سيمي ڪنڊڪٽر ٽيڪنالاجي جي مسلسل ترقي سان، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۽ حتي فوٽووولٽڪ انڊسٽري ۾، ويفر سبسٽريٽ يا ايپيٽيڪسيل شيٽ جي سطح جي معيار لاء گهرجون پڻ تمام سخت آهن.پوء، wafers لاء معيار گهرجون ڇا آهن؟مثال طور سيفائر ويفرز کي وٺي، ويفر جي سطح جي معيار کي جانچڻ لاءِ ڪهڙا اشارا استعمال ڪري سگهجن ٿا؟
ويفرز جي تشخيص جا اشارا ڇا آهن؟
ٽي اشارا
سيفائر ويفرز لاءِ، ان جا تشخيصي اشارا آهن ڪل ٿلهي انحراف (TTV)، موڙ (بو) ۽ وارپ (وارپ).اهي ٽي پيرا ميٽر گڏجي سلڪون ويفر جي ٿلهي ۽ ٿلهي هڪجهڙائي کي ظاهر ڪن ٿا، ۽ ويفر جي ريپل جي درجي کي ماپ ڪري سگهن ٿا.corrugation wafer مٿاڇري جي معيار جو اندازو ڪرڻ لاء flatness سان گڏ ڪري سگهجي ٿو.
TTV، BOW، Warp ڇا آهي؟
TTV (ڪل ٿلهي جي تبديلي)
TTV هڪ ويفر جي وڌ ۾ وڌ ۽ گهٽ ۾ گهٽ ٿلهي جي وچ ۾ فرق آهي.هي پيٽرول هڪ اهم انڊيڪس آهي جيڪو ويفر جي ٿولهه جي يونيفارم کي ماپڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.سيمي ڪنڊڪٽر جي عمل ۾، ويفر جي ٿلهي سڄي مٿاڇري تي بلڪل يونيفارم هجڻ گهرجي.ماپون عام طور تي ويفر تي پنجن جڳهن تي ڪيون وينديون آهن ۽ فرق حساب ڪيو ويندو آهي.بالآخر، هي قدر ويفر جي معيار کي جانچڻ لاء هڪ اهم بنياد آهي.
ڪنڌ
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ بُو هڪ ويفر جي موڙي ڏانهن اشارو ڪري ٿو، هڪ اڻڄاتل ويفر جي وچ واري نقطي ۽ ريفرنس جهاز جي وچ ۾ فاصلو آزاد ڪري ٿو.لفظ شايد ڪنهن شئي جي شڪل جي وضاحت مان ايندو آهي جڏهن اهو موڙيو ويندو آهي، جهڙوڪ ڪمان جي وکر شڪل.بو جي قيمت سلکان ويفر جي مرڪز ۽ ڪنڊ جي وچ ۾ انحراف کي ماپ ڪندي بيان ڪئي وئي آهي.هي قدر عام طور تي micrometers (µm) ۾ ظاهر ڪيو ويندو آهي.
وارپ
وارپ ويفرز جي هڪ عالمي ملڪيت آهي جيڪا آزاديءَ سان اڻ ڇپيل ويفر ۽ ريفرنس جهاز جي وچ ۾ وڌ کان وڌ ۽ گهٽ ۾ گهٽ فاصلي جي وچ ۾ فرق کي ماپي ٿي.سلکان ويفر جي مٿاڇري کان جهاز تائين فاصلي جي نمائندگي ڪري ٿو.
TTV، Bow، Warp جي وچ ۾ ڇا فرق آهي؟
TTV ٿلهي ۾ تبديلين تي ڌيان ڏئي ٿو ۽ ويفر جي موڙي يا مسخ سان لاڳاپيل ناهي.
بوء مجموعي موڙ تي ڌيان ڏئي ٿو، خاص طور تي مرڪزي نقطي ۽ ڪنڊ جي موڙ تي غور ڪندي.
وارپ وڌيڪ جامع آهي، بشمول سڄي ويفر جي مٿاڇري کي موڙيندڙ ۽ موڙيندڙ.
جيتوڻيڪ اهي ٽي پيٽرول سلڪون ويفر جي شڪل ۽ جاميٽري ملڪيت سان لاڳاپيل آهن، انهن کي ماپ ۽ بيان ڪيو ويو آهي مختلف، ۽ انهن جو اثر سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ ۽ ويفر پروسيسنگ تي پڻ مختلف آهي.
ننڍا ٽي پيٽرولر، بهتر، ۽ وڏو پيٽرولر، سيمي ڪنڊڪٽر جي عمل تي وڌيڪ منفي اثر.تنهن ڪري، هڪ سيمي ڪنڊڪٽر عملي جي حيثيت ۾، اسان کي لازمي طور تي پوري پروسيس جي عمل لاءِ ويفر پروفائل پيٽرولر جي اهميت کي سمجهڻ گهرجي، سيمي ڪنڊڪٽر جي عمل کي ڪرڻ گهرجي، تفصيلن تي ڌيان ڏيڻ گهرجي.
(سنسر ڪرڻ)
پوسٽ جو وقت: جون-24-2024