سيمي ڪنڊڪٽر ٽيڪنالاجي جي مسلسل ترقي سان، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۽ حتي فوٽووولٽڪ انڊسٽري ۾، ويفر سبسٽريٽ يا ايپيٽيڪسيل شيٽ جي مٿاڇري جي معيار لاءِ گهرجون پڻ تمام سخت آهن. تنهن ڪري، ويفرز لاءِ معيار جون گهرجون ڇا آهن؟ وٺڻنيلم ويفرمثال طور، ويفرز جي مٿاڇري جي معيار کي جانچڻ لاءِ ڪهڙا اشارا استعمال ڪري سگهجن ٿا؟
ويفرز جي تشخيص جا اشارا ڪهڙا آهن؟
ٽي اشارا
نيلم ويفرز لاءِ، ان جا تشخيصي اشارا ڪُل ٿولهه جي انحراف (TTV)، موڙ (ڪمان) ۽ وارپ (وارپ) آهن. اهي ٽي پيرا ميٽر گڏجي سلڪون ويفر جي فليٽنس ۽ ٿلهي جي هڪجهڙائي کي ظاهر ڪن ٿا، ۽ ويفر جي لھر جي درجي کي ماپي سگهن ٿا. ويفر جي مٿاڇري جي معيار جو جائزو وٺڻ لاءِ ڪوريگيشن کي فليٽنس سان گڏ ڪري سگهجي ٿو.
ٽي ٽي وي، بو، وارپ ڇا آهي؟
ٽي ٽي وي (ڪل ٿولهه ۾ تبديلي)
ٽي ٽي وي هڪ ويفر جي وڌ ۾ وڌ ۽ گهٽ ۾ گهٽ ٿولهه جي وچ ۾ فرق آهي. هي پيرا ميٽر هڪ اهم انڊيڪس آهي جيڪو ويفر جي ٿولهه جي هڪجهڙائي کي ماپڻ لاءِ استعمال ٿيندو آهي. هڪ سيمي ڪنڊڪٽر عمل ۾، ويفر جي ٿولهه پوري مٿاڇري تي تمام گهڻي هڪجهڙائي هجڻ گهرجي. ماپون عام طور تي ويفر تي پنجن هنڌن تي ڪيون وينديون آهن ۽ فرق جو حساب لڳايو ويندو آهي. آخرڪار، هي قدر ويفر جي معيار کي جانچڻ لاءِ هڪ اهم بنياد آهي.
ڪمان
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ بو هڪ ويفر جي موڙ کي ظاهر ڪري ٿو، جيڪو هڪ غير ڪليمپ ٿيل ويفر جي وچ واري نقطي ۽ ريفرنس پلين جي وچ ۾ فاصلي کي آزاد ڪري ٿو. اهو لفظ شايد ڪنهن شئي جي شڪل جي وضاحت مان آيو آهي جڏهن اهو موڙيو ويندو آهي، جهڙوڪ هڪ ڪمان جي وکر شڪل. بو جي قيمت سلڪون ويفر جي مرڪز ۽ ڪنڊ جي وچ ۾ انحراف کي ماپڻ سان بيان ڪئي ويندي آهي. هي قدر عام طور تي مائڪرو ميٽر (µm) ۾ ظاهر ڪيو ويندو آهي.
وارپ
وارپ ويفرز جي هڪ عالمي ملڪيت آهي جيڪا آزاديءَ سان غير ڪليمپ ٿيل ويفر ۽ ريفرنس جهاز جي وچ ۾ وڌ ۾ وڌ ۽ گهٽ ۾ گهٽ فاصلي جي وچ ۾ فرق کي ماپي ٿي. سلڪون ويفر جي مٿاڇري کان جهاز تائين فاصلي جي نمائندگي ڪري ٿي.
ٽي ٽي وي، بو، وارپ ۾ ڪهڙو فرق آهي؟
ٽي ٽي وي ٿلهي ۾ تبديلين تي ڌيان ڏئي ٿو ۽ ويفر جي موڙ يا بگاڙ سان لاڳاپيل ناهي.
ڪمان مجموعي موڙ تي ڌيان ڏئي ٿو، خاص طور تي مرڪز جي نقطي ۽ ڪناري جي موڙ کي غور ۾ رکندي.
وارپ وڌيڪ جامع آهي، جنهن ۾ پوري ويفر جي مٿاڇري کي موڙڻ ۽ موڙڻ شامل آهي.
جيتوڻيڪ اهي ٽي پيرا ميٽر سلڪون ويفر جي شڪل ۽ جاميٽري خاصيتن سان لاڳاپيل آهن، انهن کي ماپيو ۽ مختلف طريقي سان بيان ڪيو ويو آهي، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر عمل ۽ ويفر پروسيسنگ تي انهن جو اثر پڻ مختلف آهي.
ٽي پيرا ميٽر ننڍا هوندا، اوترو بهتر، ۽ پيرا ميٽر جيترو وڏو هوندو، سيمي ڪنڊڪٽر جي عمل تي منفي اثر اوترو ئي وڌيڪ هوندو. تنهن ڪري، هڪ سيمي ڪنڊڪٽر پريڪٽيشنر جي حيثيت سان، اسان کي پوري عمل جي عمل لاءِ ويفر پروفائل پيرا ميٽرز جي اهميت کي سمجهڻ گهرجي، سيمي ڪنڊڪٽر جي عمل کي انجام ڏيڻ گهرجي، تفصيلن تي ڌيان ڏيڻ گهرجي.
(سينسرنگ)
پوسٽ جو وقت: جون-24-2024