ويفر جي پيداوار ۾ ايس پي سي سسٽم جي گہری سمجھ

1. SPC سسٽم جو جائزو

SPC هڪ طريقو آهي جيڪو شمارياتي ٽيڪنالاجي استعمال ڪري ٿو مانيٽرنگ ۽ ڪنٽرول جي پيداوار جي عملن کي. ان جو بنيادي ڪم حقيقي وقت ڊيٽا گڏ ڪرڻ ۽ تجزيو ڪندي پيداوار جي عمل ۾ بي ضابطگين کي ڳولڻ آهي، انجنيئرن کي بروقت ترتيب ڏيڻ ۽ فيصلا ڪرڻ ۾ مدد ڪندي. SPC جو مقصد پيداوار جي عمل ۾ تبديلي کي گهٽائڻ آهي، يقيني بڻائڻ ته پيداوار جي معيار مستحڪم رهي ۽ وضاحتن کي پورو ڪري.

ايس پي سي ايچنگ جي عمل ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي:

نگراني نازڪ سامان جي پيٽرولن (مثال طور، ايچ جي شرح، آر ايف پاور، چيمبر پريشر، درجه حرارت، وغيره)

اهم پراڊڪٽ جي معيار جي اشارن جو تجزيو ڪريو (مثال طور، ليڪ ويڊٿ، ايچ ڊيپٿ، کنڊ جي خرابي، وغيره)

انهن پيرا ميٽرن جي نگراني ڪندي، انجنيئرن کي ڳولي سگھن ٿا رجحانات جو اشارو ڪندي سامان جي ڪارڪردگي جي خرابي يا پيداوار جي عمل ۾ انحراف، اهڙيء طرح اسڪري جي شرح گھٽائي ٿي.

2. SPC سسٽم جا بنيادي اجزاء

SPC سسٽم ڪيترن ئي اهم ماڊلز تي مشتمل آهي:

ڊيٽا گڏ ڪرڻ جو ماڊل: سامان ۽ پروسيس جي وهڪري مان حقيقي وقت ڊيٽا گڏ ڪري ٿو (مثال طور، FDC، EES سسٽم ذريعي) ۽ اهم پيٽرولر ۽ پيداوار جي نتيجن کي رڪارڊ ڪري ٿو.

ڪنٽرول چارٽ ماڊل: شمارياتي ڪنٽرول چارٽ استعمال ڪري ٿو (مثال طور، X-Bar چارٽ، R چارٽ، Cp/Cpk چارٽ) پروسيس جي استحڪام کي ڏسڻ لاءِ ۽ اهو طئي ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿو ته ڇا عمل ڪنٽرول ۾ آهي.

الارم سسٽم: الارم کي ڇڪيندو آهي جڏهن نازڪ پيٽرولر ڪنٽرول جي حدن کان وڌي ويندا آهن يا رجحان تبديلين کي ڏيکاريندا آهن، انجنيئرن کي عمل ڪرڻ جي هدايت ڪن ٿا.

تجزيو ۽ رپورٽنگ ماڊل: تجزيو ڪري ٿو بنيادي سببن جي بنياد تي SPC چارٽس ۽ باقاعده طور تي پروسيس ۽ سامان لاء ڪارڪردگي رپورٽون ٺاهي ٿو.

3. SPC ۾ ڪنٽرول چارٽس جي تفصيلي وضاحت

ڪنٽرول چارٽس SPC ۾ سڀ کان عام استعمال ٿيل اوزارن مان ھڪڙو آھن، "عام تبديلي" (قدرتي عمل جي مختلف حالتن جي ڪري) ۽ "غير معمولي تبديلي" (سامان جي ناڪامي يا عمل جي انحراف جي سبب) جي وچ ۾ فرق ڪرڻ ۾ مدد ڪن ٿيون. عام ڪنٽرول چارٽ شامل آهن:

X-Bar ۽ R چارٽس: پيداوار جي بيچ جي وچ ۾ مطلب ۽ رينج جي نگراني ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويو ته اهو عمل مستحڪم آهي.

