عنوان: چپس جي پيداوار ۾ FOUP ڇا آهي؟​​

مواد جي جدول

1. FOUP جو جائزو ۽ بنيادي ڪم

2. FOUP جي جوڙجڪ ۽ ڊيزائن جون خاصيتون

3. FOUP جي درجه بندي ۽ ايپليڪيشن هدايتون

4. سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ FOUP جا آپريشن ۽ اهميت

5. ٽيڪنيڪل چئلينجز ۽ مستقبل جي ترقي جا رجحان

6.XKH جا ڪسٽمائيز حل ۽ سروس سپورٽ

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾، فرنٽ اوپننگ يونيفائيڊ پوڊ (FOUP) هڪ اهم ڪنٽينر آهي جيڪو ويفرز جي حفاظت، نقل و حمل ۽ اسٽوريج لاءِ استعمال ٿيندو آهي. ان جي اندروني حصي ۾ 300 ملي ميٽر ويفرز جا 25 ٽڪرا شامل ٿي سگهن ٿا، ۽ ان جي مکيه حصن ۾ هڪ فرنٽ اوپننگ ڪنٽينر ۽ کولڻ ۽ بند ڪرڻ لاءِ هڪ وقف ٿيل دروازو فريم شامل آهي. FOUP 12 انچ ويفر فيبز اندر خودڪار ٽرانسپورٽ سسٽم ۾ هڪ بنيادي ڪيريئر آهي. اهو عام طور تي بند حالت ۾ منتقل ڪيو ويندو آهي ۽ صرف ان وقت کلي ويندو آهي جڏهن سامان لوڊ پورٽ ڏانهن ڌڪيو ويندو آهي، ويفرز کي سامان جي لوڊنگ / ان لوڊنگ پورٽ ۾ منتقل ڪرڻ جي اجازت ڏيندو آهي.

FOUP جي ڊيزائن کي مائڪرو-ماحول جي گهرجن مطابق ترتيب ڏنو ويو آهي. ان ۾ ويفر داخل ڪرڻ لاءِ پوئين پاسي سلاٽ آهن، ۽ ڍڪ خاص طور تي اوپنر جي ڪلمپ سان ملائڻ لاءِ ٺهيل آهي. ويفر-هينڊلنگ روبوٽ ڪلاس 1 صاف هوا جي ماحول ۾ ڪم ڪن ٿا، انهي ڳالهه کي يقيني بڻائين ٿا ته ويفر ٽرانسميشن دوران آلوده نه ٿين. وڌيڪ، FOUP کي خودڪار مواد هينڊلنگ سسٽم (AMHS) ذريعي پروسيس ٽولز جي وچ ۾ منتقل ڪيو ويندو آهي. جديد ويفر فيب گهڻو ڪري ٽرانسپورٽ لاءِ اوور هيڊ ريل سسٽم استعمال ڪندا آهن، جڏهن ته ڪجهه پراڻا فيب زمين تي ٻڌل خودڪار هدايت ٿيل گاڏيون (AGVs) استعمال ڪري سگهن ٿا.

FOUP نه رڳو خودڪار ويفر منتقلي کي فعال بڻائي ٿو پر اسٽوريج فنڪشن پڻ ڪم ڪري ٿو. ڪيترن ئي پيداواري مرحلن جي ڪري، ويفرز کي پوري عمل جي وهڪري کي مڪمل ڪرڻ ۾ مهينا لڳي سگهن ٿا. وڏي مهيني پيداوار جي مقدار سان گڏ، ان جو مطلب آهي ته هڪ فيب اندر هزارين ويفرز ڪنهن به وقت مسلسل منتقلي يا عارضي اسٽوريج ۾ آهن. اسٽوريج دوران، FOUPs کي وقتي طور تي نائٽروجن سان صاف ڪيو ويندو آهي ته جيئن آلودگي کي ويفرز سان رابطو ڪرڻ کان روڪيو وڃي، هڪ صاف ۽ قابل اعتماد پيداوار جي عمل کي يقيني بڻائي سگهجي.

