الٽرا هاءِ وولٽيج MOSFETs لاءِ 4H-SiC ايپيٽيڪسيل ويفرز (100–500 μm، 6 انچ)
تفصيلي ڊاگرام
پيداوار جو جائزو
برقي گاڏين، سمارٽ گرڊ، قابل تجديد توانائي سسٽم، ۽ اعليٰ طاقت وارن صنعتي سامان جي تيزيءَ سان واڌ ويجهه، سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي فوري ضرورت پيدا ڪري ڇڏي آهي جيڪي وڌيڪ وولٽيج، وڌيڪ طاقت جي کثافت، ۽ وڌيڪ ڪارڪردگي کي سنڀالڻ جي قابل هجن. وسيع بينڊ گيپ سيمي ڪنڊڪٽرز ۾،سلڪون ڪاربائيڊ (SiC)پنهنجي وسيع بينڊ گيپ، اعليٰ حرارتي چالکائي، ۽ اعليٰ نازڪ برقي ميدان جي طاقت لاءِ نمايان آهي.
اسان جو4H-SiC ايپيٽيڪسيل ويفرزخاص طور تي انجنيئر ٿيل آهنالٽرا هاءِ وولٽيج MOSFET ايپليڪيشنون. ايپيٽيڪسيل پرتن سان گڏ100 μm کان 500 μm تائين on 6 انچ (150 ملي ميٽر) سبسٽريٽ، اهي ويفرز ڪي وي ڪلاس ڊوائيسز لاءِ گهربل وڌايل ڊرفٽ علائقا پهچائين ٿا جڏهن ته غير معمولي ڪرسٽل معيار ۽ اسڪيليبلٽي کي برقرار رکن ٿا. معياري ٿولهه ۾ 100 μm، 200 μm، ۽ 300 μm شامل آهن، ڪسٽمائيزيشن دستياب سان.
ايپيٽيڪسيل پرت جي ٿولهه
ايپيٽيڪسيل پرت MOSFET ڪارڪردگي کي طئي ڪرڻ ۾ هڪ فيصلو ڪندڙ ڪردار ادا ڪري ٿي، خاص طور تي وچ ۾ توازنبريڪ ڊائون وولٽيج۽مزاحمت تي.
-
100-200 مائڪرون: وچولي کان اعليٰ وولٽيج MOSFETs لاءِ بهتر ڪيل، ڪنڊڪشن ڪارڪردگي ۽ بلاڪنگ طاقت جو بهترين توازن پيش ڪري ٿو.
-
200-500 μm: الٽرا هاءِ وولٽيج ڊوائيسز (10 kV+) لاءِ موزون، مضبوط بريڪ ڊائون خاصيتن لاءِ ڊگھي ڊرفٽ علائقن کي فعال بڻائي ٿو.
پوري حد تائين،ٿولهه جي هڪجهڙائي ±2٪ اندر ڪنٽرول ڪئي ويندي آهي، ويفر کان ويفر ۽ بيچ کان بيچ تائين تسلسل کي يقيني بڻائيندي. هي لچڪ ڊيزائنرز کي اجازت ڏئي ٿي ته اهي پنهنجي ٽارگيٽ وولٽيج ڪلاسز لاءِ ڊوائيس جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائين جڏهن ته وڏي پيماني تي پيداوار ۾ ٻيهر پيداوار کي برقرار رکن.
پيداوار جي عمل
اسان جا ويفر استعمال ڪندي ٺاهيا ويا آهنجديد ترين CVD (ڪيميائي وانپ جمع) ايپيٽيڪسي، جيڪو ٿلهي، ڊوپنگ، ۽ ڪرسٽل جي معيار جي صحيح ڪنٽرول کي قابل بڻائي ٿو، جيتوڻيڪ تمام ٿلهي تہن لاءِ.
-
سي وي ڊي ايپيٽيڪسي- اعليٰ پاڪائي واريون گيسون ۽ بهتر حالتون هموار سطحن ۽ گهٽ عيب جي کثافت کي يقيني بڻائين ٿيون.
-
ٿلهي پرت جي واڌ- ملڪيتي عمل جون ترڪيبون ايپيٽڪسيل ٿلهي کي اجازت ڏين ٿيون500 مائڪرو ميٽرشاندار هڪجهڙائي سان.
-
ڊوپنگ ڪنٽرول- وچ ۾ ترتيب ڏيڻ وارو ڪنسنٽريشن1×10¹⁴ – 1×10¹⁶ سينٽي ميٽر⁻³، ±5٪ کان بهتر هڪجهڙائي سان.