Cp ۽ Cpk انڊيڪس: پروسيس جي صلاحيت کي ماپڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، يعني ڇا پروسيس جي پيداوار مسلسل وضاحت جي گهرجن کي پورو ڪري سگهي ٿي. Cp امڪاني صلاحيت کي ماپي ٿو، جڏهن ته Cpk سمجھي ٿو پروسيس سينٽر جي انحراف کي وضاحت جي حدن کان.

مثال طور، ايچنگ جي عمل ۾، توهان شايد پيٽرولر جي نگراني ڪري سگهون ٿا جهڙوڪ ايچ جي شرح ۽ سطح جي خرابي. جيڪڏهن سامان جي هڪ خاص ٽڪڙي جي ايچ جي شرح ڪنٽرول جي حد کان وڌي ٿي، توهان ڪنٽرول چارٽ استعمال ڪري سگهو ٿا اهو طئي ڪرڻ لاءِ ته ڇا هي قدرتي تبديلي آهي يا سامان جي خرابي جو اشارو.

4. Etching سامان ۾ SPC جي درخواست

ايچنگ جي عمل ۾، سامان جي پيٽرولن کي ڪنٽرول ڪرڻ ضروري آهي، ۽ SPC هيٺين طريقن سان عمل جي استحڪام کي بهتر ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿي:

سامان جي حالت مانيٽرنگ: سسٽم جهڙوڪ FDC ايچنگ سامان جي اهم پيٽرولن تي حقيقي وقت جي ڊيٽا گڏ ڪري ٿو (مثال طور، آر ايف پاور، گيس جي وهڪري) ۽ هن ڊيٽا کي SPC ڪنٽرول چارٽس سان گڏ ڪن ٿا ممڪن سامان جي مسئلن کي ڳولڻ لاء. مثال طور، جيڪڏهن توهان ڏسو ٿا ته ڪنٽرول چارٽ تي آر ايف جي طاقت آهستي آهستي مقرر ڪيل قيمت کان انحراف ٿي رهي آهي، توهان پيداوار جي معيار تي اثر انداز ٿيڻ کان بچڻ لاءِ ترتيب يا سار سنڀال لاءِ ابتدائي ڪارروائي ڪري سگهو ٿا.

پيداوار جي معيار جي نگراني: توهان پڻ ان پٽ ڪري سگهو ٿا اهم پراڊڪٽ جي معيار جي پيٽرولن (مثال طور، ايچ ڊيپٿ، لائين وٿ) SPC سسٽم ۾ انهن جي استحڪام جي نگراني ڪرڻ لاء. جيڪڏھن ڪجھ نازڪ مصنوعات جا اشارا ھدف جي قدرن کان ھلندي ھلندا آھن، SPC سسٽم ھڪ الارم جاري ڪندو، اھو ظاھر ڪري ٿو ته عمل جي ترتيبن جي ضرورت آھي.

حفاظتي سار سنڀال (PM): SPC سامان لاءِ بچاءُ واري بحالي واري چڪر کي بهتر ڪرڻ ۾ مدد ڪري سگھي ٿي. سامان جي ڪارڪردگي ۽ عمل جي نتيجن تي ڊگھي مدت واري ڊيٽا جو تجزيو ڪندي، توھان سامان جي سار سنڀال لاءِ مناسب وقت جو تعين ڪري سگھو ٿا. مثال طور، آر ايف پاور ۽ اي ايس سي جي عمر جي نگراني ڪندي، توهان اهو طئي ڪري سگهو ٿا جڏهن صفائي يا جزو جي متبادل جي ضرورت آهي، سامان جي ناڪامي جي شرح کي گهٽائڻ ۽ پيداوار جي گھٽتائي.

5. SPC سسٽم لاء روزاني استعمال جا طريقا

جڏهن روزاني عملن ۾ SPC سسٽم استعمال ڪندي، هيٺيان قدمن تي عمل ڪري سگهجي ٿو:

Key Control Parameters (KPI) جي وضاحت ڪريو: پيداوار جي عمل ۾ سڀ کان اھم پيرا ميٽرن جي سڃاڻپ ڪريو ۽ انھن کي SPC مانيٽرنگ ۾ شامل ڪريو. انهن پيٽرولن کي پيداوار جي معيار ۽ سامان جي ڪارڪردگي سان ويجهي سان لاڳاپيل هجڻ گهرجي.

