ويفر جي پيداوار ۾ ايس پي سي سسٽم جي گهري سمجھ

1. ايس پي سي سسٽم جو جائزو

ايس پي سي هڪ طريقو آهي جيڪو پيداوار جي عملن جي نگراني ۽ ڪنٽرول لاءِ شمارياتي ٽيڪنڪ استعمال ڪندو آهي. ان جو بنيادي ڪم حقيقي وقت جي ڊيٽا گڏ ڪرڻ ۽ تجزيو ڪندي پيداوار جي عمل ۾ بي ضابطگين کي ڳولڻ آهي، انجنيئرن کي بروقت ترتيب ۽ فيصلا ڪرڻ ۾ مدد ڪرڻ. ايس پي سي جو مقصد پيداوار جي عمل ۾ تبديلي کي گهٽائڻ آهي، انهي کي يقيني بڻائڻ ته پيداوار جي معيار مستحڪم رهي ۽ وضاحتن کي پورو ڪري.

ايس پي سي کي ايچنگ جي عمل ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي:

اهم سامان جي پيرا ميٽرز جي نگراني ڪريو (مثال طور، ايچ ريٽ، آر ايف پاور، چيمبر پريشر، گرمي پد، وغيره)

اهم پراڊڪٽ جي معيار جي اشارن جو تجزيو ڪريو (مثال طور، لائن ويڊٿ، ايچ ڊيپٿ، ايج رفنس، وغيره)

انهن پيرا ميٽرز جي نگراني ڪندي، انجنيئر رجحانات کي ڳولي سگهن ٿا جيڪي سامان جي ڪارڪردگي جي گهٽتائي يا پيداوار جي عمل ۾ انحراف کي ظاهر ڪن ٿا، انهي ڪري اسڪريپ جي شرح گهٽجي ٿي.

2. ايس پي سي سسٽم جا بنيادي جزا

ايس پي سي سسٽم ڪيترن ئي اهم ماڊيولز تي مشتمل آهي:

ڊيٽا گڏ ڪرڻ جو ماڊيول: سامان ۽ عمل جي وهڪري مان حقيقي وقت ۾ ڊيٽا گڏ ڪري ٿو (مثال طور، FDC، EES سسٽم ذريعي) ۽ اهم پيرا ميٽرز ۽ پيداوار جي نتيجن کي رڪارڊ ڪري ٿو.

ڪنٽرول چارٽ ماڊيول: عمل جي استحڪام کي ڏسڻ ۽ اهو طئي ڪرڻ ۾ مدد ڪرڻ لاءِ ته عمل ڪنٽرول ۾ آهي يا نه، شمارياتي ڪنٽرول چارٽس (مثال طور، ايڪس بار چارٽ، آر چارٽ، سي پي/سي پي ڪي چارٽ) استعمال ڪندو آهي.

الارم سسٽم: جڏهن نازڪ پيرا ميٽر ڪنٽرول جي حد کان وڌي وڃن ٿا يا رجحان ۾ تبديليون ڏيکارين ٿا ته الارم شروع ڪري ٿو، انجنيئرن کي ڪارروائي ڪرڻ لاءِ آماده ڪري ٿو.

تجزيو ۽ رپورٽنگ ماڊيول: ايس پي سي چارٽس جي بنياد تي بي ضابطگين جي بنيادي سبب جو تجزيو ڪري ٿو ۽ باقاعده طور تي عمل ۽ سامان لاءِ ڪارڪردگي رپورٽون تيار ڪري ٿو.

3. ايس پي سي ۾ ڪنٽرول چارٽس جي تفصيلي وضاحت

ڪنٽرول چارٽ ايس پي سي ۾ سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿيندڙ اوزارن مان هڪ آهن، جيڪي "عام تبديلي" (قدرتي عمل جي تبديلين جي ڪري) ۽ "غير معمولي تبديلي" (سامان جي ناڪامي يا عمل جي انحراف جي ڪري) جي وچ ۾ فرق ڪرڻ ۾ مدد ڪن ٿا. عام ڪنٽرول چارٽ ۾ شامل آهن:

ايڪس-بار ۽ آر چارٽس: پيداوار جي بيچ اندر اوسط ۽ حد جي نگراني ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي ته ڇا عمل مستحڪم آهي.

