سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) نه رڳو قومي دفاع لاءِ هڪ اهم ٽيڪنالاجي آهي پر عالمي آٽوميٽو ۽ توانائي صنعتن لاءِ هڪ اهم مواد پڻ آهي. SiC سنگل ڪرسٽل پروسيسنگ ۾ پهرين اهم قدم جي طور تي، ويفر سلائسنگ سڌو سنئون بعد ۾ پتلي ڪرڻ ۽ پالش ڪرڻ جي معيار کي طئي ڪري ٿي. روايتي سلائسنگ طريقا اڪثر ڪري مٿاڇري ۽ زير زمين دراڙ متعارف ڪرائيندا آهن، ويفر جي ٽٽڻ جي شرح ۽ پيداوار جي قيمتن ۾ اضافو ڪندا آهن. تنهن ڪري، SiC ڊوائيس جي پيداوار کي اڳتي وڌائڻ لاءِ مٿاڇري جي دراڙ جي نقصان کي ڪنٽرول ڪرڻ ضروري آهي.
هن وقت، سي آءِ سي انگوٽ سلائسنگ کي ٻن وڏن چئلينجن کي منهن ڏيڻو پوي ٿو:
- روايتي ملٽي-وائر ساونگ ۾ مواد جو وڏو نقصان:سي آءِ سي جي انتهائي سختي ۽ ڀُرڻ ان کي ڪٽڻ، پيسڻ ۽ پالش ڪرڻ دوران وارپنگ ۽ ٽٽڻ جو شڪار بڻائي ٿي. انفائنون جي ڊيٽا موجب، روايتي ريسيپروڪيٽنگ هيرا-رال-بانڊڊ ملٽي وائر ساونگ ڪٽڻ ۾ صرف 50٪ مواد جي استعمال کي حاصل ڪري ٿي، پالش ڪرڻ کان پوءِ ڪل سنگل ويفر نقصان ~250 μm تائين پهچي ٿو، گهٽ ۾ گهٽ استعمال لائق مواد ڇڏي ٿو.
- گھٽ ڪارڪردگي ۽ ڊگھي پيداوار چڪر:بين الاقوامي پيداوار جا انگ اکر ڏيکارين ٿا ته 24 ڪلاڪ مسلسل ملٽي وائر ساونگ استعمال ڪندي 10,000 ويفر تيار ڪرڻ ۾ ~273 ڏينهن لڳن ٿا. هن طريقي ۾ وسيع سامان ۽ استعمال جي شين جي ضرورت آهي جڏهن ته مٿاڇري جي خرابي ۽ آلودگي (مٽي، گندو پاڻي) پيدا ٿئي ٿي.
انهن مسئلن کي حل ڪرڻ لاءِ، نانجنگ يونيورسٽي ۾ پروفيسر شيو شينگزيان جي ٽيم SiC لاءِ اعليٰ درستگي وارو ليزر سلائسنگ سامان تيار ڪيو آهي، جيڪو خرابين کي گهٽائڻ ۽ پيداوار کي وڌائڻ لاءِ الٽرا فاسٽ ليزر ٽيڪنالاجي جو فائدو وٺي ٿو. 20-mm SiC انگوٽ لاءِ، هي ٽيڪنالاجي روايتي تار ساونگ جي مقابلي ۾ ويفر جي پيداوار کي ٻيڻو ڪري ٿي. اضافي طور تي، ليزر-سلائس ٿيل ويفرز بهترين جاميٽري يڪجهتي ڏيکاري ٿو، ٿلهي کي 200 μm في ويفر تائين گهٽائڻ ۽ پيداوار کي وڌيڪ وڌائڻ جي قابل بڻائي ٿو.
اهم فائدا:
- وڏي پيماني تي پروٽوٽائپ سامان تي مڪمل ڪيل آر اينڊ ڊي، 4-6 انچ سيمي انسولٽنگ سي آءِ سي ويفرز ۽ 6 انچ ڪنڊڪٽو سي آءِ سي انگٽس کي سلائي ڪرڻ لاءِ تصديق ٿيل.