ڪنٽرول جي حدن ۽ الارم جي حد مقرر ڪريو: تاريخي ڊيٽا ۽ پروسيس جي ضرورتن جي بنياد تي، هر پيٽرولر لاء مناسب ڪنٽرول حدون ۽ الارم جي حد مقرر ڪريو. ڪنٽرول جون حدون عام طور تي مقرر ڪيون وينديون آهن ±3σ (معياري انحراف)، جڏهن ته الارم جون حدون پروسيس ۽ سامان جي مخصوص حالتن تي ٻڌل هونديون آهن.

مسلسل نگراني ۽ تجزيو: ڊيٽا جي رجحانات ۽ تبديلين جو تجزيو ڪرڻ لاءِ باقاعده SPC ڪنٽرول چارٽس جو جائزو وٺو. جيڪڏهن ڪجهه پيٽرولر ڪنٽرول جي حدن کان وڌيڪ آهن، فوري عمل جي ضرورت آهي، جهڙوڪ سامان جي پيٽرولن کي ترتيب ڏيڻ يا سامان جي سار سنڀال.

غير معمولي سنڀالڻ ۽ بنيادي سببن جو تجزيو: جڏهن هڪ غير معمولي ٿئي ٿي، SPC سسٽم واقعي بابت تفصيلي ڄاڻ رڪارڊ ڪري ٿو. توھان کي ھن معلومات جي بنياد تي غير معمولي جي بنيادي سبب کي حل ڪرڻ ۽ تجزيو ڪرڻ جي ضرورت آھي. اهو اڪثر ڪري ممڪن آهي ته ڊيٽا کي گڏ ڪرڻ FDC سسٽم، اي اي ايس سسٽم وغيره وغيره، تجزيو ڪرڻ لاء ته ڇا مسئلو سامان جي ناڪامي، عمل جي انحراف، يا خارجي ماحولياتي عنصر جي سبب آهي.

مسلسل بهتري: SPC سسٽم پاران رڪارڊ ڪيل تاريخي ڊيٽا کي استعمال ڪندي، عمل ۾ ڪمزور نقطن جي نشاندهي ڪريو ۽ سڌارن جي منصوبن کي تجويز ڪريو. مثال طور، ايچنگ جي عمل ۾، ESC جي عمر جي اثر جو تجزيو ڪريو ۽ سامان جي سار سنڀال جي چڪر تي صفائي جي طريقن ۽ سامان جي آپريٽنگ پيٽرولن کي مسلسل بهتر ڪريو.

6. عملي درخواست ڪيس

هڪ عملي مثال طور، فرض ڪريو ته توهان ايچنگ سامان E-MAX جا ذميوار آهيو، ۽ چيمبر ڪيٿوڊ وقت کان اڳ واري لباس جو تجربو ڪري رهيو آهي، جنهن جي ڪري D0 (BARC عيب) قدرن ۾ اضافو ٿيو آهي. ايس پي سي سسٽم ذريعي آر ايف پاور ۽ ايچ جي شرح جي نگراني ڪندي، توهان هڪ رجحان محسوس ڪندا آهيو جتي اهي پيرا ميٽر آهستي آهستي انهن جي مقرر ڪيل قدرن کان هٽي ويندا آهن. هڪ SPC الارم شروع ٿيڻ کان پوء، توهان FDC سسٽم مان ڊيٽا گڏ ڪيو ۽ اهو طئي ڪيو ته مسئلو چيمبر جي اندر غير مستحڪم درجه حرارت جي ڪنٽرول جي سبب آهي. توهان وري نئين صفائي جي طريقن ۽ سار سنڀال جي حڪمت عملي تي عمل ڪريو، آخرڪار D0 جي قيمت کي 4.3 کان 2.4 تائين گھٽائي، ان سان پيداوار جي معيار کي بهتر بڻائي.

7.XINKEHUI ۾ توهان حاصل ڪري سگهو ٿا.

XINKEHUI تي، توهان حاصل ڪري سگهو ٿا مڪمل ويفر، چاهي اهو سلکان ويفر هجي يا سي سي ويفر. اسان مختلف صنعتن لاءِ اعليٰ معيار وارا ويفر پهچائڻ ۾ ماهر آهيون ، درستگي ۽ ڪارڪردگي تي ڌيان ڏيڻ.