، پريشر ليس سنٽرنگ، ري ايڪشن سنٽرنگ) ۽ درستگي مشيننگ ٽيڪنڪ (مثال طور، CNC گرائنڊنگ، پالشنگ) کي استعمال ڪندي غير معمولي اعليٰ درجه حرارت جي مزاحمت، ميڪيڪل طاقت، ڪيميائي جڙت، ۽ طول و عرض جي درستگي کي يقيني بڻايون ٿا. اسان ڊرائنگ جي بنياد تي ڪسٽمائيزيشن جي حمايت ڪريون ٿا، طول و عرض، شڪلون، مٿاڇري جي ختم ٿيڻ، ۽ مخصوص ڪلائنٽ گهرجن کي پورو ڪرڻ لاءِ مواد جي گريڊ لاءِ ٺهيل حل پيش ڪريون ٿا. اسان عالمي اعليٰ درجي جي پيداوار لاءِ قابل اعتماد ۽ ڪارآمد سيرامڪ اجزاء فراهم ڪرڻ، اسان جي گراهڪن لاءِ سامان جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي کي وڌائڻ لاءِ پرعزم آهيون.
