ويفر چِپنگ ڇا آهي ۽ ان کي ڪيئن حل ڪري سگهجي ٿو؟

ويفر ڊائسنگ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ هڪ اهم عمل آهي ۽ ان جو سڌو سنئون اثر آخري چپ جي معيار ۽ ڪارڪردگي تي پوي ٿو. اصل پيداوار ۾،ويفر چِپنگ- خاص طور تيسامهون واري پاسي جي ڇِپنگ۽پوئين پاسي کان ڇِپَڻ- هڪ عام ۽ سنگين نقص آهي جيڪو پيداوار جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار کي خاص طور تي محدود ڪري ٿو. چپنگ نه رڳو چپس جي ظاهر کي متاثر ڪري ٿي پر انهن جي برقي ڪارڪردگي ۽ ميڪيڪل اعتبار کي ناقابل تلافي نقصان پڻ پهچائي سگهي ٿي.

ويفر چِپنگ جي تعريف ۽ قسم

ويفر چپنگ جو مطلب آهيڊائسنگ جي عمل دوران چپس جي ڪنارن تي دراڙ يا مواد جو ٽٽڻ. ان کي عام طور تي درج ڪيو ويندو آهيسامهون واري پاسي جي ڇِپنگ۽پوئين پاسي کان ڇِپَڻ:

• سامهون واري پاسي کان چِپنگچپ جي فعال مٿاڇري تي ٿئي ٿو جنهن ۾ سرڪٽ جا نمونا شامل آهن. جيڪڏهن چپنگ سرڪٽ جي علائقي ۾ وڌندي آهي، ته اهو برقي ڪارڪردگي ۽ ڊگهي مدت جي اعتبار کي سختي سان خراب ڪري سگهي ٿو.

• پوئين پاسي کان چِپنگعام طور تي ويفر جي ٿنڀڻ کان پوءِ ٿيندي آهي، جتي زمين ۾ ڀڃڻ يا پوئين پاسي خراب ٿيل پرت ظاهر ٿيندي آهي.

ساخت جي نقطي نظر کان،سامهون واري پاسي جي چپنگ اڪثر ڪري ايپيٽيڪسيل يا مٿاڇري جي تہن ۾ ڀڃڻ جي نتيجي ۾ ٿيندي آهي.، جڏهن تهپوئين پاسي واري چپنگ ويفر جي ٿلهي ٿيڻ ۽ سبسٽريٽ مواد کي هٽائڻ دوران ٺهيل نقصان واري پرتن مان پيدا ٿئي ٿي..

سامهون واري پاسي واري چپنگ کي وڌيڪ ٽن قسمن ۾ ورهائي سگهجي ٿو:

1. شروعاتي چِپنگ- عام طور تي ڪٽڻ کان اڳ واري مرحلي دوران ٿيندو آهي جڏهن هڪ نئون بليڊ نصب ڪيو ويندو آهي، جنهن جي خاصيت ڪنڊن کي غير منظم نقصان سان ٿيندي آهي.

2. وقتي (سائيڪل) چپنگ- مسلسل ڪٽڻ جي عملن دوران بار بار ۽ باقاعدگي سان ظاهر ٿئي ٿو.

3. غير معمولي چپنگ- بليڊ جي رن آئوٽ، نامناسب فيڊ ريٽ، گهڻي ڪٽڻ جي کوٽائي، ويفر جي بي گھرڻ، يا خرابي جي ڪري.

ويفر چپنگ جا بنيادي سبب

1. شروعاتي چپنگ جا سبب

• بليڊ جي انسٽاليشن جي درستگي ڪافي نه آهي.

• بليڊ کي صحيح طرح سان گول شڪل ۾ نه ٺاهيو ويو آهي.

• نامڪمل هيرن جي اناج جي نمائش

جيڪڏهن بليڊ کي ٿوري جھڪ سان لڳايو وڃي ته، اڻ برابر ڪٽڻ جون قوتون پيدا ٿين ٿيون. هڪ نئون بليڊ جيڪو مناسب طور تي تيار نه ڪيو ويو آهي اهو گهٽ مرڪوزيت ڏيکاريندو، جنهن جي ڪري ڪٽڻ جو رستو انحراف ٿيندو. جيڪڏهن پري ڪٽ اسٽيج دوران هيرن جا داڻا مڪمل طور تي ظاهر نه ٿين، ته اثرائتي چپ اسپيس ٺهڻ ۾ ناڪام ٿي ويندا، جنهن جي ڪري چپ ٿيڻ جو امڪان وڌي ويندو.

