ڪرسٽل پلن ۽ ڪرسٽل اورينٽيشن ڪرسٽلوگرافي ۾ ٻه بنيادي تصور آهن، جيڪي سلڪون تي ٻڌل انٽيگريٽڊ سرڪٽ ٽيڪنالاجي ۾ ڪرسٽل جي جوڙجڪ سان ويجهڙائي سان لاڳاپيل آهن.
1. ڪرسٽل اورينٽيشن جي تعريف ۽ خاصيتون
ڪرسٽل اورينٽيشن ڪرسٽل اندر هڪ مخصوص هدايت جي نمائندگي ڪري ٿو، عام طور تي ڪرسٽل اورينٽيشن انڊيڪس ذريعي ظاهر ڪيو ويندو آهي. ڪرسٽل اورينٽيشن ڪرسٽل جي جوڙجڪ اندر ڪنهن به ٻن جالي پوائنٽن کي ڳنڍڻ سان بيان ڪئي ويندي آهي، ۽ ان ۾ هيٺيون خاصيتون آهن: هر ڪرسٽل اورينٽيشن ۾ لاٽيس پوائنٽن جو هڪ لامحدود تعداد شامل آهي؛ هڪ واحد ڪرسٽل اورينٽيشن ڪيترن ئي متوازي ڪرسٽل اورينٽيشن تي مشتمل ٿي سگهي ٿو جيڪو ڪرسٽل اورينٽيشن فيملي ٺاهيندو آهي؛ ڪرسٽل اورينٽيشن فيملي ڪرسٽل اندر سڀني جالي پوائنٽن کي ڍڪيندي آهي.
ڪرسٽل اورينٽيشن جي اهميت ڪرسٽل اندر ايٽمن جي هدايتي ترتيب کي ظاهر ڪرڻ ۾ آهي. مثال طور، [111] ڪرسٽل اورينٽيشن هڪ مخصوص هدايت جي نمائندگي ڪري ٿي جتي ٽنهي ڪوآرڊينيٽ محور جي پروجئشن تناسب 1:1:1 آهن.
2. ڪرسٽل جهازن جي تعريف ۽ خاصيتون
هڪ ڪرسٽل پلین هڪ ڪرسٽل اندر ايٽم جي ترتيب جو هڪ پلین آهي، جيڪو ڪرسٽل پلین انڊيڪس (ملر انڊيڪس) جي نمائندگي ڪري ٿو. مثال طور، (111) ظاهر ڪري ٿو ته ڪوآرڊينيٽ محور تي ڪرسٽل پلین جي مداخلتن جا باهمي تعلق 1:1:1 جي تناسب ۾ آهن. ڪرسٽل پلین ۾ هيٺيون خاصيتون آهن: هر ڪرسٽل پلین ۾ لاتعداد جالي پوائنٽس شامل آهن؛ هر ڪرسٽل پلین ۾ لامحدود تعداد ۾ متوازي پلین آهن جيڪي هڪ ڪرسٽل پلین فيملي ٺاهيندا آهن؛ ڪرسٽل پلین فيملي پوري ڪرسٽل کي ڍڪيندي آهي.
ملر انڊيڪس جي تعين ۾ هر ڪوآرڊينيٽ محور تي ڪرسٽل جهاز جي انٽرسيپٽس وٺڻ، انهن جي باهمي تعلق کي ڳولڻ، ۽ انهن کي ننڍي ۾ ننڍي انٽيجر تناسب ۾ تبديل ڪرڻ شامل آهي. مثال طور، (111) ڪرسٽل جهاز ۾ x، y، ۽ z محور تي 1:1:1 جي تناسب ۾ انٽرسيپٽس آهن.
3. ڪرسٽل جهازن ۽ ڪرسٽل اورينٽيشن جي وچ ۾ تعلق
ڪرسٽل جي جاميٽري جوڙجڪ کي بيان ڪرڻ جا ڪرسٽل پلن ۽ ڪرسٽل اورينٽيشن ٻه مختلف طريقا آهن. ڪرسٽل اورينٽيشن هڪ مخصوص طرف سان ايٽمن جي ترتيب کي ظاهر ڪري ٿو، جڏهن ته ڪرسٽل پلن هڪ مخصوص پلن تي ايٽمن جي ترتيب کي ظاهر ڪري ٿو. انهن ٻنهي ۾ هڪ خاص مطابقت آهي، پر اهي مختلف جسماني تصورن جي نمائندگي ڪن ٿا.