-
مٿاڇري جي تياري- ويفرز گذري رهيا آهنسي ايم پي پالش ڪرڻ۽ سخت معائنو، گيٽ آڪسائيڊشن، فوٽوليٿوگرافي، ۽ ميٽالائيزيشن جهڙن جديد عملن سان مطابقت کي يقيني بڻائي.
اهم فائدا
-
الٽرا هاءِ وولٽيج جي صلاحيت- ٿلها ايپيٽيڪسيل پرت (100-500 μm) kV-ڪلاس MOSFET ڊيزائن کي سپورٽ ڪن ٿا.
-
غير معمولي ڪرسٽل معيار- گھٽ خلل ۽ بنيادي جهاز جي خرابي جي کثافت اعتبار کي يقيني بڻائي ٿي ۽ رساو کي گھٽ ڪري ٿي.
-
6 انچ وڏا سبسٽريٽ- وڏي مقدار جي پيداوار لاءِ سپورٽ، في ڊوائيس گھٽ قيمت، ۽ فيب مطابقت.
-
اعليٰ حرارتي خاصيتون- اعليٰ حرارتي چالکائي ۽ وسيع بينڊ گيپ اعليٰ طاقت ۽ گرمي پد تي موثر آپريشن کي فعال بڻائي ٿو.
-
حسب ضرورت پيرا ميٽرز- ٿلهي، ڊوپنگ، رخ، ۽ مٿاڇري جي ختم ٿيڻ کي مخصوص گهرجن مطابق ترتيب ڏئي سگهجي ٿو.
عام وضاحتون
| پيرا ميٽر | وضاحت |
|---|---|
| چالکائي جو قسم | اين-قسم (نائٽروجن-ڊوپڊ) |
| مزاحمت | ڪو به |
| محور کان ٻاهر زاويه | 4° ± 0.5° ([11-20] جي طرف) |
| ڪرسٽل اورينٽيشن | (0001) سائ-فيس |
| ٿولهه | 200–300 μm (حسب ضرورت 100–500 μm) |
| مٿاڇري ختم ڪرڻ | اڳيون: سي ايم پي پالش ٿيل (ايپي تيار) پوئتي: ليپ ٿيل يا پالش ٿيل |
| ٽي ٽي وي | ≤ 10 μm |
| ڪمان/تارو | ≤ 20 μm |
درخواست جا علائقا
4H-SiC ايپيٽيڪسيل ويفرز مثالي طور تي مناسب آهنالٽرا هاءِ وولٽيج سسٽم ۾ MOSFETs، جنهن ۾ شامل آهن:
-
اليڪٽرڪ گاڏين جي ٽريڪشن انورٽر ۽ هاءِ وولٽيج چارجنگ ماڊلز
-
سمارٽ گرڊ ٽرانسميشن ۽ ورڇ جو سامان
-
قابل تجديد توانائي انورٽر (شمسي، ونڊ، اسٽوريج)
-
اعليٰ طاقت وارا صنعتي سامان ۽ سوئچنگ سسٽم
سوال
سوال 1: چالکائي جو قسم ڇا آهي؟
A1: اين-قسم، نائٽروجن سان گڏ ڊوپ ٿيل - MOSFETs ۽ ٻين پاور ڊوائيسز لاءِ انڊسٽري معيار.
سوال 2: ڪهڙيون ايپيٽيڪسيل ٿلهيون موجود آهن؟
A2: 100–500 μm، معياري اختيارن سان 100 μm، 200 μm، ۽ 300 μm. درخواست تي ڪسٽم ٿولهه موجود آهن.
سوال 3: ويفر اورينٽيشن ۽ آف ايڪسس اينگل ڇا آهي؟
A3: (0001) Si-مناظر، 4° ± 0.5° آف-محور سان [11-20] طرف.
اسان جي باري ۾
XKH خاص آپٽيڪل گلاس ۽ نئين ڪرسٽل مواد جي اعليٰ ٽيڪنالاجي ترقي، پيداوار ۽ وڪرو ۾ ماهر آهي. اسان جون شيون آپٽيڪل اليڪٽرانڪس، ڪنزيومر اليڪٽرانڪس، ۽ فوجي خدمت ڪن ٿيون. اسان سيفائر آپٽيڪل اجزاء، موبائل فون لينس ڪَورز، سيرامڪس، LT، سلڪون ڪاربائيڊ SIC، ڪوارٽز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل ويفرز پيش ڪريون ٿا. ماهر مهارت ۽ جديد سامان سان، اسان غير معياري پراڊڪٽ پروسيسنگ ۾ شاندار آهيون، هڪ معروف آپٽو اليڪٽرانڪ مواد هاءِ ٽيڪ انٽرپرائز هجڻ جو مقصد.