1. FOUP جا ڪم ۽ اهميت

FOUP جو بنيادي ڪم ويفرز کي ٻاهرين جھٽڪن ۽ ​​آلودگي کان بچائڻ آهي، خاص طور تي منتقلي دوران پيداوار تي اثرن کان بچڻ. اهو گئس صاف ڪرڻ ۽ مقامي ماحول ڪنٽرول (LAC) جهڙن طريقن ذريعي نمي کي مؤثر طريقي سان روڪي ٿو، انهي کي يقيني بڻائي ٿو ته ايندڙ پيداوار جي مرحلي جي انتظار ۾ ويفرز محفوظ حالت ۾ رهن. ان جو سيل ٿيل ۽ ڪنٽرول ٿيل نظام صرف ضروري مرکبات ۽ عنصرن کي داخل ٿيڻ جي اجازت ڏئي ٿو، خاص طور تي ويفرز تي VOCs، آڪسيجن ۽ نمي جي خراب اثرن کي گهٽائي ٿو.

جيئن ته 25 ويفرز سان مڪمل طور تي لوڊ ٿيل هڪ FOUP 9 ڪلوگرام تائين وزن ڪري سگهي ٿو، ان جي نقل و حمل کي خودڪار مواد هينڊلنگ سسٽم (AMHS) تي ڀروسو ڪرڻ گهرجي. ان کي آسان بڻائڻ لاءِ، FOUP کي ڪپلنگ پليٽن، پنن ۽ سوراخن جي مختلف ميلاپن سان ٺاهيو ويو آهي، ۽ آسان سڃاڻپ ۽ درجه بندي لاءِ RFID اليڪٽرانڪ ٽيگ سان ليس آهي. هن خودڪار هينڊلنگ کي تقريبن ڪنهن به دستي آپريشن جي ضرورت ناهي، غلطي جي شرح کي تمام گهڻو گهٽائي ٿو ۽ پيداوار جي عمل جي حفاظت ۽ درستگي کي وڌائي ٿو.

2. FOUP جي جوڙجڪ ۽ درجه بندي

هڪ FOUP جي عام طول و عرض تقريبن 420 ملي ميٽر ويڪر، 335 ملي ميٽر کوٽائي، ۽ 335 ملي ميٽر اوچائي آهن. ان جي مکيه ساخت جي حصن ۾ شامل آهن: اوور هيڊ هوسٽ ٽرانسپورٽ لاءِ هڪ مٿي OHT (مشروم هيڊ)؛ سامان جي ويفر رسائي لاءِ هڪ سامهون وارو دروازو؛ پاسي جا هينڊل، اڪثر ڪري مختلف آلودگي جي سطحن سان پروسيس ايريا کي فرق ڪرڻ لاءِ رنگ ڪوڊ ٿيل آهن؛ پيغام ڪارڊ رکڻ لاءِ هڪ ڪارڊ ايريا؛ ۽ هڪ هيٺيون RFID ٽيگ جيڪو FOUP لاءِ منفرد سڃاڻپ ڪندڙ طور ڪم ڪري ٿو، اوزارن ۽ اوور هيڊ هوسٽ کي ان کي سڃاڻڻ جي اجازت ڏئي ٿو. بنياد اوزارن سان ملائڻ ۽ پروسيس ايريا کي فرق ڪرڻ لاءِ چار سڃاڻپ ۽ پوزيشننگ سوراخن سان پڻ ليس آهي.