سي پي ۽ سي پي ڪي انڊيڪس: پروسيس جي صلاحيت کي ماپڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، يعني ڇا پروسيس آئوٽ پُٽ مسلسل وضاحت جي گهرجن کي پورو ڪري سگهي ٿو. سي پي امڪاني صلاحيت کي ماپيندو آهي، جڏهن ته سي پي ڪي پروسيس سينٽر جي وضاحت جي حدن کان انحراف تي غور ڪندو آهي.

مثال طور، ايچنگ جي عمل ۾، توهان شايد ايچ جي شرح ۽ مٿاڇري جي خرابي جهڙن پيرا ميٽرز جي نگراني ڪري سگهو ٿا. جيڪڏهن سامان جي ڪنهن خاص ٽڪري جي ايچ جي شرح ڪنٽرول جي حد کان وڌي وڃي ٿي، ته توهان ڪنٽرول چارٽ استعمال ڪري اهو طئي ڪري سگهو ٿا ته ڇا اهو قدرتي تبديلي آهي يا سامان جي خرابي جو اشارو آهي.

4. ايچنگ سامان ۾ ايس پي سي جو استعمال

ايچنگ جي عمل ۾، سامان جي پيرا ميٽرز کي ڪنٽرول ڪرڻ انتهائي اهم آهي، ۽ ايس پي سي هيٺين طريقن سان عمل جي استحڪام کي بهتر بڻائڻ ۾ مدد ڪري ٿو:

سامان جي حالت جي نگراني: FDC جهڙا سسٽم ايچنگ سامان جي اهم پيرا ميٽرز (مثال طور، RF پاور، گيس فلو) تي حقيقي وقت ڊيٽا گڏ ڪن ٿا ۽ ممڪن سامان جي مسئلن کي ڳولڻ لاءِ هن ڊيٽا کي SPC ڪنٽرول چارٽس سان گڏ ڪن ٿا. مثال طور، جيڪڏهن توهان ڏسندا آهيو ته ڪنٽرول چارٽ تي RF پاور بتدريج مقرر ڪيل قدر کان انحراف ڪري رهي آهي، ته پوءِ توهان پيداوار جي معيار کي متاثر ڪرڻ کان بچڻ لاءِ ترتيب يا سار سنڀال لاءِ ابتدائي ڪارروائي ڪري سگهو ٿا.

پراڊڪٽ جي معيار جي نگراني: توهان انهن جي استحڪام جي نگراني ڪرڻ لاءِ اهم پراڊڪٽ جي معيار جي پيرا ميٽرز (مثال طور، ايچ ڊيپٿ، لائن ويڊٿ) کي ايس پي سي سسٽم ۾ پڻ داخل ڪري سگهو ٿا. جيڪڏهن ڪجهه اهم پراڊڪٽ اشارا بتدريج ٽارگيٽ ويليوز کان هٽي وڃن ٿا، ته ايس پي سي سسٽم هڪ الارم جاري ڪندو، جيڪو ظاهر ڪندو ته پروسيس ايڊجسٽمينٽ جي ضرورت آهي.

بچاءُ واري سار سنڀال (PM): SPC سامان لاءِ بچاءُ واري سار سنڀال جي چڪر کي بهتر بڻائڻ ۾ مدد ڪري سگھي ٿو. سامان جي ڪارڪردگي ۽ عمل جي نتيجن تي ڊگهي مدت جي ڊيٽا جو تجزيو ڪندي، توهان سامان جي سار سنڀال لاءِ بهترين وقت جو تعين ڪري سگهو ٿا. مثال طور، RF پاور ۽ ESC جي عمر جي نگراني ڪندي، توهان اهو طئي ڪري سگهو ٿا ته ڪڏهن صفائي يا جزو جي متبادل جي ضرورت آهي، سامان جي ناڪامي جي شرح ۽ پيداوار جي بند ٿيڻ کي گهٽائي.

5. ايس پي سي سسٽم لاءِ روزاني استعمال جا طريقا

روزاني ڪمن ۾ ايس پي سي سسٽم استعمال ڪرڻ وقت، هيٺيان قدم کڻي سگهجن ٿا:

ڪي ڪنٽرول پيرا ميٽرز (KPI) جي وضاحت ڪريو: پيداوار جي عمل ۾ سڀ کان اهم پيرا ميٽرز جي سڃاڻپ ڪريو ۽ انهن کي SPC مانيٽرنگ ۾ شامل ڪريو. اهي پيرا ميٽرز پيداوار جي معيار ۽ سامان جي ڪارڪردگي سان ويجهڙائي سان لاڳاپيل هجڻ گهرجن.

