سلڪون / سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ويفر چار اسٽيج سان ڳنڍيل پالشنگ آٽوميشن لائن (انٽيگريٽيڊ پوسٽ پولش هينڊلنگ لائن)
تفصيلي ڊاگرام
جائزو
هي چار مرحلن واري ڳنڍيل پالشنگ آٽوميشن لائن هڪ مربوط، ان لائن حل آهي جنهن لاءِ ٺهيل آهيپوسٽ-پولش / پوسٽ-سي ايم پيجي آپريشنسليڪان۽سلڪون ڪاربائيڊ (SiC)ويفرز. چوڌاري ٺهيلسيرامڪ ڪيريئر (سيرامڪ پليٽون)، سسٽم ڪيترن ئي ڊائون اسٽريم ڪمن کي هڪ هم آهنگ لائن ۾ گڏ ڪري ٿو - فيبرڪس کي دستي هينڊلنگ کي گهٽائڻ، ٽاڪ ٽائيم کي مستحڪم ڪرڻ، ۽ آلودگي ڪنٽرول کي مضبوط ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿو.
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾،سي ايم پي کان پوءِ اثرائتي صفائيايندڙ عمل کان اڳ خرابين کي گهٽائڻ لاءِ هڪ اهم قدم جي طور تي وڏي پيماني تي تسليم ڪيو ويو آهي، ۽ جديد طريقا (بشمولميگا سونڪ صفائي) عام طور تي ذرات کي ختم ڪرڻ جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ لاءِ بحث ڪيو ويندو آهي.
خاص طور تي SiC لاءِ، ان جواعلي سختي ۽ ڪيميائي جڙتپالش ڪرڻ کي چئلينجنگ بڻائي ٿو (اڪثر ڪري گهٽ مواد هٽائڻ جي شرح ۽ مٿاڇري/زمين جي هيٺان نقصان جي وڌيڪ خطري سان لاڳاپيل)، جيڪو مستحڪم پوسٽ پالش آٽوميشن ۽ ڪنٽرول ٿيل صفائي/هٿ ڪرڻ کي خاص طور تي قيمتي بڻائي ٿو.
اهم فائدا
هڪ واحد مربوط لائن جيڪا سپورٽ ڪري ٿي:
-
ويفر جي الڳ ٿيڻ ۽ گڏ ٿيڻ(پالش ڪرڻ کان پوءِ)
-
سيرامڪ ڪيريئر بفرنگ / اسٽوريج
-
سيرامڪ ڪيريئر جي صفائي
-
سيرامڪ ڪيريئرز تي ويفر لڳائڻ (پيسٽ ڪرڻ)
-
گڏيل، هڪ لائن آپريشن لاءِ6-8 انچ ويفرز
ٽيڪنيڪل وضاحتون (مهيا ڪيل ڊيٽا شيٽ مان)
-
سامان جا طول و عرض (L×W×H):13643 × 5030 × 2300 ملي ميٽر
-
بجلي جي فراهمي:اي سي 380 وي، 50 هرٽز
-
ڪُل طاقت:119 ڪلوواٽ
-
چڙهڻ جي صفائي:0.5 μm < 50 ea؛ 5 μm < 1 ea
-
چڙهڻ جي برابري:≤ 2 μm
ٿرو پُٽ ريفرنس (مهيا ڪيل ڊيٽا شيٽ مان)
-
سامان جا طول و عرض (L×W×H):13643 × 5030 × 2300 ملي ميٽر
-
بجلي جي فراهمي:اي سي 380 وي، 50 هرٽز
-
ڪُل طاقت:119 ڪلوواٽ
-
چڙهڻ جي صفائي:0.5 μm < 50 ea؛ 5 μm < 1 ea
-
چڙهڻ جي برابري:≤ 2 μm
عام لڪير جو وهڪرو
-
اپ اسٽريم پالش ڪرڻ واري علائقي مان انفيڊ / انٽرفيس
-
ويفر جي الڳ ٿيڻ ۽ گڏ ڪرڻ
-
سيرامڪ ڪيريئر بفرنگ/اسٽوريج (ٽيڪٽ ٽائيم ڊيڪپلنگ)
-
سيرامڪ ڪيريئر جي صفائي
-
ڪيريئرز تي ويفر چڙهڻ (صفائي ۽ هموار ڪنٽرول سان)
-
هيٺئين وهڪري جي عمل يا رسد ڏانهن ٻاهر نڪرڻ
سوال
سوال 1: هي لائين بنيادي طور تي ڪهڙا مسئلا حل ڪري ٿي؟
الف: اهو ويفر سيپريشن/ڪليڪشن، سيرامڪ ڪيريئر بفرنگ، ڪيريئر صفائي، ۽ ويفر ماؤنٽنگ کي هڪ مربوط آٽوميشن لائن ۾ ضم ڪندي پوسٽ پالش آپريشن کي منظم ڪري ٿو - دستي ٽچ پوائنٽس کي گهٽائڻ ۽ پيداوار جي تال کي مستحڪم ڪرڻ.
سوال 2: ڪهڙا ويفر مواد ۽ سائز سپورٽ ٿيل آهن؟
الف:سلڪون ۽ سي سي،6-8 انچويفرز (مهيا ڪيل وضاحت مطابق).
سوال 3: صنعت ۾ سي ايم پي کان پوءِ صفائي تي ڇو زور ڏنو ويو آهي؟
الف: انڊسٽري لٽريچر نمايان ڪري ٿو ته سي ايم پي کان پوءِ اثرائتي صفائي جي گهرج وڌي وئي آهي ته جيئن ايندڙ قدم کان اڳ خرابي جي کثافت کي گهٽائي سگهجي؛ ميگاسونڪ تي ٻڌل طريقن جو عام طور تي ذرڙن کي ختم ڪرڻ کي بهتر بڻائڻ لاءِ مطالعو ڪيو ويندو آهي.
اسان جي باري ۾
XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوجي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز هجڻ جو مقصد.