استعمال جي بنياد تي، FOUPs کي ٽن قسمن ۾ ورهايو ويو آهي: PRD (پيداوار لاءِ)، ENG (انجنيئرنگ ويفرز لاءِ)، ۽ MON (مانيٽر ويفرز لاءِ). PRD FOUPs کي پراڊڪٽ جي پيداوار لاءِ استعمال ڪري سگهجي ٿو، ENG قسمون R&D يا تجربن لاءِ موزون آهن، ۽ MON قسمون CMP ۽ DIFF جهڙن مرحلن لاءِ پروسيس مانيٽرنگ لاءِ وقف آهن. اهو نوٽ ڪرڻ ضروري آهي ته PRD FOUPs کي ENG ۽ MON ٻنهي مقصدن لاءِ استعمال ڪري سگهجي ٿو، ۽ ENG قسمون MON لاءِ استعمال ڪري سگهجن ٿيون، پر ريورس آپريشن معيار جا خطرا پيدا ڪري ٿو.

آلودگي جي سطح جي لحاظ کان درجه بندي ڪيل، FOUPs کي FE FOUP (فرنٽ اينڊ پروسيس، ڌاتو کان پاڪ)، BE FOUP (پوئتي اينڊ پروسيس، ڌاتو تي مشتمل آهي)، ۽ NI FOUP، CU FOUP، ۽ CO FOUP جهڙن مخصوص ڌاتو جي عملن لاءِ مخصوص ڪيل ۾ ورهائي سگهجي ٿو. مختلف عملن لاءِ FOUPs عام طور تي پاسي جي هينڊلز يا دروازي جي پينلن جي رنگ سان فرق ڪيا ويندا آهن. فرنٽ اينڊ پروسيس مان FOUPs کي بيڪ اينڊ پروسيس ۾ استعمال ڪري سگهجي ٿو، پر بيڪ اينڊ FOUPs کي ڪڏهن به فرنٽ اينڊ پروسيس ۾ استعمال نه ڪرڻ گهرجي، ڇاڪاڻ ته اهو آلودگي جي خطرن جو سبب بڻجندو.

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ هڪ اهم ڪيريئر جي حيثيت سان، FOUP، اعليٰ آٽوميشن ۽ سخت آلودگي ڪنٽرول ذريعي، پيداوار جي عمل دوران ويفرز جي حفاظت ۽ صفائي کي يقيني بڻائي ٿو، ان کي جديد ويفر فيبز ۾ هڪ لازمي انفراسٽرڪچر بڻائي ٿو.

ٿڪل

XKH گراهڪن کي انتهائي ترتيب ڏنل فرنٽ اوپننگ يونيفائيڊ پوڊ (FOUP) حل فراهم ڪرڻ لاءِ پرعزم آهي، توهان جي مخصوص پروسيس گهرجن ۽ سامان جي انٽرفيس جي وضاحتن تي سختي سان عمل ڪندي. جديد مواد ٽيڪنالاجي ۽ درست پيداوار جي عملن کي استعمال ڪندي، اسان يقيني بڻايون ٿا ته هر FOUP پراڊڪٽ غير معمولي هوا جي تنگي، صفائي، ۽ ميڪيڪل استحڪام فراهم ڪري. اسان جي ٽيڪنيڪل ٽيم وٽ وڏي صنعت جي ماهر آهي، جامع لائف سائيڪل سپورٽ پيش ڪري ٿي - چونڊ صلاح مشوري ۽ ساخت جي اصلاح کان وٺي صفائي ۽ سار سنڀال تائين - FOUP ۽ توهان جي خودڪار مواد هينڊلنگ سسٽم (AMHS) ۽ پروسيسنگ سامان جي وچ ۾ بيحد انضمام ۽ موثر تعاون کي يقيني بڻائي ٿي. اسان مسلسل ويفرز جي حفاظت ۽ پيداوار جي پيداوار کي وڌائڻ کي اسان جي بنيادي مقصدن طور ترجيح ڏيون ٿا. جديد شين ۽ سڀني شامل ٽيڪنيڪل خدمتن ذريعي، اسان توهان جي سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي عملن لاءِ هڪ مضبوط ضمانت فراهم ڪندا آهيون، آخرڪار پيداوار جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي پيداوار کي وڌائيندا آهيون.