ڪنٽرول جون حدون ۽ الارم جون حدون مقرر ڪريو: تاريخي ڊيٽا ۽ عمل جي گهرجن جي بنياد تي، هر پيرا ميٽر لاءِ مناسب ڪنٽرول جون حدون ۽ الارم جون حدون مقرر ڪريو. ڪنٽرول جون حدون عام طور تي ±3σ (معياري انحراف) تي مقرر ڪيون وينديون آهن، جڏهن ته الارم جون حدون عمل ۽ سامان جي مخصوص حالتن تي ٻڌل هونديون آهن.

مسلسل نگراني ۽ تجزيو: ڊيٽا جي رجحانن ۽ تبديلين جو تجزيو ڪرڻ لاءِ باقاعدي طور تي ايس پي سي ڪنٽرول چارٽس جو جائزو وٺو. جيڪڏهن ڪجهه پيرا ميٽر ڪنٽرول جي حد کان وڌي وڃن ٿا، ته فوري ڪارروائي جي ضرورت آهي، جهڙوڪ سامان جي پيرا ميٽرن کي ترتيب ڏيڻ يا سامان جي سار سنڀال ڪرڻ.

غيرمعمولي سنڀال ۽ بنيادي سبب جو تجزيو: جڏهن ڪا غيرمعمولي ڳالهه ٿئي ٿي، ته ايس پي سي سسٽم واقعي بابت تفصيلي معلومات رڪارڊ ڪري ٿو. توهان کي هن معلومات جي بنياد تي غيرمعمولي ڳالهه جي بنيادي سبب کي حل ڪرڻ ۽ تجزيو ڪرڻ جي ضرورت آهي. ايف ڊي سي سسٽم، اي اي ايس سسٽم وغيره مان ڊيٽا گڏ ڪرڻ اڪثر ممڪن آهي ته اهو تجزيو ڪيو وڃي ته ڇا مسئلو سامان جي ناڪامي، عمل جي انحراف، يا ٻاهرين ماحولياتي عنصرن جي ڪري آهي.

مسلسل بهتري: ايس پي سي سسٽم پاران رڪارڊ ڪيل تاريخي ڊيٽا استعمال ڪندي، عمل ۾ ڪمزور نقطن جي سڃاڻپ ڪريو ۽ بهتري جا منصوبا تجويز ڪريو. مثال طور، ايچنگ جي عمل ۾، سامان جي سار سنڀال جي چڪر تي ESC جي عمر ۽ صفائي جي طريقن جي اثر جو تجزيو ڪريو ۽ مسلسل سامان جي آپريٽنگ پيرا ميٽرز کي بهتر بڻايو.

6. عملي درخواست ڪيس

عملي مثال طور، فرض ڪريو ته توهان ايچنگ سامان E-MAX جا ذميوار آهيو، ۽ چيمبر ڪيٿوڊ وقت کان اڳ خراب ٿي رهيو آهي، جنهن جي ڪري D0 (BARC خرابي) قدرن ۾ اضافو ٿي رهيو آهي. SPC سسٽم ذريعي RF پاور ۽ ايچ جي شرح جي نگراني ڪندي، توهان هڪ رجحان محسوس ڪندا آهيو جتي اهي پيرا ميٽر بتدريج پنهنجي مقرر ڪيل قدرن کان انحراف ڪندا آهن. SPC الارم شروع ٿيڻ کان پوءِ، توهان FDC سسٽم مان ڊيٽا گڏ ڪندا آهيو ۽ اهو طئي ڪندا آهيو ته مسئلو چيمبر اندر غير مستحڪم درجه حرارت ڪنٽرول جي ڪري آهي. پوءِ توهان نئين صفائي جي طريقن ۽ سار سنڀال جي حڪمت عملين کي لاڳو ڪندا آهيو، آخرڪار D0 قدر کي 4.3 کان 2.4 تائين گهٽائي ڇڏيندا آهن، ان ڪري پيداوار جي معيار کي بهتر بڻائيندا آهن.

7. XINKEHUI ۾ توهان حاصل ڪري سگهو ٿا.

XINKEHUI تي، توهان مڪمل ويفر حاصل ڪري سگهو ٿا، ڇا اهو سلڪون ويفر هجي يا SiC ويفر. اسان مختلف صنعتن لاءِ اعليٰ معيار جا ويفر پهچائڻ ۾ ماهر آهيون، درستگي ۽ ڪارڪردگي تي ڌيان ڏيڻ.