- 8 انچ جي پِنڊ ڪٽڻ جي تصديق ٿي رهي آهي.
- ڪٽائي جو وقت گهٽ، سالياني پيداوار وڌيڪ، ۽ پيداوار ۾ 50 سيڪڙو کان وڌيڪ بهتري.
XKH جو SiC سبسٽريٽ قسم 4H-N
مارڪيٽ جي صلاحيت:
هي سامان 8 انچ جي SiC انگوٽ سلائسنگ لاءِ بنيادي حل بڻجڻ لاءِ تيار آهي، جيڪو هن وقت جاپاني درآمدات جي غلبي سان آهي جنهن ۾ اعليٰ قيمتون ۽ برآمدي پابنديون آهن. ليزر سلائسنگ/ٿننگ سامان جي گهريلو طلب 1,000 يونٽن کان وڌيڪ آهي، پر اڃا تائين ڪو به پختو چيني ٺهيل متبادل موجود ناهي. نانجنگ يونيورسٽي جي ٽيڪنالاجي ۾ وڏي مارڪيٽ ويليو ۽ اقتصادي صلاحيت موجود آهي.
گھڻ-مٽيريل مطابقت:
SiC کان ٻاهر، سامان گيليم نائٽرائڊ (GaN)، ايلومينيم آڪسائيڊ (Al₂O₃)، ۽ هيرن جي ليزر پروسيسنگ جي مدد ڪري ٿو، ان جي صنعتي ايپليڪيشنن کي وسيع ڪري ٿو.
SiC ويفر پروسيسنگ ۾ انقلاب آڻيندي، هي جدت سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ اهم رڪاوٽن کي حل ڪري ٿي جڏهن ته اعليٰ ڪارڪردگي، توانائي جي بچت واري مواد جي طرف عالمي رجحانات سان هم آهنگ ٿي.
نتيجو
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سبسٽريٽ جي پيداوار ۾ هڪ انڊسٽري ليڊر جي حيثيت سان، XKH 2-12 انچ مڪمل سائيز SiC سبسٽريٽ (4H-N/SEMI-قسم، 4H/6H/3C-قسم سميت) مهيا ڪرڻ ۾ ماهر آهي جيڪي نئين توانائي گاڏيون (NEVs)، فوٽووولٽڪ (PV) توانائي اسٽوريج، ۽ 5G ڪميونيڪيشن جهڙن اعليٰ ترقي وارن شعبن لاءِ تيار ڪيا ويا آهن. وڏي ماپ واري ويفر گهٽ نقصان واري سلائسنگ ٽيڪنالاجي ۽ اعليٰ درستگي واري پروسيسنگ ٽيڪنالاجي کي استعمال ڪندي، اسان 8 انچ سبسٽريٽ جي وڏي پيماني تي پيداوار حاصل ڪئي آهي ۽ 12 انچ ڪنڊڪٽو SiC ڪرسٽل گروٿ ٽيڪنالاجي ۾ ڪاميابيون حاصل ڪيون آهن، جنهن سان في يونٽ چپ جي قيمتن ۾ نمايان گهٽتائي آئي آهي. اڳتي وڌندي، اسان 12 انچ سبسٽريٽ جي پيداوار کي عالمي سطح تي مقابلي واري سطح تائين بلند ڪرڻ لاءِ انگوٽ ليزر سلائسنگ ۽ ذهين دٻاءُ ڪنٽرول عملن کي بهتر بڻائڻ جاري رکنداسين، گهريلو SiC صنعت کي بين الاقوامي اجارداري کي ٽوڙڻ ۽ آٽوميٽو-گريڊ چپس ۽ AI سرور پاور سپلائيز جهڙن اعليٰ درجي جي ڊومينز ۾ اسڪيلبل ايپليڪيشنن کي تيز ڪرڻ لاءِ بااختيار بڻائينداسين.
XKH جو SiC سبسٽريٽ قسم 4H-N
پوسٽ جو وقت: آگسٽ-15-2025