اهم تعلق: هڪ ڪرسٽل جهاز جو عام ویکٹر (يعني، ان جهاز ڏانهن عمودي ویکٹر) هڪ ڪرسٽل رخ سان مطابقت رکي ٿو. مثال طور، (111) ڪرسٽل جهاز جو عام ویکٹر [111] ڪرسٽل رخ سان مطابقت رکي ٿو، مطلب ته [111] هدايت سان ايٽمي ترتيب ان جهاز ڏانهن عمودي آهي.
سيمي ڪنڊڪٽر عملن ۾، ڪرسٽل جهازن جي چونڊ ڊوائيس جي ڪارڪردگي تي تمام گهڻو اثر انداز ٿئي ٿي. مثال طور، سلڪون تي ٻڌل سيمي ڪنڊڪٽرز ۾، عام طور تي استعمال ٿيندڙ ڪرسٽل جهاز (100) ۽ (111) جهاز آهن ڇاڪاڻ ته انهن ۾ مختلف طرفن ۾ مختلف ايٽمي ترتيب ۽ بانڊنگ طريقا آهن. اليڪٽران جي حرڪت ۽ مٿاڇري جي توانائي جهڙيون خاصيتون مختلف ڪرسٽل جهازن تي مختلف هونديون آهن، جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي ڪارڪردگي ۽ واڌ جي عمل کي متاثر ڪنديون آهن.
4. سيمي ڪنڊڪٽر عملن ۾ عملي ايپليڪيشنون
سلڪون تي ٻڌل سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾، ڪرسٽل اورينٽيشن ۽ ڪرسٽل جهاز ڪيترن ئي پهلوئن ۾ لاڳو ڪيا ويندا آهن:
ڪرسٽل جي واڌ: سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل عام طور تي مخصوص ڪرسٽل رخن سان گڏ وڌندا آهن. سلڪون ڪرسٽل عام طور تي [100] يا [111] رخن سان گڏ وڌندا آهن ڇاڪاڻ ته انهن رخن ۾ استحڪام ۽ ايٽمي ترتيب ڪرسٽل جي واڌ لاءِ سازگار آهن.
ايچنگ جو عمل: ويٽ ايچنگ ۾، مختلف ڪرسٽل پلن ۾ ايچنگ جي شرح مختلف هوندي آهي. مثال طور، سلڪون جي (100) ۽ (111) پلن تي ايچنگ جي شرح مختلف هوندي آهي، جنهن جي نتيجي ۾ اينيسوٽروپڪ ايچنگ اثرات پيدا ٿيندا آهن.
ڊوائيس جون خاصيتون: MOSFET ڊوائيسز ۾ اليڪٽران جي حرڪت ڪرسٽل جهاز کان متاثر ٿيندي آهي. عام طور تي، حرڪت (100) جهاز تي وڌيڪ هوندي آهي، اهو ئي سبب آهي ته جديد سلڪون تي ٻڌل MOSFETs گهڻو ڪري (100) ويفر استعمال ڪندا آهن.
مختصر ۾، ڪرسٽل جهاز ۽ ڪرسٽل اورينٽيشن ڪرسٽلوگرافي ۾ ڪرسٽل جي بناوت کي بيان ڪرڻ جا ٻه بنيادي طريقا آهن. ڪرسٽل اورينٽيشن ڪرسٽل اندر هدايتي خاصيتن جي نمائندگي ڪري ٿو، جڏهن ته ڪرسٽل جهاز ڪرسٽل اندر مخصوص جهازن جي وضاحت ڪن ٿا. اهي ٻئي تصور سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ويجهي سان لاڳاپيل آهن. ڪرسٽل جهازن جو انتخاب سڌو سنئون مواد جي جسماني ۽ ڪيميائي ملڪيتن تي اثر انداز ٿئي ٿو، جڏهن ته ڪرسٽل اورينٽيشن ڪرسٽل جي واڌ ۽ پروسيسنگ ٽيڪنڪ کي متاثر ڪري ٿو. ڪرسٽل جهازن ۽ اورينٽيشن جي وچ ۾ تعلق کي سمجهڻ سيمي ڪنڊڪٽر جي عملن کي بهتر بڻائڻ ۽ ڊوائيس جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ لاءِ اهم آهي.
پوسٽ جو وقت: آڪٽوبر-08-2024