ويفر ٽي ٽي وي، بو، وارپ ڇا آهن، ۽ انهن کي ڪيئن ماپيو ويندو آهي؟​

.ڊاريڪٽري

1. بنيادي تصور ۽ ميٽرڪس

2. ماپ جا طريقا

3. ڊيٽا پروسيسنگ ۽ غلطيون

4. عمل جا اثر​

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾، ويفرز جي ٿلهي جي هڪجهڙائي ۽ مٿاڇري جي هموار هجڻ اهم عنصر آهن جيڪي عمل جي پيداوار کي متاثر ڪن ٿا. اهم پيرا ميٽرز جهڙوڪ ٽوٽل ٿڪنيس ويريشن (ٽي ٽي وي)، بو (آرڪيوٽ وار پيج)، وارپ (گلوبل وار پيج)، ۽ مائڪرو وارپ (نانو-ٽوپوگرافي) سڌو سنئون بنيادي عملن جي درستگي ۽ استحڪام تي اثر انداز ٿين ٿا جهڙوڪ فوٽو ليٿوگرافي فوڪس، ڪيميڪل ميڪيڪل پالشنگ (سي ايم پي)، ۽ پتلي فلم جمع.

بنيادي تصور ۽ ميٽرڪس

ٽي ٽي وي (ڪل ٿولهه جي تبديلي)

ماپڻ جون ٽيڪنڪون

1. ٽي ٽي وي ماپ جا طريقا

• ٻٽي مٿاڇري جي پروفائيلوميٽري
• فيزيو انٽرفيروميٽري:ريفرنس جهاز ۽ ويفر جي مٿاڇري جي وچ ۾ مداخلت واري ڪنارن کي استعمال ڪري ٿو. هموار سطحن لاءِ مناسب پر وڏي وکر واري ويفرز تائين محدود.
• وائيٽ لائيٽ اسڪيننگ انٽرفيروميٽري (SWLI):گهٽ هم آهنگي واري روشني جي لفافن ذريعي مطلق اوچائي کي ماپي ٿو. قدم جهڙين سطحن لاءِ اثرائتو پر ميڪيڪل اسڪيننگ جي رفتار سان محدود.
• ڪنفوڪل طريقا:پن هول يا ڊسپريشن اصولن ذريعي ذيلي مائڪرون ريزوليوشن حاصل ڪريو. ڪچي يا شفاف سطحن لاءِ مثالي پر پوائنٽ بائي پوائنٽ اسڪيننگ جي ڪري سست.
• ليزر ٽڪنڊو:تيز رد عمل پر مٿاڇري جي عڪاسي جي تبديلين جي ڪري درستگي جي نقصان جو خطرو.

• ٽرانسميشن/عڪس ڪپلنگ
• ڊوئل-هيڊ ڪيپيسٽينس سينسر: ٻنهي پاسن تي سينسر جي سميٽرڪ جڳهه ٿلهي کي T = L – d₁ – d₂ (L = بنيادي فاصلو) جي طور تي ماپي ٿي. تيز پر مادي خاصيتن جي لحاظ کان حساس.
• ايلپسوميٽري/اسپيڪٽرو اسڪوپڪ ريفليڪوٽوميٽري: ٿلهي فلم جي ٿلهي لاءِ روشني جي معاملي جي رابطي جو تجزيو ڪري ٿو پر بلڪ ٽي وي لاءِ نا مناسب.

2. ڪمان ۽ وارپ جي ماپ

• ملٽي پروب ڪيپيسٽينس ايري: تيز 3D تعمير نو لاءِ ايئر بيئرنگ اسٽيج تي مڪمل فيلڊ جي اوچائي ڊيٽا کي پڪڙيو.
• اسٽرڪچرڊ لائيٽ پروجيڪشن: آپٽيڪل شيپنگ استعمال ڪندي تيز رفتار 3D پروفائلنگ.
• گھٽ-اين اي انٽرفيروميٽري: اعليٰ ريزوليوشن واري مٿاڇري جي نقشي سازي پر وائبريشن سان حساس.

3. مائڪرو وارپ ماپ

• اسپيشل فريڪوئنسي تجزيو:

1. اعليٰ ريزوليوشن واري مٿاڇري جي شڪل حاصل ڪريو.
2. 2D FFT ذريعي پاور اسپيڪٽرل ڊينسٽي (PSD) جو حساب ڪريو.
3. نازڪ طول موج کي الڳ ڪرڻ لاءِ بينڊ پاس فلٽر (مثال طور، 0.5-20 ملي ميٽر) لاڳو ڪريو.
4. فلٽر ٿيل ڊيٽا مان RMS يا PV قدرن جو حساب ڪريو.

• ويڪيوم چڪ سموليشن:لٿوگرافي دوران حقيقي دنيا جي ڪلمپنگ اثرات جي نقل ڪريو.

ڊيٽا پروسيسنگ ۽ غلطي جا ذريعا

پروسيسنگ ورڪ فلو

• ٽي ٽي وي:اڳيان/پوئين مٿاڇري جي همراهن کي ترتيب ڏيو، ٿلهي جي فرق جو حساب ڪريو، ۽ منظم غلطيون گھٽايو (مثال طور، حرارتي ڊرفٽ).
• .ڪمان/تارو:LSQ جهاز کي اوچائي ڊيٽا سان فٽ ڪريو؛ بو = سينٽر پوائنٽ ريزيڊيئل، وارپ = چوٽي کان وادي ريزيڊيئل.
• .مائڪرو وارپ:مقامي تعدد، ڪمپيوٽنگ شماريات (RMS/PV) فلٽر ڪريو.

اهم غلطي جا ذريعا

• ماحولياتي عنصر:وائبريشن (انٽرفيروميٽري لاءِ اهم)، هوا جو ڦيرو، حرارتي وهڪري.
• سينسر جون حدون:فيز شور (انٽرفيروميٽري)، طول موج جي ڪيليبريشن جون غلطيون (ڪنفوڪل)، مواد تي منحصر جواب (ڪيپيسيٽينس).
• ويفر سنڀالڻ:ڪنڊ جي خارج ٿيڻ جي غلط ترتيب، سلائي ۾ حرڪت واري مرحلي جي غلطي.

عمل جي تنقيد تي اثر

• لٿوگرافي:مقامي مائڪرووارپ DOF کي گھٽائي ٿو، جنهن جي ڪري CD جي تبديلي ۽ اوورلي غلطيون ٿين ٿيون.
• سي ايم پي:شروعاتي ٽي وي عدم توازن غير يونيفارم پالشنگ پريشر جي طرف وٺي ٿو.
• دٻاءُ جو تجزيو:ڪمان/وارپ ارتقا حرارتي/ميخانياتي دٻاءُ جي رويي کي ظاهر ڪري ٿو.
• پيڪنگ:گهڻي ٽي ٽي وي بانڊنگ انٽرفيس ۾ خلا پيدا ڪري ٿي.

XKH جو نيلم ويفر