2. وقتي طور تي چپنگ جا سبب

• بليڊ کي مٿاڇري جي اثر سان نقصان

• وڏي سائيز جي هيرن جا ذرڙا ٻاهر نڪرندا آهن

• پرڏيهي ذرڙن جو چپڪندڙ (رال، ڌاتو جو ملبو، وغيره)

ڪٽڻ دوران، چپ جي اثر جي ڪري مائڪرو نوچز پيدا ٿي سگهن ٿا. وڏا نڪرندڙ هيرن جا داڻا مقامي دٻاءُ کي مرڪوز ڪن ٿا، جڏهن ته بليڊ جي مٿاڇري تي باقيات يا پرڏيهي آلودگي ڪٽڻ جي استحڪام کي خراب ڪري سگهن ٿا.

3. غير معمولي چپنگ جا سبب

• تيز رفتار تي خراب متحرڪ توازن جي ڪري بليڊ رن آئوٽ

• غلط فيڊ ريٽ يا گھڻي ڪٽڻ جي کوٽائي

• ڪٽڻ دوران ويفر جي بي گھرڻ يا خراب ٿيڻ

اهي عنصر غير مستحڪم ڪٽڻ واري قوتن ۽ اڳواٽ مقرر ڪيل ڊائسنگ رستي کان انحراف جو سبب بڻجن ٿا، سڌو سنئون ڪنارن جي ٽٽڻ جو سبب بڻجن ٿا.

4. پوئتي پاسي جي چپنگ جا سبب

پٺئين پاسي کان چِپنگ بنيادي طور تي اچي ٿيويفر جي ٿنڀڻ ۽ ويفر وار پيج دوران دٻاءُ جو جمع ٿيڻ.

ٿلهي ڪرڻ دوران، هڪ خراب ٿيل پرت پوئين پاسي تي ٺهي ٿي، ڪرسٽل جي جوڙجڪ کي خراب ڪري ٿي ۽ اندروني دٻاءُ پيدا ڪري ٿي. ڊائسنگ دوران، دٻاءُ ڇڏڻ سان مائڪرو ڪريڪ جي شروعات ٿيندي آهي، جيڪا آهستي آهستي وڏي پٺئين پاسي جي ڀڃڻ ۾ پکڙجي ويندي آهي. جيئن ويفر جي ٿولهه گهٽجي ويندي آهي، ان جي دٻاءُ مزاحمت ڪمزور ٿي ويندي آهي، ۽ وار پيج وڌي ويندو آهي - پٺئين پاسي جي چپنگ کي وڌيڪ ممڪن بڻائيندو آهي.

چپس تي چِپنگ جو اثر ۽ جوابي طريقا

چپ جي ڪارڪردگي تي اثر

چِپنگ سختي سان گھٽائي ٿيمشيني طاقت. پيڪنگنگ يا اصل استعمال دوران ننڍيون ننڍيون دراڙيون به پکڙجي سگهن ٿيون، آخرڪار چپ جي ڀڃڻ ۽ بجلي جي ناڪامي جو سبب بڻجن ٿيون. جيڪڏهن فرنٽ سائڊ چپنگ سرڪٽ جي علائقن تي حملو ڪري ٿي، ته اهو سڌو سنئون بجلي جي ڪارڪردگي ۽ ڊگهي مدت جي ڊوائيس جي اعتبار کي متاثر ڪري ٿو.

ويفر چِپنگ لاءِ اثرائتي حل

1. پروسيس پيرا ميٽر آپٽمائيزيشن

ڪٽڻ جي رفتار، فيڊ جي شرح، ۽ ڪٽڻ جي کوٽائي کي ويفر ايريا، مواد جي قسم، ٿولهه، ۽ ڪٽڻ جي ترقي جي بنياد تي متحرڪ طور تي ترتيب ڏيڻ گهرجي ته جيئن دٻاءُ جي ڪنسنٽريشن کي گهٽ ۾ گهٽ ڪري سگهجي.
ضم ڪرڻ سانمشين ويزن ۽ اي آءِ تي ٻڌل نگراني، حقيقي وقت ۾ بليڊ جي حالت ۽ چپنگ رويي کي ڳولي سگهجي ٿو ۽ درست ڪنٽرول لاءِ خودڪار طريقي سان ترتيب ڏنل پيرا ميٽرز کي پروسيس ڪري سگهجي ٿو.

2. سامان جي سار سنڀال ۽ انتظام

ڊائسنگ مشين جي باقاعده سار سنڀال ضروري آهي ته جيئن يقيني بڻائي سگهجي:

• اسپنڊل جي درستگي

• ٽرانسميشن سسٽم جي استحڪام

• کولنگ سسٽم جي ڪارڪردگي

هڪ بليڊ لائف ٽائيم مانيٽرنگ سسٽم لاڳو ڪيو وڃي ته جيئن يقيني بڻائي سگهجي ته سخت خراب ٿيل بليڊن کي ڪارڪردگي ۾ گهٽتائي جي ڪري چپنگ ٿيڻ کان اڳ تبديل ڪيو وڃي.

3. بليڊ جي چونڊ ۽ اصلاح

بليڊ خاصيتون جهڙوڪهيرن جي اناج جي سائيز، بانڊ جي سختي، ۽ اناج جي کثافتچپنگ جي رويي تي مضبوط اثر آهي:

• وڏا هيرا جا داڻا سامهون واري پاسي جي چِپنگ کي وڌائين ٿا.

• ننڍا داڻا چِپنگ گهٽ ڪن ٿا پر ڪٽڻ جي ڪارڪردگي گهٽ ڪن ٿا.

• گھٽ اناج جي کثافت چِپنگ گھٽائي ٿي پر اوزار جي زندگي گھٽائي ٿي.

• نرم بانڊ مواد چپنگ کي گهٽائي ٿو پر پائڻ کي تيز ڪري ٿو.

سلڪون تي ٻڌل ڊوائيسز لاءِ،هيرن جي اناج جي سائيز سڀ کان اهم عنصر آهي. گھٽ ۾ گھٽ وڏي اناج واري مواد ۽ سخت اناج جي سائيز ڪنٽرول سان اعليٰ معيار جي بليڊن جي چونڊ ڪرڻ سان قيمت کي ڪنٽرول ۾ رکندي سامهون واري پاسي جي چپنگ کي مؤثر طريقي سان دٻائي سگهجي ٿو.

4. پوئتي پاسي چِپنگ ڪنٽرول جا طريقا

اهم حڪمت عملين ۾ شامل آهن:

• اسپنڊل جي رفتار کي بهتر بڻائڻ

• نفيس گرٽ هيرن جي رگڙيندڙ شين جي چونڊ

• نرم بانڊ مواد ۽ گهٽ رگڙندڙ ڪنسنٽريشن استعمال ڪرڻ

• صحيح بليڊ جي انسٽاليشن ۽ مستحڪم اسپنڊل وائبريشن کي يقيني بڻائڻ

تمام گهڻي تيز يا گهٽ گردش جي رفتار ٻنهي سان پٺيءَ جي فريڪچر جو خطرو وڌي ٿو. بليڊ ٽِلٽ يا اسپنڊل وائبريشن وڏي علائقي جي پٺيءَ جي چپنگ جو سبب بڻجي سگهي ٿي. الٽرا پتلي ويفرز لاءِ،پوسٽ-ٽريٽمينٽس جهڙوڪ سي ايم پي (ڪيميڪل ميڪيڪل پالشنگ)، خشڪ ايچنگ، ۽ ويٽ ڪيميڪل ايچنگباقي نقصان جي تہن کي هٽائڻ، اندروني دٻاءُ کي آزاد ڪرڻ، وار پيج کي گهٽائڻ، ۽ چپ جي طاقت کي خاص طور تي وڌائڻ ۾ مدد ڪريو.

5. جديد ڪٽڻ جون ٽيڪنالاجيون

ابھرندڙ غير رابطي ۽ گهٽ دٻاءُ واري ڪٽڻ جا طريقا وڌيڪ بهتري پيش ڪن ٿا:

• ليزر ڊائسنگمشيني رابطي کي گھٽ ڪري ٿو ۽ اعلي توانائي جي کثافت واري پروسيسنگ ذريعي چپنگ کي گھٽائي ٿو.

• پاڻي جي جيٽ ڊائسنگمائڪرو-ابريسيوز سان ملايل تيز دٻاءُ وارو پاڻي استعمال ڪري ٿو، جيڪو خاص طور تي حرارتي ۽ مشيني دٻاءُ کي گهٽائي ٿو.

معيار جي ڪنٽرول ۽ چڪاس کي مضبوط ڪرڻ

خام مال جي چڪاس کان وٺي آخري پيداوار جي تصديق تائين - پوري پيداوار جي زنجير ۾ هڪ سخت معيار ڪنٽرول سسٽم قائم ڪيو وڃي. اعليٰ درستگي واري چڪاس جو سامان جهڙوڪآپٽيڪل خوردبيني ۽ اسڪيننگ اليڪٽران خوردبيني (SEM)ڊائسنگ کان پوءِ ويفرز جي چڱيءَ طرح جانچ ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو وڃي، جنهن سان چِپنگ جي خرابين جي جلد سڃاڻپ ۽ اصلاح ٿي سگهي.

ٿڪل

ويفر چِپنگ هڪ پيچيده، گھڻ-فڪٽر نقص آهي جنهن ۾ شامل آهيعمل جا پيرا ميٽر، سامان جي حالت، بليڊ جا خاصيتون، ويفر جو دٻاءُ، ۽ معيار جو انتظام. صرف انهن سڀني علائقن ۾ منظم اصلاح ذريعي چِپنگ کي مؤثر طريقي سان ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو - انهي ڪري بهتر ٿي سگهي ٿوپيداوار جي پيداوار، چپ جي اعتبار، ۽ مجموعي ڊوائيس جي ڪارڪردگي.